背景技術(shù):光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù),通過(guò)光源,、被測(cè)物體和探測(cè)器三點(diǎn)共,，去除焦點(diǎn)以外的雜散光,，得到比傳統(tǒng)寬場(chǎng)顯微鏡更高的橫向分辨率，同時(shí)由于引入圓孔探測(cè)具有了軸向深度層析能力,，通過(guò)焦平面的上下平移從而得到物體的微觀(guān)三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術(shù):光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù),通過(guò)光源,、被測(cè)物體和探測(cè)器三點(diǎn)共,，去除焦點(diǎn)以外的雜散光，得到比傳統(tǒng)寬場(chǎng)顯微鏡更高的橫向分辨率,，同時(shí)由于引入圓孔探測(cè)具有了軸向深度層析能力,，通過(guò)焦平面的上下平移從而得到物體的微觀(guān)三維空間結(jié)構(gòu)信息。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué),、材料分析,、工業(yè)探測(cè)及計(jì)量等各種不同的領(lǐng)域之中。現(xiàn)有的光學(xué)測(cè)量術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué),、材料分析,、工業(yè)探測(cè)及計(jì)量等各種不同的領(lǐng)域之中。現(xiàn)有的光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù)主要激光成像,，其功耗大,、成本高,，而且精度較差,難以勝任復(fù)雜異形表面(如曲面、弧面,、凸凹溝槽等)的高精度,、穩(wěn)定檢測(cè)或者成像的光譜共焦成像技術(shù)比激光成像具有更高的精度，而且能夠降低功耗和成本但現(xiàn)有的光譜共焦檢測(cè)設(shè)備大都是靜態(tài)檢測(cè),檢測(cè)效率低,，而且難以勝任復(fù)雜異形表面,。光譜共焦位移傳感器具有高靈敏度和迅速響應(yīng)的特點(diǎn)，可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量和監(jiān)測(cè),。光譜共焦市場(chǎng)價(jià)格

差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試方法是一種通過(guò)激光激發(fā)樣品產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),，并利用差動(dòng)共焦顯微鏡提高空間分辨率、抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào)的非接觸式拉曼光譜測(cè)試方法,。該方法將樣品放置于差動(dòng)共焦顯微鏡中,，利用兩束激光在焦平面聚焦下的共焦點(diǎn)對(duì)樣品進(jìn)行局部激發(fā)，產(chǎn)生拉曼散射信號(hào),。其中一束激光在焦平面發(fā)生微小振動(dòng),，通過(guò)檢測(cè)二者之間的光路差異，可以抑制激光背景和表面散射等干擾信號(hào),。該方法具有高空間分辨率和高信噪比等特點(diǎn),，可以實(shí)現(xiàn)微區(qū)域的化學(xué)組成分析和表征。該方法可用于單個(gè)納米顆粒,、生物組織,、納米線(xiàn)、nanofilm等微型樣品的表征,，以及材料科學(xué),、生物醫(yī)學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域的研究,。需要注意的是,，在差動(dòng)共焦拉曼光譜測(cè)試中，樣品的濃度,、表面性質(zhì),、對(duì)激光的散射能力等都會(huì)影響測(cè)試結(jié)果，因此需要對(duì)不同樣品進(jìn)行適當(dāng)?shù)奶幚砗蛢?yōu)化,。原裝光譜共焦生產(chǎn)商光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,。

譜共焦測(cè)量技術(shù)由于其高精度、允許被測(cè)表面有更大的傾斜角,、測(cè)量速度快,、實(shí)時(shí)性高、對(duì)被測(cè)表面狀況要求低,、以及高分辨率的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),，迅速成為工業(yè)測(cè)量的熱門(mén)傳感器,，在生物醫(yī)學(xué)、材料科學(xué),、半導(dǎo)體制造,、表面工程研究、精密測(cè)量,、3C電子等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,。

本次測(cè)量場(chǎng)景使用的是創(chuàng)視智能TS-C10000光譜共焦傳感頭和CCS控制器。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025μm的重復(fù)精度,，±0.02% of F.S.的線(xiàn)性精度,，10kHz的采樣速度，以及±65°的測(cè)量角度,，能夠適應(yīng)鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB、以太網(wǎng),、模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。

