光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量,，提供有關(guān)負(fù)載表面形貌的2D和高度測(cè)量數(shù)據(jù)。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進(jìn)行厚度測(cè)量,，并且只需要使用一個(gè)傳感器從工件的一側(cè)進(jìn)行測(cè)量,。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,，因采用同軸光，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測(cè)量弧形工件的厚度,。該傳感器采樣頻率高,，體積小，且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,，因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測(cè)設(shè)備中 實(shí)現(xiàn)線上檢測(cè) ,。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對(duì)震動(dòng)物體進(jìn)行測(cè)量,，同時(shí)采用無觸碰設(shè)計(jì)，避免了測(cè)量過程中對(duì)震動(dòng)物體的干擾,，也可以對(duì)復(fù)雜區(qū)域進(jìn)行詳細(xì)的測(cè)量和分析 ,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的振動(dòng)頻率和振動(dòng)幅度的測(cè)量，對(duì)于研究材料的振動(dòng)特性具有重要意義,。防水型光譜共焦找哪里

光譜共焦傳感器如何工作,？共焦色度測(cè)量原理通過使用多透鏡光學(xué)系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標(biāo)表面來工作,。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光。工廠校準(zhǔn)為每個(gè)波長分配了一定的偏差（特定距離）,。只有精確聚焦在目標(biāo)表面或材料上的波長才能用于測(cè)量,。從目標(biāo)表面反射的這種光通過共焦孔徑到達(dá)光譜儀，該光譜儀檢測(cè)并處理光譜變化,。在整個(gè)傳感器的測(cè)量范圍內(nèi),，實(shí)現(xiàn)了一個(gè)非常小的、恒定的光斑尺寸 ,，通常 <10 μm,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測(cè)量鉆孔或鉆孔的內(nèi)表面，以及測(cè)量窄孔,、小間隙和空腔,。光譜共焦行業(yè)應(yīng)用光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué)、醫(yī)學(xué),、納米技術(shù)等多個(gè)領(lǐng)域,；

背景技術(shù):光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù),通過光源、被測(cè)物體和探測(cè)器三點(diǎn)共,，去除焦點(diǎn)以外的雜散光,，得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時(shí)由于引入圓孔探測(cè)具有了軸向深度層析能力,，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息,。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技背景技術(shù):光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù),通過光源、被測(cè)物體和探測(cè)器三點(diǎn)共,，去除焦點(diǎn)以外的雜散光,，得到比傳統(tǒng)寬場顯微鏡更高的橫向分辨率，同時(shí)由于引入圓孔探測(cè)具有了軸向深度層析能力,，通過焦平面的上下平移從而得到物體的微觀三維空間結(jié)構(gòu)信息,。這種三維成像能力使得共焦三維顯微成像技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析,、工業(yè)探測(cè)及計(jì)量等各種不同的領(lǐng)域之中?，F(xiàn)有的光學(xué)測(cè)量術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于醫(yī)學(xué)、材料分析,、工業(yè)探測(cè)及計(jì)量等各種不同的領(lǐng)域之中?，F(xiàn)有的光學(xué)測(cè)量與成像技術(shù)主要激光成像，其功耗大,、成本高,，而且精度較差,難以勝任復(fù)雜異形表面(如曲面、弧面,、凸凹溝槽等)的高精度,、穩(wěn)定檢測(cè)或者成像的光譜共焦成像技術(shù)比激光成像具有更高的精度,，而且能夠降低功耗和成本但現(xiàn)有的光譜共焦檢測(cè)設(shè)備大都是靜態(tài)檢測(cè),檢測(cè)效率低，而且難以勝任復(fù)雜異形表面 ,。

玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用,。玻璃基板的品質(zhì)對(duì)控制面板成品屏幕分辨率,、透光性、厚度,、凈重,、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個(gè)基本上構(gòu)件,。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片?，F(xiàn)階段在商業(yè)上運(yùn)用的玻璃基板，其厚度為0.7 mm及0.5m m,，且將要邁進(jìn)特薄厚度之制造,。大部分，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板,。因?yàn)椴ＡЩ搴穸群鼙?，而厚度?guī)格監(jiān)管又比較嚴(yán)格，一般在0.01mm的公差,，關(guān)鍵清晰地測(cè)量夾層玻璃厚度,、漲縮和平面度。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題,，一次測(cè)量就可以完成了相對(duì)高度值,、厚度系數(shù)的收集，再加上與此同時(shí)選用多個(gè)感應(yīng)器測(cè)量,，不僅提高了效率,，并且防止觸碰測(cè)量所造成的二次損害 。光譜共焦位移傳感器在微機(jī)電系統(tǒng),、醫(yī)學(xué),、材料科學(xué)等領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用。

在容器玻璃生產(chǎn)過程中,，圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,，需要進(jìn)行檢查。任何有缺陷的容器都會(huì)被判定為不合格產(chǎn)品并返回到玻璃熔體中 ,。為了實(shí)現(xiàn)快速的非接觸式測(cè)量,，并確保不損壞瓶子，需要高處理速度。對(duì)于這種測(cè)量任務(wù),，光譜共焦傳感器是一種合適的選擇。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量并通過EtherCAT接口實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù),，厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量,。此外，自動(dòng)曝光控制可以實(shí)現(xiàn)對(duì)不同玻璃顏色的測(cè)量的穩(wěn)定性,。光譜共焦位移傳感器可以實(shí)現(xiàn)對(duì)材料的變形過程進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè),，對(duì)于研究材料的力學(xué)行為具有重要意義。光譜共焦行業(yè)應(yīng)用

光譜共焦技術(shù)可以在醫(yī)學(xué)診斷中發(fā)揮重要作用,；防水型光譜共焦找哪里

光譜共焦位移傳感器包括光源,、透鏡組和控制箱等組成部分。光源發(fā)出一束白光,，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個(gè)連續(xù)的焦點(diǎn)組，每個(gè)焦點(diǎn)的單色光波長對(duì)應(yīng)一個(gè)軸向位置,。當(dāng)樣品位于焦點(diǎn)范圍內(nèi)時(shí),，樣品表面會(huì)聚焦后的光反射回去，這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進(jìn)入控制箱中的單色儀,。因此 只有位于樣品表面的焦點(diǎn)位置才能聚焦在狹縫上,，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識(shí)別并獲取樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達(dá)到較高分辨率,，滿足薄膜厚度分布測(cè)量要求。防水型光譜共焦找哪里