該文主要研究了以半導體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，實現(xiàn)納米級薄膜厚度準確測量的可行性,，主要涉及三種方法，分別是白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法,。由于不同材料薄膜的特性不同,，所適用的測量方法也不同。對于折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導體鍺膜,，選擇采用白光干涉的測量方法；而對于厚度更薄的金膜,，其折射率為復數(shù),，且能夠激發(fā)表面等離子體效應,，因此采用基于表面等離子體共振的測量方法。為了進一步提高測量精度,，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調手段并檢測P光和S光之間的相位差來提高厚度測量的精度。白光干涉膜厚儀的應用非常廣,，特別是在半導體,、光學、電子和化學等領域,。國產(chǎn)膜厚儀銷售價格

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量。通過分析被測物體的光譜特性,，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術，它不需要大量的掃描過程,，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響。此項技術能夠測量距離,、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,，采用白光作為寬波段光源,，經(jīng)過分光棱鏡,，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考鏡和被測物體，反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來,，形成了一種精度高而且速度快的測量方法,。原裝膜厚儀品牌企業(yè)操作需要一定的專業(yè)素養(yǎng)和經(jīng)驗，需要進行充分的培訓和實踐,。

白光掃描干涉法采用白光為光源,，壓電陶瓷驅動參考鏡進行掃描，干涉條紋掃過被測面,，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息,。對于薄膜的測量,，上下表面形貌、粗糙度,、厚度等信息能通過一次測量得到,，但是由于薄膜上下表面的反射，會使提取出來的白光干涉信號出現(xiàn)雙峰形式,，變得更復雜,。另外，由于白光掃描法需要掃描過程,，因此測量時間較長而且易受外界干擾,。基于圖像分割技術的薄膜結構測試方法,，實現(xiàn)了對雙峰干涉信號的自動分離,，實現(xiàn)了薄膜厚度的測量。

基于表面等離子體共振傳感的測量方案,，利用共振曲線的三個特征參量半高寬,、—共振角和反射率小值，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度,。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡單。我們利用Kretschmann型結構的表面等離子體共振實驗系統(tǒng),，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm。由于該方案是一種強度測量方案,，測量精度受環(huán)境影響較大,，且測量結果存在多值性的問題，所以我們進一步對偏振外差干涉的改進方案進行了理論分析,，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量,。操作需要一定的專業(yè)技能和經(jīng)驗，需要進行充分的培訓和實踐,。

白光干涉測量技術,，也被稱為光學低相干干涉測量技術，使用的是低相干的寬譜光源,，例如發(fā)光二極管,、超輻射發(fā)光二極管等。同所有的光學干涉原理一樣,，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,，進而通過各種解調方案實現(xiàn)對待測物理量的測量。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很小（一般為幾微米到幾十微米之間）,，所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋，與零光程差的位置對應,。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值,，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點,。同時,，相比于其他測量技術,白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感、抗干擾能力強,、測量的動態(tài)范圍大,、結構簡單和成本低廉等優(yōu)點。目前,，經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展,，白光干涉技術在膜厚、壓力,、應變,、溫度、位移等等測量領域已經(jīng)得到廣泛的應用,。白光干涉膜厚儀是一種用來測量透明和平行表面薄膜厚度的儀器,。國產(chǎn)膜厚儀量大從優(yōu)

總的來說，白光干涉膜厚儀是一種在薄膜厚度測量領域廣泛應用的儀器,。國產(chǎn)膜厚儀銷售價格

在激光慣性約束核聚變實驗中,，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎，因此如何對靶丸多個參數(shù)進行高精度,、同步,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關鍵問題。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊,，但針對本文實驗,，仍然無法滿足激光核聚變技術對靶丸參數(shù)測量的高要求，靶丸參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量,，否則，被破壞后的靶丸無法用于于下一步工藝處理或者打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，不同參數(shù)的單獨測量，無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結構變化現(xiàn)象和規(guī)律,，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標準。靶丸屬于自支撐球形薄膜結構，曲面應力大,、難展平的特點導致靶丸與基底不能完全貼合,，在微區(qū)內可看作類薄膜結構。國產(chǎn)膜厚儀銷售價格