為了提高靶丸內爆壓縮效率,，需要確保靶丸所有幾何參數和物性參數都符合理想的球對稱狀態(tài)，因此需要對靶丸殼層厚度分布進行精密檢測,。常用的測量手法有X射線顯微輻照法,、激光差動共焦法和白光干涉法等。白光干涉法是以白光作為光源,，分成入射到參考鏡和待測樣品的兩束光,，在計算機管控下進行掃描和干涉信號分析，得到膜的厚度信息,。該方法適用于靶丸殼層厚度的測量,，但需要已知殼層材料的折射率，且難以實現靶丸殼層厚度分布的測量,。Michelson干涉儀的光路長度是影響儀器精度的重要因素,。防水膜厚儀生產商

針對現有技術的不足,，提供一種基于白光干涉法的晶圓膜厚測量裝置,。該裝置包括白光光源、顯微鏡,、分束鏡,、干涉物鏡,、光纖傳輸單元、準直器,、光譜儀、USB傳輸線,、計算機,。光譜儀主要包括六部分,，分別是：光纖入口,、準直鏡,、光柵,、聚焦鏡,、區(qū)域檢測器、帶OFLV濾波器的探測器,。測量具體步驟為：白光光源發(fā)出白光,，經由光纖,，通過光纖探頭垂直入射至晶圓表面,，樣品薄膜上表面和下表面反射光相干涉形成的干涉譜,，由反射光纖探頭接收，再由光纖傳送到光譜儀,，光譜儀連續(xù)記錄反射信號,，通過USB線將測量數據傳輸到電腦?？梢詫崿F對晶圓膜厚的無損測量,，時間快、設備小巧,、操作簡單,、精度高，適合實驗室檢測,。品牌膜厚儀招商加盟通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,，利用膜層與底材的反射率和相位差來實現測量。

白光反射光譜探測模塊中,，入射光經過分光鏡1分光后,，一部分光照射到靶丸表面，靶丸殼層上,、下表面的反射光經物鏡,、分光鏡1、聚焦透鏡,、分光鏡2后,，一部分光聚焦到光纖端面并到達光譜儀探測器,，實現了靶丸殼層白光干涉光譜的測量,。另一部分光到達CCD探測器,，獲得靶丸表面的光學圖像,。靶丸吸附轉位模塊和三維運動模塊分別用于靶丸的吸附定位以及靶丸特定角度的轉位和靶丸位置的調整。在測量過程中,，將靶丸放置于軸系吸嘴前端,，通過微型真空泵將其吸附于吸嘴上；然后,，移動位移平臺,，將靶丸移動至CCD視場中心，Z向位移臺可調整視場清晰度,；利用光譜儀探測靶丸殼層的白光反射光譜,；靶丸在軸系的帶動下，平穩(wěn)轉動到特定角度,，為消除軸系回轉誤差所帶來的誤差,，可通過調整調心結構,，使靶丸定點位于視場中心并采集其白光反射光譜。重復以上步驟,，可實現靶丸特定位置或圓周輪廓白光反射光譜數據的測量,。為減少外界干擾和震動所引起的測量誤差，該裝置放置于氣浮平臺上,，通過高性能的隔振效果,，保證了測量結果的穩(wěn)定性。

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項技術能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論，采用白光作為寬波段光源,，經過分光棱鏡，被分成兩束光,，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經過分光棱鏡合成后，由色散元件分光至探測器,，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息，如果此時被測物體是薄膜,，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來，形成了一種精度高,、速度快的測量方法,。該儀器的工作原理是通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度，基于反射率和相位差,。

在激光慣性約束核聚變實驗中,，靶丸的物性參數和幾何參數是靶丸制備工藝改進和仿真模擬核聚變實驗過程的基礎，因此如何對靶丸多個參數進行高精度、同步,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實驗中的關鍵問題,。以上各種薄膜厚度及折射率的測量方法各有利弊，但針對本文實驗,，仍然無法滿足激光核聚變技術對靶丸參數測量的高要求,，靶丸參數測量存在以下問題：不能對靶丸進行破壞性切割測量，否則,，被破壞后的靶丸無法用于于下一步工藝處理或者打靶實驗,；需要同時測得靶丸的多個參數，不同參數的單獨測量,，無法提供靶丸制備和核聚變反應過程中發(fā)生的結構變化現象和規(guī)律,，并且效率低下、沒有統(tǒng)一的測量標準,。靶丸屬于自支撐球形薄膜結構,，曲面應力大、難展平的特點導致靶丸與基底不能完全貼合,，在微區(qū)內可看作類薄膜結構,。可配合不同的軟件進行數據處理和分析,，如建立數據庫,、統(tǒng)計數據等。國產膜厚儀供應

白光干涉膜厚儀可以配合不同的軟件進行分析和數據處理,，例如建立數據庫,、統(tǒng)計數據等。防水膜厚儀生產商

光具有傳播的特性,，不同波列在相遇的區(qū)域,，振動將相互疊加，是各列光波獨自在該點所引起的振動矢量和,。兩束光要發(fā)生干涉,，應必須滿足三個相干條件,，即：頻率一致,、振動方向一致、相位差恒定,。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強，而在另一些地方振動減弱,，產生規(guī)則的明暗交替變化,。任何干涉測量都是完全建立在這種光波典型特性上的。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅。與激光光源相比,，白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內,，通常都很短，更為重要的是,，白光光源產生的干涉條紋具有一個典型的特征：即條紋有一個固定不變的位置,，該固定位置對應于光程差為零的平衡位置，并在該位置白光輸出光強度具有最大值,，并通過探測該光強最大值,，可實現樣品表面位移的精密測量。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強,、穩(wěn)定性好且動態(tài)范圍大、結構簡單,，成本低廉等優(yōu)點,。因此，白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等基于白光干涉的光學測量技術在薄膜三維形貌測量,、薄膜厚度精密測量等領域得以廣泛應用。防水膜厚儀生產商