在對目前常用的白光干涉測量方案進行比較研究后發(fā)現(xiàn),，當兩個干涉光束的光程差非常小導致干涉光譜只有一個峰時,，基于相鄰干涉峰間距的解調方案不再適用,。因此，我們提出了一種基于干涉光譜單峰值波長移動的測量方案,，適用于極小光程差,。這種方案利用干涉光譜的峰值波長會隨光程差變化而周期性地出現(xiàn)紅移和藍移，當光程差在較小范圍內變化時,，峰值波長的移動與光程差成正比,。我們在光纖白光干涉溫度傳感系統(tǒng)上驗證了這一測量方案，并成功測量出光纖端面半導體鍺薄膜的厚度,。實驗表明,，鍺膜厚度為一定值，與臺階儀測量結果存在差異是由于薄膜表面本身并不光滑,，臺階儀的測量結果只能作為參考值,。誤差主要來自光源的波長漂移和溫度誤差。白光干涉膜厚測量技術可以應用于光學元件制造中的薄膜厚度控制,；本地膜厚儀常用解決方案

白光干涉頻域解調是利用頻域分析解調信號的一種方法,。與時域解調裝置相比,，測量裝置幾乎相同，只需將光強測量裝置更換為光譜儀或CCD,。由于時域解調中接收到的信號是一定范圍內所有波長光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加起來即可得到它對應的時域接收信號。因此,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，而且包括了時域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時,，仍然可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內部的光柵具有分光作用,，可以將寬譜光變成窄帶光譜,，從而增加光譜的相干長度。這種解調技術的優(yōu)點是整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件,，因此在測量的穩(wěn)定性和可靠性方面得到了顯著提高,。常見的頻域解調方法包括峰峰值檢測法、傅里葉解調法和傅里葉變換白光干涉解調法等,。國內膜厚儀生產廠家哪家好白光干涉膜厚測量技術可以在不同環(huán)境下進行測量,。

在初始相位為零的情況下，當被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達到最大值,。為探測兩個光束之間的零光程差位置，需要精密Z軸向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中,，用探測器記錄下干涉光強，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,；通過確定最大值對應的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度。

由于不同性質和形態(tài)的薄膜對測量量程和精度的需求不相同,，因此多種測量方法各有優(yōu)缺點,，難以籠統(tǒng)評估。測量特點總結如表1-1所示,，針對薄膜厚度不同,，適用的測量方法分別為橢圓偏振法,、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較為適用,；而對于小于200nm的薄膜,，橢圓偏振法結果更可靠,，因為透過率曲線缺少峰谷值。光學薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或半透明薄膜,。通過使用不同的解調技術處理白光干涉的圖樣，可以得到待測薄膜厚度,。本章詳細研究了白光干涉測量技術的常用解調方案,、解調原理及其局限性,，并得出了基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調方案不適用于極短光程差測量的結論,。在此基礎上,，提出了一種基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調技術,。白光干涉膜厚測量技術可以對薄膜的厚度,、反射率、折射率等光學參數(shù)進行測量,。

自1986年E.Wolf證明了相關誘導光譜的變化以來,，人們開始在理論和實驗上進行探討和研究,。結果表明，動態(tài)的光譜位移可以產生新的濾波器,，可應用于光學信號處理和加密領域,。本文提出的基于白光干涉光譜單峰值波長移動的解調方案,，可應用于當兩光程差非常小導致干涉光譜只有一個干涉峰的信號解調,，實現(xiàn)納米薄膜厚度測量,。在頻域干涉中,，當干涉光程差超過光源相干長度時,，仍然可以觀察到干涉條紋。這種現(xiàn)象是因為白光光源的光譜可以看成是許多單色光的疊加,，每一列單色光的相干長度都是無限的,。當使用光譜儀接收干涉光譜時，由于光譜儀光柵的分光作用,，寬光譜的白光變成了窄帶光譜,，導致相干長度發(fā)生變化。白光干涉膜厚測量技術可以在不同環(huán)境下進行測量,；本地膜厚儀安裝操作注意事項

可以配合不同的軟件進行分析和數(shù)據(jù)處理,，例如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等 。本地膜厚儀常用解決方案

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復雜,。如何精確地測定靶丸的光學參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關注的課題,。由于光學測量方法具有無損,、非接觸、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)越性,，靶丸參數(shù)測量通常采用光學測量方式。常用的光學參數(shù)測量手段很多,，目前，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學顯微干涉法,、激光差動共焦法等,。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調控實驗研究中的重要參數(shù),，因此，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義,。而常用的折射率測量方法，如橢圓偏振法,、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。本地膜厚儀常用解決方案