白光光譜法具有測(cè)量范圍大,、連續(xù)測(cè)量時(shí)波動(dòng)范圍小的優(yōu)點(diǎn),，可以解決干涉級(jí)次模糊識(shí)別的問(wèn)題。但在實(shí)際測(cè)量中,，由于誤差,、儀器誤差和擬合誤差等因素的影響,，干涉級(jí)次的測(cè)量精度仍然受到限制，會(huì)出現(xiàn)干擾級(jí)次的誤判和干擾級(jí)次的跳變現(xiàn)象,。這可能導(dǎo)致計(jì)算得出的干擾級(jí)次m值與實(shí)際譜峰干涉級(jí)次m'（整數(shù)）之間存在誤差,。因此，本文設(shè)計(jì)了以下校正流程圖,，基于干涉級(jí)次的連續(xù)特性得到了靶丸殼層光學(xué)厚度的準(zhǔn)確值,。同時(shí)，給出了白光干涉光譜測(cè)量曲線,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體,、光學(xué),、電子,、化學(xué)等領(lǐng)域，為研究和開(kāi)發(fā)提供了有力的手段,。品牌膜厚儀定做

干涉法測(cè)量可表述為：白光干涉光譜法主要利用光的干涉原理和光譜分光原理,，利用光在不同波長(zhǎng)處的干涉光強(qiáng)進(jìn)行求解。光源出射的光經(jīng)分光棱鏡分成兩束,，其中一束入射到參考鏡,，另一束入射到測(cè)量樣品表面，兩束光均發(fā)生反射并入射到分光棱鏡,，此時(shí)這兩束光會(huì)發(fā)生干涉,。干涉光經(jīng)光譜儀采集得到白光光譜干涉信號(hào)，經(jīng)由計(jì)算機(jī)處理數(shù)據(jù),、顯示結(jié)果變化,，之后讀出厚度值或變化量。如何建立一套基于白光干涉法的晶圓膜厚測(cè)量裝置,，對(duì)于晶圓膜厚測(cè)量具有重要意義,，設(shè)備價(jià)格、空間大小,、操作難易程度都是其影響因素,。高精度膜厚儀詳情白光干涉膜厚儀的應(yīng)用非常廣，特別是在半導(dǎo)體,、光學(xué),、電子和化學(xué)等領(lǐng)域。

常用的白光垂直掃描干涉系統(tǒng)的原理是：入射的白光光束通過(guò)半反半透鏡進(jìn)入到顯微干涉物鏡,，被分光鏡分成兩部分,，一部分入射到固定的參考鏡，另一部分入射到樣品表面,，當(dāng)參考鏡表面和樣品表面的反射光再次匯聚后,，發(fā)生干涉，干涉光通過(guò)透鏡后，利用電荷耦合器(CCD)探測(cè)雙白光光束的干涉圖像,。通過(guò)Z向精密位移臺(tái)帶動(dòng)干涉鏡頭或樣品臺(tái)Z向掃描,，獲得一系列干涉圖像。根據(jù)干涉圖像序列中對(duì)應(yīng)點(diǎn)的光強(qiáng)隨光程差變化曲線,，可得該點(diǎn)的Z向相對(duì)位移,；然后，通過(guò)CCD圖像中每個(gè)像素點(diǎn)光強(qiáng)最大值對(duì)應(yīng)的Z向位置,，可測(cè)量被測(cè)樣品表面的三維形貌,。該系統(tǒng)具有高分辨率和高靈敏度等特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于微觀表面形貌測(cè)量和薄膜厚度測(cè)量等領(lǐng)域,。

