薄膜是一種特殊的微結(jié)構(gòu),，在電子學(xué),、摩擦學(xué)、現(xiàn)代光學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用,，因此薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要,。尤其是在厚度這一特定方向上，尺寸很小,，基本上都是微觀可測量的,。因此，在微納測量領(lǐng)域中,，薄膜厚度的測試是一個(gè)非常重要且實(shí)用的研究方向,。在工業(yè)生產(chǎn)中，薄膜的厚度直接影響薄膜是否能正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,，膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段。薄膜的厚度會影響其電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,，因此準(zhǔn)確地測量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。白光干涉膜厚儀的應(yīng)用非常廣,，特別是在半導(dǎo)體,、光學(xué)、電子和化學(xué)等領(lǐng)域,。光干涉膜厚儀成本價(jià)

白光光譜法具有測量范圍大,、連續(xù)測量時(shí)波動范圍小的優(yōu)點(diǎn)，可以解決干涉級次模糊識別的問題,。但在實(shí)際測量中,，由于誤差、儀器誤差和擬合誤差等因素的影響,，干涉級次的測量精度仍然受到限制,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。這可能導(dǎo)致計(jì)算得出的干擾級次m值與實(shí)際譜峰干涉級次m'（整數(shù)）之間存在誤差。因此,，本文設(shè)計(jì)了以下校正流程圖,，基于干涉級次的連續(xù)特性得到了靶丸殼層光學(xué)厚度的準(zhǔn)確值。同時(shí),，給出了白光干涉光譜測量曲線,。蘇州膜厚儀價(jià)格走勢精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu)。

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快,，受干擾信號的影響較小。但是其測量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論,，若輸入光源波長范圍為λ1,λ2，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn)。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換,，然后濾波,、提取主頻信號后進(jìn)行逆傅里葉變換，然后做對數(shù)運(yùn)算,，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差。該方法經(jīng)過實(shí)驗(yàn)證明其測量精度比傅里葉變換高,。

對同一靶丸的相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉實(shí)驗(yàn),，如圖4-3所示。通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上移動,，測量光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底后直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,。顯然，越偏離靶丸中心的光線測得的有效壁厚越大,，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度。只有當(dāng)垂直穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)于靶丸的上,、下殼層的厚度,。因此,，在進(jìn)行白光垂直掃描干涉實(shí)驗(yàn)時(shí)，需要選擇穿過靶丸中心的光線位置進(jìn)行測量,，這樣才能準(zhǔn)確地測量靶丸殼層的厚度,。此外，通過控制干涉物鏡在垂直方向上移動,，可以測量出不同位置的厚度值,，從而得到靶丸殼層厚度的空間分布情況。膜厚儀依賴于膜層和底部材料的反射率和相位差來實(shí)現(xiàn)這一目的,。

在激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中,，靶丸殼層折射率、厚度以及其分布參數(shù)是非常關(guān)鍵的參數(shù),。因此,，實(shí)現(xiàn)對靶丸殼層折射率、厚度及其分布的精密測量對精密ICF物理實(shí)驗(yàn)研究非常重要,。由于靶丸尺寸微小,、結(jié)構(gòu)特殊、測量精度要求高,，因此如何實(shí)現(xiàn)對靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中的重要內(nèi)容,。本文針對這一需求，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究,。精確測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布是激光慣性約束聚變中至關(guān)重要的，對于ICF物理實(shí)驗(yàn)的研究至關(guān)重要,。由于靶丸特殊的結(jié)構(gòu)和微小的尺寸,，以及測量的高精度要求，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中的重要目標(biāo),。本文就此需求開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)的研究,。白光干涉膜厚儀廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué),、電子,、化學(xué)等領(lǐng)域，為研究和開發(fā)提供了有力的手段,。光干涉膜厚儀成本價(jià)

總之,，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測量薄膜厚度的儀器。光干涉膜厚儀成本價(jià)

在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中,，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過程至關(guān)重要,。然而，如何對靶丸多個(gè)參數(shù)進(jìn)行同步、高精度,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,。此外,，靶丸的參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進(jìn)行破壞性切割測量，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實(shí)驗(yàn),；需要同時(shí)測得靶丸的多個(gè)參數(shù),，因?yàn)椴煌瑓?shù)的單獨(dú)測量無法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標(biāo)準(zhǔn),。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應(yīng)力大,、難以展平,，因此靶丸與基底不能完全貼合，可在微觀區(qū)域內(nèi)視作類薄膜結(jié)構(gòu),。光干涉膜厚儀成本價(jià)