白光干涉頻域解調(diào)顧名思義是在頻域分析解調(diào)信號,，測量裝置與時域解調(diào)裝置幾乎相同,，只需把光強測量裝置換為CCD或者是光譜儀,，接收到的信號是光強隨著光波長的分布。由于時域解調(diào)中接收到的信號是一定范圍內(nèi)所有波長的光強疊加,，因此將頻譜信號中各個波長的光強疊加,，即可得到與它對應(yīng)的時域接收信號。由此可見,，頻域的白光干涉條紋不僅包含了時域白光干涉條紋的所有信息,，還包含了時域干涉條紋中沒有的波長信息。在頻域干涉中,，當兩束相干光的光程差遠大于光源的相干長度時,，仍可以在光譜儀上觀察到頻域干涉條紋。這是由于光譜儀內(nèi)部的光柵具有分光作用,，能夠?qū)捵V光變成窄帶光譜,，從而增加了光譜的相干長度,。這一解調(diào)技術(shù)的優(yōu)點就是在整個測量系統(tǒng)中沒有使用機械掃描部件，從而在測量的穩(wěn)定性和可靠性上得到很大的提高,。常見的頻域解調(diào)方法有峰峰值檢測法,、傅里葉解調(diào)法以及傅里葉變換白光干涉解調(diào)法等?？傊?，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用很廣的測量薄膜厚度的儀器。納米級膜厚儀安裝操作注意事項

為了分析白光反射光譜的測量范圍 ,，開展了不同壁厚的靶丸殼層白光反射光譜測量實驗,。圖是不同殼層厚度靶丸的白光反射光譜測量曲線，如圖所示,，對于殼層厚度30μm的靶丸,，其白光反射光譜各譜峰非常密集、干涉級次數(shù)值大,；此外,，由于靶丸殼層的吸收，壁厚較大的靶丸信號強度相對較弱,。隨著靶丸殼層厚度的進一步增加,，其白光反射光譜各譜峰將更加密集，難以實現(xiàn)對各干涉譜峰波長的測量,。為實現(xiàn)較大厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，需采用紅外的寬譜光源和光譜探測器。對于殼層厚度為μm的靶丸,，測量的波峰相對較少,，容易實現(xiàn)靶丸殼層白光反射光譜譜峰波長的準確測量；隨著靶丸殼層厚度的進一步減小,，兩干涉信號之間的光程差差異非常小,，以至于他們的光譜信號中只有一個干涉波峰，基于峰值探測的白光反射光譜方法難以實現(xiàn)其厚度的測量,；為實現(xiàn)較小厚度靶丸殼層厚度的白光反射光譜測量,，可采用紫外的寬譜光源和光譜探測器提升其探測厚度下限。高精度膜厚儀經(jīng)銷批發(fā)白光干涉膜厚儀是用于測量薄膜厚度的一種儀器,，可用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量,。

晶圓對于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要，膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一,。通常對膜厚的測量有橢圓偏振法,、探針法、光學(xué)法等，橢偏法設(shè)備昂貴,，探針法又會損傷晶圓表面,。利用光學(xué)原理進行精密測試，一直是計量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,，在光學(xué)測量領(lǐng)域,，基于干涉原理的測量系統(tǒng)已成為物理量檢測中十分精確的系統(tǒng)之一。光的干涉計量與測試本質(zhì)是以光波的波長作為單位來進行計量的,，現(xiàn)代的干涉測試與計量技術(shù)已能達到一個波長的幾百分之一的測量精度,，干涉測量的更大特點是它具有更高的靈敏度（或分辨率）和精度，,。而且絕大部分干涉測試都是非接觸的,，不會對被測件帶來表面損傷和附加誤差；測量對象較廣,，并不局限于金屬或非金屬,；可以檢測多參數(shù)，如：長度,、寬度,、直徑、表面粗糙度,、面積,、角度等。

對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉 ,，圖4-3是靶丸的垂直掃描干涉示意圖,，通過控制光學(xué)輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然,，當一束平行光穿過靶丸后，偏離靶丸中心越遠的光線,，測量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，當垂直穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上,、下殼層的厚度。廣泛應(yīng)用于電子,、半導(dǎo)體、光學(xué),、化學(xué)等領(lǐng)域,，為研究和開發(fā)提供了有力的手段。

白光掃描干涉法采用白光為光源，壓電陶瓷驅(qū)動參考鏡進行掃描,，干涉條紋掃過被測面,，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息。對于薄膜的測量,，上下表面形貌,、粗糙度、厚度等信息能通過一次測量得到,，但是由于薄膜上下表面的反射,，會使提取出來的白光干涉信號出現(xiàn)雙峰形式，變得更復(fù)雜,。另外,，由于白光掃描法需要掃描過程，因此測量時間較長而且易受外界干擾,?；趫D像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測試方法，實現(xiàn)了對雙峰干涉信號的自動分離,，實現(xiàn)了薄膜厚度的測量,。隨著技術(shù)的進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展,；品牌膜厚儀推薦廠家

白光干涉膜厚儀需要校準,，標準樣品的選擇和使用至關(guān)重要。納米級膜厚儀安裝操作注意事項

薄膜作為改善器件性能的重要途徑,，被廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代光學(xué) ,、電子 、醫(yī)療,、能源,、建材等技術(shù)領(lǐng)域。受薄膜制備工藝及生產(chǎn)環(huán)境影響,，成品薄膜存在厚度分布不均,、表面粗糙度大等問題，導(dǎo)致其光學(xué)及物理性能達不到設(shè)計要求,，嚴重影響成品的性能及應(yīng)用,。隨著薄膜生產(chǎn)技術(shù)的迅速發(fā)展，準確測量和科學(xué)評價薄膜特性作為研究熱點,，也引起產(chǎn)業(yè)界的高度重視。厚度作為關(guān)鍵指標直接影響薄膜工作特性,，合理監(jiān)控薄膜厚度對于及時調(diào)整生產(chǎn)工藝參數(shù),、降低加工成本,、提高生產(chǎn)效率及企業(yè)競爭力等具有重要作用和深遠意義。然而,，對于市場份額占比大的微米級工業(yè)薄膜,，除要求測量系統(tǒng)不僅具有百納米級的測量精度之外，還要求具備體積小,、穩(wěn)定性好的特點,，以適應(yīng)工業(yè)現(xiàn)場環(huán)境的在線檢測需求。目前光學(xué)薄膜測厚方法仍無法兼顧高精度,、輕小體積,，以及合理的系統(tǒng)成本，而具備納米級測量分辨力的商用薄膜測厚儀器往往價格昂貴,、體積較大,，且無法響應(yīng)工業(yè)生產(chǎn)現(xiàn)場的在線測量需求?；谝陨戏治?，本課題提出基于反射光譜原理的高精度工業(yè)薄膜厚度測量解決方案，研制小型化,、低成本的薄膜厚度測量系統(tǒng),，并提出無需標定樣品的高效穩(wěn)定的膜厚計算算法。研發(fā)的系統(tǒng)可以實現(xiàn)微米級工業(yè)薄膜的厚度測量,。納米級膜厚儀安裝操作注意事項