利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點,，且干涉極值點足夠多，精度才高,。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少,，干涉波峰個數(shù)較少，要利用干涉極值點建立包絡(luò)線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準確度。其次,，薄膜吸收的強弱也會影響該方法的準確度,，對于吸收較強的薄膜，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用。因此,，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量,。白光干涉膜厚儀信賴推薦

為限度提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,，期望靶丸所有幾何參數(shù)、物性參數(shù)均為理想球?qū)ΨQ狀態(tài),。因此,，需要對靶丸殼層厚度分布進行精密的檢測,。靶丸殼層厚度常用的測量手法有X射線顯微輻照法、激光差動共焦法,、白光干涉法等,。下面分別介紹了各個方法的特點與不足，以及各種測量方法的應(yīng)用領(lǐng)域,。白光干涉法以白光作為光源,，寬光譜的白光準直后經(jīng)分光棱鏡分成兩束光，一束光入射到固定參考鏡,。一束光入射到待測樣品,。由計算機控制壓電陶瓷(PZT)沿Z軸方向進行掃描，當兩路之間的光程差為零時,，在分光棱鏡匯聚后再次被分成兩束,，一束光通過光纖傳輸，并由光譜儀收集,，另一束則被傳遞到CCD相機,，用于樣品觀測。利用光譜分析算法對干涉信號圖進行分析得到薄膜的厚度,。該方法能應(yīng)用靶丸殼層壁厚的測量,，但是該測量方法需要已知靶丸殼層材料的折射率，同時,，該方法也難以實現(xiàn)靶丸殼層厚度分布的測量,。原裝膜厚儀常見問題操作之前需要專業(yè)技能和經(jīng)驗的培訓(xùn)和實踐。

光具有相互疊加的特性,，發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強,，而在另一些地方振動減弱，并產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化,。干涉測量需要滿足三個相干條件：頻率一致,、振動方向一致、相位差穩(wěn)定一致,。與激光光源相比,，白光光源的相干長度較短，通常在幾微米到幾十微米內(nèi),。白光干涉的條紋有一個固定的位置,，對應(yīng)于光程差為零的平衡位置，并在該位置白光輸出光強度具有最大值,。通過探測光強最大值,，可以實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量。白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等技術(shù),，具有抗干擾能力強、穩(wěn)定性好,、動態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單、成本低廉等優(yōu)點,，并廣泛應(yīng)用于薄膜三維形貌測量和薄膜厚度精密測量等領(lǐng)域,。

光具有傳播的特性，不同波列在相遇的區(qū)域,，振動將相互疊加,，是各列光波獨自在該點所引起的振動矢量和。兩束光要發(fā)生干涉,，應(yīng)必須滿足三個相干條件,，即：頻率一致、振動方向一致,、相位差恒定,。發(fā)生干涉的兩束光在一些地方振動加強，而在另一些地方振動減弱,，產(chǎn)生規(guī)則的明暗交替變化,。任何干涉測量都是完全建立在這種光波典型特性上的。下圖分別表示干涉相長和干涉相消的合振幅,。與激光光源相比,，白光光源的相干長度在幾微米到幾十微米內(nèi)，通常都很短,，更為重要的是,，白光光源產(chǎn)生的干涉條紋具有一個典型的特征：即條紋有一個固定不變的位置，該固定位置對應(yīng)于光程差為零的平衡位置,，并在該位置白光輸出光強度具有最大值,，并通過探測該光強最大值，可實現(xiàn)樣品表面位移的精密測量,。此外,，白光光源具有系統(tǒng)抗干擾能力強、穩(wěn)定性好且動態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單,，成本低廉等優(yōu)點。因此,，白光垂直掃描干涉,、白光反射光譜等基于白光干涉的光學(xué)測量技術(shù)在薄膜三維形貌測量、薄膜厚度精密測量等領(lǐng)域得以廣泛應(yīng)用,?？偨Y(jié),，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。

白光干涉在零光程差處,，出現(xiàn)零級干涉條紋，隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線各自形成的干涉條紋之間互有偏移,，疊加的整體效果使條紋對比度下降。測量精度高,，可以實現(xiàn)測量,采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)的抗干擾能力強,，動態(tài)范圍大，具有快速檢測和結(jié)構(gòu)緊湊等優(yōu)點,。普通的激光干涉與白光干涉之間雖然有差別,，但也有許多相似之處?？梢哉f,，白光干涉實際上就是將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加，在頻域上觀察到的就是不同波長對應(yīng)的干涉光強變化曲線,。隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高。白光干涉膜厚儀信賴推薦

隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴展,。白光干涉膜厚儀信賴推薦

白光干涉法和激光光源相比具有短相干長度的特點，使得兩束光只有在光程差非常小的情況下才能發(fā)生干涉,，因此不會產(chǎn)生干擾條紋,。同時，白光干涉產(chǎn)生的干涉條紋具有明顯的零光程差位置,，避免了干涉級次不確定的問題,。本文基于白光干涉原理對單層透明薄膜厚度測量進行了研究，特別是對厚度小于光源相干長度的薄膜進行了探究,。文章首先詳細闡述了白光干涉原理和薄膜測厚原理,，然后在金相顯微鏡的基礎(chǔ)上構(gòu)建了一種型垂直白光掃描系統(tǒng)，作為實驗中測試薄膜厚度的儀器,，并利用白光干涉原理對位移量進行了標定,。 白光干涉膜厚儀信賴推薦