表面粗糙度是指零件表面在加工過(guò)程中由于不同的加工方法,、機(jī)床與刀具的精度,、振動(dòng)及磨損等因素形成的微觀(guān)水平狀況，其間距和峰谷較小,。表面粗糙度是表面質(zhì)量的一個(gè)重要衡量指標(biāo),，關(guān)系到零件的磨損、密封,、潤(rùn)滑,、疲勞等機(jī)械性能。表面粗糙度的測(cè)量可以通過(guò)接觸式測(cè)量和非接觸式測(cè)量進(jìn)行,，前者存在劃傷測(cè)量表面,、針尖易磨損、測(cè)量效率低等問(wèn)題,，而后者可以實(shí)現(xiàn)非接觸,、高效、在線(xiàn)實(shí)時(shí)測(cè)量,，并成為未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì),。目前常用的非接觸法包括干涉法,、散射法、散斑法和聚焦法等,，其中聚焦法較為簡(jiǎn)單實(shí)用,。使用光譜共焦位移傳感器搭建非接觸測(cè)量裝置，可以對(duì)表面粗糙度進(jìn)行測(cè)量,，例如可以判斷膜式燃?xì)獗淼拈y蓋密封性是否合格,。基于光譜共焦傳感器,，可以使用二維納米測(cè)量定位裝置進(jìn)行表面粗糙度的非接觸測(cè)量,，并對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行不確定性評(píng)估，例如可以使用U95評(píng)定結(jié)果的不確定度為13.9％,。光譜共焦技術(shù)的發(fā)展將促進(jìn)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,。

光譜共焦是一種綜合了光學(xué)成像和光譜分析技術(shù)的高精度位移傳感器，在3C電子行業(yè)中應(yīng)用極為大量,。光譜共焦傳感器可以用于智能手機(jī)內(nèi)線(xiàn)性馬達(dá)的位移測(cè)量,，通過(guò)實(shí)時(shí)監(jiān)控和控制線(xiàn)性馬達(dá)的位移，可大幅提高智能手機(jī)的定位功能和相機(jī)的成像精度,。也能測(cè)量手機(jī)屏的曲面角度,、厚度等。平板電腦內(nèi)各種移動(dòng)結(jié)構(gòu)部件的位移和振動(dòng)檢測(cè)是平板電腦生產(chǎn)過(guò)程中非常重要的環(huán)節(jié),。光譜共焦傳感器可以通過(guò)對(duì)平板電腦內(nèi)的各種移動(dòng)機(jī)構(gòu),、控制元件進(jìn)行精密位移、振動(dòng),、形變和應(yīng)力等參數(shù)的測(cè)量,，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)其制造精度和運(yùn)行狀態(tài)的實(shí)時(shí)監(jiān)控。光譜共焦技術(shù)的研究集中在光學(xué)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)和優(yōu)化,，以及數(shù)據(jù)處理和成像算法的研究,。工廠(chǎng)光譜共焦應(yīng)用

國(guó)內(nèi)外已經(jīng)有很多光譜共焦技術(shù)的研究成果發(fā)表。光譜共焦市場(chǎng)價(jià)格

三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)是加工現(xiàn)場(chǎng)常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測(cè)設(shè)備,，具有通用性強(qiáng),，精確可靠等優(yōu)點(diǎn)。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測(cè)量要求,，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度集成在線(xiàn)測(cè)量方法,，利用工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)常用的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)平臺(tái)執(zhí)行輪廓掃描，并記錄測(cè)量掃描位置實(shí)時(shí)空間橫坐標(biāo),，根據(jù)空間坐標(biāo)關(guān)系,，將測(cè)量掃描區(qū)域的微觀(guān)高度信息和掃描采樣點(diǎn)組織映射為微觀(guān)輪廓，經(jīng)高斯濾波處理和評(píng)價(jià)從而得到測(cè)量對(duì)象的表面粗糙度信息,。光譜共焦市場(chǎng)價(jià)格