光具有傳播的特性,，不同波列在相遇的區(qū)域，振動(dòng)將相互疊加,，是各列光波獨(dú)自在該點(diǎn)所引起的振動(dòng)矢量和,。兩束光要發(fā)生干涉，應(yīng)必須滿足三個(gè)相干條件,，即：頻率一致,、振動(dòng)方向一致、相位差恒定,。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動(dòng)加強(qiáng),，而在另一些地方振動(dòng)減弱，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化,。任何干涉測(cè)量都是完全建立在這種光波典型特性上的,。下圖分別表示干涉相長(zhǎng)和干涉相消的合振幅。與激光光源相比,，白光光源的相干長(zhǎng)度在幾微米到幾十微米內(nèi),，通常都很短，更為重要的是,，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個(gè)典型的特征：即條紋有一個(gè)固定不變的位置,，該固定位置對(duì)應(yīng)于光程差為零的平衡位置，并在該位置白光輸出光強(qiáng)度具有最大值,，并通過(guò)探測(cè)該光強(qiáng)最大值,，可實(shí)現(xiàn)樣品表面位移的精密測(cè)量。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強(qiáng),、穩(wěn)定性好且動(dòng)態(tài)范圍大、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，成本低廉等優(yōu)點(diǎn),。因此,，白光垂直掃描干涉、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測(cè)量技術(shù)在薄膜三維形貌測(cè)量,、薄膜厚度精密測(cè)量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用,。可配合不同的軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析,，如建立數(shù)據(jù)庫(kù),、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等。

極值法求解過(guò)程計(jì)算簡(jiǎn)單,，快速,，同時(shí)確定薄膜的多個(gè)光學(xué)常數(shù)及解決多值性問(wèn)題，測(cè)試范圍廣,，但沒(méi)有考慮薄膜均勻性和基底色散的因素,，以至于精度不夠高。此外,，由于受曲線擬合精度的限制,，該方法對(duì)膜厚的測(cè)量范圍有要求,，通常用這種方法測(cè)量的薄膜厚度應(yīng)大于200nm且小于10μm，以確保光譜信號(hào)中的干涉波峰數(shù)恰當(dāng),。全光譜擬合法是基于客觀條件或基本常識(shí)來(lái)設(shè)置每個(gè)擬合參數(shù)上限,、下限，并為該區(qū)域的薄膜生成一組或多組光學(xué)參數(shù)及厚度的初始值,，引入適合的色散模型,，再根據(jù)麥克斯韋方程組的推導(dǎo)。這樣求得的值自然和實(shí)際的透過(guò)率和反射率（通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)直接測(cè)量的薄膜透射率或反射率）有所不同,，建立評(píng)價(jià)函數(shù),，當(dāng)計(jì)算的透過(guò)率/反射率與實(shí)際值之間的偏差小時(shí)，我們就可以認(rèn)為預(yù)設(shè)的初始值就是要測(cè)量的薄膜參數(shù),。當(dāng)光路長(zhǎng)度增加,，儀器的分辨率越高，也越容易受到靜態(tài)振動(dòng)等干擾因素的影響,，需采取一些減小噪聲的措施,。高精度膜厚儀詳情

白光干涉膜厚儀需要進(jìn)行校準(zhǔn)，并選擇合適的標(biāo)準(zhǔn)樣品,。品牌膜厚儀定做

光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口、準(zhǔn)直鏡,、光柵,、聚焦鏡,、區(qū)域檢測(cè)器、帶OFLV濾波器的探測(cè)器,。光由光纖進(jìn)入光譜儀中,，通過(guò)濾波器和準(zhǔn)直器后投射到光柵上，由光柵將白光色散成光譜,，經(jīng)過(guò)聚焦鏡將其投射到探測(cè)器上后,，由探測(cè)器將光信號(hào)傳入計(jì)算機(jī)。光纖接頭將輸入光纖固定在光譜儀上,，使得來(lái)自輸入光纖的光能夠進(jìn)入光學(xué)平臺(tái),；濾波器將光輻射限制在預(yù)定波長(zhǎng)區(qū)域；準(zhǔn)直鏡將進(jìn)入光學(xué)平臺(tái)的光聚焦到光譜儀的光柵上,，保證光路和光柵之間的準(zhǔn)直性,；光柵衍射來(lái)自準(zhǔn)直鏡的光并將衍射光導(dǎo)向聚焦鏡；聚焦鏡接收從光柵反射的光并將光聚焦到探測(cè)器上,；探測(cè)器將檢測(cè)到的光信號(hào)轉(zhuǎn)換為nm波長(zhǎng)系統(tǒng),；區(qū)域檢測(cè)器提供90％的量子效率和垂直列中的像素，以從光譜儀的狹縫圖像的整個(gè)高度獲取光,，顯著改善了信噪比。品牌膜厚儀定做