在硅片柵線的厚度測量過程中,,創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復(fù)精度,,±0.02%的線性精度,,10kHz的測量速度和±60°的測量角度。它適用于鏡面,、透明,、半透明、膜層,、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面,,支持485、USB,、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口,。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,使用單探頭在二維運(yùn)動平臺上進(jìn)行掃描測量,。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得,,通過將需要掃描測量的硅片標(biāo)記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量。由于柵線不是平整面,,并且有一定的曲率,,因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機(jī)性影響。光譜共焦技術(shù)可以測量位移,,利用返回光譜的峰值波長位置,。國內(nèi)光譜共焦出廠價
基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測量,是一種利用光譜共焦技術(shù)對手機(jī)曲面外殼輪廓進(jìn)行非接觸式測量的方法,。該技術(shù)主要通過在光譜共焦顯微鏡中利用激光在手機(jī)曲面外殼上聚焦產(chǎn)生的共聚焦點,實現(xiàn)對表面高度的快速,、準(zhǔn)確測量,。通過采集不同波長的反射光譜信息,結(jié)合光譜共焦技術(shù)提高空間分辨率,,可以測量出手機(jī)曲面外殼上不同位置的高度值,,得到完整的三維輪廓圖。相比傳統(tǒng)的機(jī)械測量和影像測量方法,,基于光譜共焦技術(shù)的手機(jī)曲面外殼輪廓測量具有非接觸,、快速、高精度,、高分辨率和方便可靠等優(yōu)勢,,可以適用于手機(jī)外殼,、香水瓶等曲面形狀復(fù)雜的產(chǎn)品的測量和質(zhì)量控制。自動測量內(nèi)徑光譜共焦常用解決方案光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,,精度可以達(dá)到納米級別,。
光譜共焦是我們公司的產(chǎn)品之一,它的創(chuàng)新技術(shù)和性能使其在光學(xué)顯微領(lǐng)域獨(dú)樹一幟,。光譜共焦利用高度精密的光學(xué)系統(tǒng)和先進(jìn)的成像算法,,實現(xiàn)了超高分辨率的成像效果和精確的光譜信息獲取。通過光譜共焦,,您可以觀察和研究樣品的微觀結(jié)構(gòu),、形態(tài)和化學(xué)成分,并提取具有豐富生物和化學(xué)信息的數(shù)據(jù),。它廣泛應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)、環(huán)境科學(xué)等領(lǐng)域,,為科研人員,、工程師和學(xué)生們提供了強(qiáng)大的工具。我們的光譜共焦產(chǎn)品具有多項獨(dú)特的優(yōu)勢,。首先,,高分辨率成像能力讓您更清晰地觀察樣品細(xì)節(jié),并提供更準(zhǔn)確的分析結(jié)果,。其次,,光譜信息的獲取讓您可以對樣品的化學(xué)組成進(jìn)行詳盡的研究和分析。同時,,我們的產(chǎn)品還具有成像速度快,、靈敏度高以及用戶友好的操作界面等特點,為用戶提供了便捷和可靠的使用體驗,。我們致力于為客戶提供產(chǎn)品和專業(yè)的服務(wù),。無論是科研機(jī)構(gòu)、大學(xué)實驗室還是工業(yè)企業(yè),,我們都能根據(jù)您的需求量身定制的解決方案,。我們的團(tuán)隊擁有豐富的經(jīng)驗和專業(yè)知識,能夠為您提供技術(shù)支持,、培訓(xùn)和售后服務(wù),,確保您充分發(fā)揮光譜共焦的潛力。如果您想了解更多關(guān)于光譜共焦的信息,,或者有任何疑問和需求,,請隨時與我們聯(lián)系。我們期待與您合作,,并為您帶來的光譜共焦體驗,!
該研究主要針對光譜共焦傳感器在校準(zhǔn)時產(chǎn)生的誤差進(jìn)行了研究,。研究者使用激光干涉儀和高精度測長機(jī)分別對光譜共焦傳感器進(jìn)行了測量,并使用球面測頭來保證光譜共焦傳感器的光路位于測頭中心,,以確保安裝精度,。然后更換平面?zhèn)阮^進(jìn)行校準(zhǔn),并利用小二乘法對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,,得出測量數(shù)據(jù)的非線性誤差,。研究結(jié)果表明:高精度測長機(jī)校準(zhǔn)時的非線性誤差為0.030%,激光干涉儀校準(zhǔn)時的分析線性誤差為0.038%,。利用小二乘法處理數(shù)據(jù)及計算非線性誤差,,可以減小校準(zhǔn)時產(chǎn)生的同軸度誤差和光譜共焦傳感器的系統(tǒng)誤差,提高對光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)精度,。光譜共焦位移傳感器可以實時監(jiān)測材料的變化情況,,對于研究材料的力學(xué)性能具有重要意義;
光譜共焦位移傳感器包括光源,、透鏡組和控制箱等組成部分,。光源發(fā)出一束白光,透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,,通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組,,每個焦點的單色光波長對應(yīng)一個軸向位置。當(dāng)樣品位于焦點范圍內(nèi)時,,樣品表面會聚焦后的光反射回去,,這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀。因此,,只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,,單色儀將該波長的光分離出來,由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,,滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的變形過程進(jìn)行實時監(jiān)測,,對于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義,。光譜共焦行業(yè)應(yīng)用
光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,可以在微觀尺度下進(jìn)行精確的位移測量,。國內(nèi)光譜共焦出廠價
光譜共焦測量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個完整的相對高度范疇能夠通過使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測量,。光譜共焦位移傳感器的精確測量原理如下圖1所顯示,,燈源發(fā)出光經(jīng)過光纖,再通過超色差鏡片,,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,,產(chǎn)生一系列可見光聚焦點,。這種可見光聚焦點是連續(xù)的,不重合的,。當(dāng)待測物放置檢測范圍內(nèi)時,,只有一種光波長能夠聚焦在待測物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,,產(chǎn)生波峰焊,。全部別的波長也將失去焦點。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計算待測物體的部位,,創(chuàng)建光譜峰處波長偏移的編號,。該超色差鏡片通過提升,具備比較大的縱向色差,,用以在徑向分離出來電子光學(xué)信號的光譜成份,。因而,超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件,,其設(shè)計方案十分重要,。國內(nèi)光譜共焦出廠價