對同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,，通過控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動機(jī)構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然,，當(dāng)一束平行光穿過靶丸后，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光線,，測量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，存在誤差,，穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上、下殼層的厚度,。高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。品牌膜厚儀常見問題

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。因此，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點是解調(diào)速度較快，受干擾信號的影響較小,。但是其測量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論，若輸入光源波長范圍為λ1,λ2,，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換，然后濾波、提取主頻信號后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對數(shù)運(yùn)算,，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過實驗證明其測量精度比傅里葉變換高,。光干涉膜厚儀成本價白光干涉膜厚測量技術(shù)的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進(jìn)行改進(jìn)。

由于靶丸自身特殊的特點和極端的實驗條件,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜,。光學(xué)測量方法具有無損、非接觸,、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)勢，因此成為了測量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測量的方法有白光干涉法,、光學(xué)顯微干涉法、激光差動共焦法等,。然而,，靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù)，因此對其進(jìn)行精密測量具有重要意義,。 常用的折射率測量方法有橢圓偏振法,、折射率匹配法、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。

基于表面等離子體共振傳感的測量方案，利用共振曲線的三個特征參量半高寬,、—共振角和反射率小值,，通過反演計算得到待測金屬薄膜的厚度。該測量方案可同時得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡單,。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實驗系統(tǒng)，測得金膜在入射光波長分別為632.8nm和652.1nm時的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm,。由于該方案是一種強(qiáng)度測量方案，測量精度受環(huán)境影響較大,，且測量結(jié)果存在多值性的問題,，所以我們進(jìn)一步對偏振外差干涉的改進(jìn)方案進(jìn)行了理論分析，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實現(xiàn)厚度測量,。白光干涉膜厚儀需要校準(zhǔn),。

白光干涉膜厚儀基于薄膜對白光的反射和透射產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,，通過測量干涉條紋的位置和間距來計算出薄膜的厚度。這種儀器在光學(xué)薄膜,、半導(dǎo)體,、涂層和其他薄膜材料的生產(chǎn)和研發(fā)過程中具有重要的應(yīng)用價值。當(dāng)白光照射到薄膜表面時,，部分光線會被薄膜反射,，而另一部分光線會穿透薄膜并在薄膜內(nèi)部發(fā)生多次反射和折射。這些反射和折射的光線會與原始入射光線產(chǎn)生干涉,，形成干涉條紋,。通過測量干涉條紋的位置和間距，可以推導(dǎo)出薄膜的厚度信息,。白光干涉膜厚儀在光學(xué)薄膜領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,。光學(xué)薄膜是一種具有特殊光學(xué)性質(zhì)的薄膜材料，廣泛應(yīng)用于激光器,、光學(xué)鏡片,、光學(xué)濾波器等光學(xué)元件中。通過白光干涉膜厚儀可以實現(xiàn)對光學(xué)薄膜厚度的精確測量,，保證光學(xué)薄膜元件的光學(xué)性能,。此外，白光干涉膜厚儀還可以用于半導(dǎo)體行業(yè)中薄膜材料的生產(chǎn)和質(zhì)量控制,，確保半導(dǎo)體器件的性能穩(wěn)定和可靠性,。白光干涉膜厚儀還可以應(yīng)用于涂層材料的生產(chǎn)和研發(fā)過程中。涂層材料是一種在材料表面形成一層薄膜的工藝,，用于增強(qiáng)材料的表面性能,。通過白光干涉膜厚儀可以對涂層材料的厚度進(jìn)行精確測量，保證涂層的均勻性和穩(wěn)定性,，提高涂層材料的質(zhì)量和性能,。白光干涉膜厚儀是一種可用于測量薄膜厚度的儀器，適用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量,。測量膜厚儀信賴推薦

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的在線檢測和控制,；品牌膜厚儀常見問題

利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度，但還存在很多不足,，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動,，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點，且干涉極值點足夠多,，精度才高,。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點建立的，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時,，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點建立包絡(luò)線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次,，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會影響該方法的準(zhǔn)確度，對于吸收較強(qiáng)的薄膜,，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線，該方法就不再適用,。因此,，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品。品牌膜厚儀常見問題