自上世紀(jì)60年代起,，利用X及β射線,、近紅外光源開發(fā)的在線薄膜測厚系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于西方先進(jìn)國家的工業(yè)生產(chǎn)線中。到20世紀(jì)70年代后,，為滿足日益增長的質(zhì)檢需求,，電渦流、電磁電容,、超聲波,、晶體振蕩等多種膜厚測量技術(shù)相繼問世。90年代中期,，隨著離子輔助,、離子束濺射、磁控濺射,、凝膠溶膠等新型薄膜制備技術(shù)取得巨大突破,，以橢圓偏振法和光度法為展示的光學(xué)檢測技術(shù)以高精度、低成本,、輕便環(huán)保,、高速穩(wěn)固為研發(fā)方向不斷迭代更新，迅速占領(lǐng)日用電器及工業(yè)生產(chǎn)市場,，并發(fā)展出依據(jù)用戶需求個性化定制產(chǎn)品的能力,。其中，對于市場份額占比較大的微米級薄膜,，除要求測量系統(tǒng)不僅具有百納米級的測量準(zhǔn)確度及分辨力以外,，還要求測量系統(tǒng)在存在不規(guī)則環(huán)境干擾的工業(yè)現(xiàn)場下，具備較高的穩(wěn)定性和抗干擾能力,?？梢耘浜喜煌能浖M(jìn)行分析和數(shù)據(jù)處理，例如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等,。原裝膜厚儀供應(yīng)鏈

對同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,，通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差，顯然,，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后,，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光線，測量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，存在誤差，穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上,、下殼層的厚度,。白光干涉膜厚儀檢測操作需要一定的專業(yè)基礎(chǔ)和經(jīng)驗，需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實踐,。

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu),，近年來在電子學(xué)、力學(xué),、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,，薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,，尺寸很小,，基本上都是微觀可測量。因此,，在微納測量領(lǐng)域中,，薄膜厚度的測試是一個非常重要而且很實用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中,，薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中，膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段,。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等，所以準(zhǔn)確地測量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù),。

晶圓對于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要,，膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一。通常對膜厚的測量有橢圓偏振法,、探針法,、光學(xué)法等，橢偏法設(shè)備昂貴,，探針法又會損傷晶圓表面,。利用光學(xué)原理進(jìn)行精密測試，一直是計量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,，在光學(xué)測量領(lǐng)域,，基于干涉原理的測量系統(tǒng)已成為物理量檢測中十分精確的系統(tǒng)之一。光的干涉計量與測試本質(zhì)是以光波的波長作為單位來進(jìn)行計量的,，現(xiàn)代的干涉測試與計量技術(shù)已能達(dá)到一個波長的幾百分之一的測量精度,，干涉測量的更大特點是它具有更高的靈敏度（或分辨率）和精度，,。而且絕大部分干涉測試都是非接觸的，不會對被測件帶來表面損傷和附加誤差；測量對象較廣,，并不局限于金屬或非金屬,；可以檢測多參數(shù)，如：長度,、寬度,、直徑、表面粗糙度,、面積,、角度等。光路長度越長,，儀器分辨率越高,，但也越容易受到干擾因素的影響，需要采取降噪措施,。

白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術(shù)測量的局限性,。白光掃描干涉法采用白光作為光源，白光作為一種寬光譜的光源,，相干長度較短,，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內(nèi)。而且在白光干涉時,，有一個確切的零點位置,。當(dāng)測量光和參考光的光程相等時，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,，這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋,，同時干涉信號也出現(xiàn)最大值，通過分析這個干涉信號,，就能得到表面上對應(yīng)數(shù)據(jù)點的相對高度,，從而得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術(shù)是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度,。因此，為了提高精度,，就需要更為復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng),，這使得條紋的測量變成一項費(fèi)力又費(fèi)時的工作。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和拓展,。蘇州膜厚儀性價比高

可測量大氣壓下薄膜厚度在1納米到1毫米之間。原裝膜厚儀供應(yīng)鏈

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。因此，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點是解調(diào)速度較快，受干擾信號的影響較小,。但是其測量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論，若輸入光源波長范圍為λ1,λ2,，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換,，然后濾波、提取主頻信號后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對數(shù)運(yùn)算,，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過實驗證明其測量精度比傅里葉變換高,。原裝膜厚儀供應(yīng)鏈