對(duì)同一靶丸相同位置進(jìn)行白光垂直掃描干涉,，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置，通過(guò)控制光學(xué)輪廓儀的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)干涉物鏡在垂直方向上的移動(dòng),，從而測(cè)量到光線穿過(guò)靶丸后反射到參考鏡與到達(dá)基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然，當(dāng)一束平行光穿過(guò)靶丸后,，偏離靶丸中心越遠(yuǎn)的光線,，測(cè)量到的有效壁厚越大，其光程差也越大,，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，存在誤差，穿過(guò)靶丸中心的光線測(cè)得的光程差才對(duì)應(yīng)靶丸的上,、下殼層的厚度,。高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu)。品牌膜厚儀常見(jiàn)問(wèn)題

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號(hào)解調(diào)方法,。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào)。因此,，該解調(diào)方案的原理是通過(guò)傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測(cè)物理量的信息。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點(diǎn)是解調(diào)速度較快,，受干擾信號(hào)的影響較小,。但是其測(cè)量精度較低。根據(jù)數(shù)字信號(hào)處理FFT（快速傅里葉變換）理論,，若輸入光源波長(zhǎng)范圍為λ1,λ2,，則所測(cè)光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1)，所以此方法主要應(yīng)用于對(duì)解調(diào)精度要求不高的場(chǎng)合,。傅里葉變換白光干涉法是對(duì)傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來(lái)就是對(duì)采集到的光譜信號(hào)做傅里葉變換，然后濾波,、提取主頻信號(hào)后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對(duì)數(shù)運(yùn)算，并取其虛部做相位反包裹運(yùn)算,，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)證明其測(cè)量精度比傅里葉變換高。光干涉膜厚儀成本價(jià)白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)的優(yōu)化需要對(duì)實(shí)驗(yàn)方法和算法進(jìn)行改進(jìn)。

由于靶丸自身特殊的特點(diǎn)和極端的實(shí)驗(yàn)條件,，使得靶丸參數(shù)的測(cè)試工作變得異常復(fù)雜。光學(xué)測(cè)量方法具有無(wú)損,、非接觸,、測(cè)量效率高、操作簡(jiǎn)便等優(yōu)勢(shì),，因此成為了測(cè)量靶丸參數(shù)的常用方式,。目前常用于靶丸幾何參數(shù)或光學(xué)參數(shù)測(cè)量的方法有白光干涉法、光學(xué)顯微干涉法,、激光差動(dòng)共焦法等,。然而，靶丸殼層折射率是沖擊波分時(shí)調(diào)控實(shí)驗(yàn)研究中的重要參數(shù),，因此對(duì)其進(jìn)行精密測(cè)量具有重要意義,。 常用的折射率測(cè)量方法有橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等。

基于表面等離子體共振傳感的測(cè)量方案,，利用共振曲線的三個(gè)特征參量半高寬,、—共振角和反射率小值，通過(guò)反演計(jì)算得到待測(cè)金屬薄膜的厚度,。該測(cè)量方案可同時(shí)得到金屬薄膜的介電常數(shù)和厚度,，操作方法簡(jiǎn)單。我們利用Kretschmann型結(jié)構(gòu)的表面等離子體共振實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),，測(cè)得金膜在入射光波長(zhǎng)分別為632.8nm和652.1nm時(shí)的共振曲線,，由此得到金膜的厚度為55.2nm。由于該方案是一種強(qiáng)度測(cè)量方案,，測(cè)量精度受環(huán)境影響較大,，且測(cè)量結(jié)果存在多值性的問(wèn)題，所以我們進(jìn)一步對(duì)偏振外差干涉的改進(jìn)方案進(jìn)行了理論分析,，根據(jù)P光和S光之間相位差的變化實(shí)現(xiàn)厚度測(cè)量,。白光干涉膜厚儀需要校準(zhǔn)。

白光干涉膜厚儀基于薄膜對(duì)白光的反射和透射產(chǎn)生干涉現(xiàn)象,，通過(guò)測(cè)量干涉條紋的位置和間距來(lái)計(jì)算出薄膜的厚度,。這種儀器在光學(xué)薄膜、半導(dǎo)體,、涂層和其他薄膜材料的生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中具有重要的應(yīng)用價(jià)值,。當(dāng)白光照射到薄膜表面時(shí)，部分光線會(huì)被薄膜反射，而另一部分光線會(huì)穿透薄膜并在薄膜內(nèi)部發(fā)生多次反射和折射,。這些反射和折射的光線會(huì)與原始入射光線產(chǎn)生干涉,，形成干涉條紋。通過(guò)測(cè)量干涉條紋的位置和間距,，可以推導(dǎo)出薄膜的厚度信息,。白光干涉膜厚儀在光學(xué)薄膜領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用。光學(xué)薄膜是一種具有特殊光學(xué)性質(zhì)的薄膜材料,，廣泛應(yīng)用于激光器,、光學(xué)鏡片、光學(xué)濾波器等光學(xué)元件中,。通過(guò)白光干涉膜厚儀可以實(shí)現(xiàn)對(duì)光學(xué)薄膜厚度的精確測(cè)量,，保證光學(xué)薄膜元件的光學(xué)性能。此外,，白光干涉膜厚儀還可以用于半導(dǎo)體行業(yè)中薄膜材料的生產(chǎn)和質(zhì)量控制,，確保半導(dǎo)體器件的性能穩(wěn)定和可靠性。白光干涉膜厚儀還可以應(yīng)用于涂層材料的生產(chǎn)和研發(fā)過(guò)程中,。涂層材料是一種在材料表面形成一層薄膜的工藝,，用于增強(qiáng)材料的表面性能。通過(guò)白光干涉膜厚儀可以對(duì)涂層材料的厚度進(jìn)行精確測(cè)量,，保證涂層的均勻性和穩(wěn)定性,，提高涂層材料的質(zhì)量和性能。白光干涉膜厚儀是一種可用于測(cè)量薄膜厚度的儀器,，適用于透明薄膜和平行表面薄膜的測(cè)量,。測(cè)量膜厚儀信賴推薦

白光干涉膜厚測(cè)量技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜的在線檢測(cè)和控制；品牌膜厚儀常見(jiàn)問(wèn)題

利用包絡(luò)線法計(jì)算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度,，但還存在很多不足,，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動(dòng)，要求在測(cè)量波段內(nèi)存在多個(gè)干涉極值點(diǎn),，且干涉極值點(diǎn)足夠多,，精度才高。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點(diǎn)建立的,，在沒(méi)有正確方法建立包絡(luò)線時(shí),，通常使用拋物線插值法建立，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對(duì)測(cè)量對(duì)象要求高,，如果薄膜較薄或厚度不足情況下，會(huì)造成干涉條紋減少,，干涉波峰個(gè)數(shù)較少,，要利用干涉極值點(diǎn)建立包絡(luò)線就越困難,，且利用拋物線插值法擬合也很困難，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次,，薄膜吸收的強(qiáng)弱也會(huì)影響該方法的準(zhǔn)確度，對(duì)于吸收較強(qiáng)的薄膜,，隨干涉條紋減少,，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。品牌膜厚儀常見(jiàn)問(wèn)題