光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量，提供有關(guān)負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù),。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側(cè)進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,，因采用同軸光,，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度。該傳感器采樣頻率高,，體積小,，且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口，因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設(shè)備中 實現(xiàn)線上檢測,。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度,，該傳感器可以對震動物體進行測量，同時采用無觸碰設(shè)計,，避免了測量過程中對震動物體的干擾,，也可以對復(fù)雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 。光譜共焦技術(shù)可以實現(xiàn)高分辨率的成像和分析,。光譜共焦原理
三坐標測量機是加工現(xiàn)場常用的高精度產(chǎn)品尺寸及形位公差檢測設(shè)備,，其具有通用性強，精確可靠等優(yōu)點,。本文面向一種特殊材料異型結(jié)構(gòu)零件內(nèi)曲面的表面粗糙度測量要求,，提出一種基于高精度光譜共焦位移傳感技術(shù)的表面粗糙度在線測量的方法，利用工業(yè)現(xiàn)場常用的三坐標測量機平臺執(zhí)行輪廓掃描,，并記錄測量掃描位置實時空間橫坐標,，根據(jù)空間坐標關(guān)系，將測量掃描區(qū)域的微觀高度信息和掃描采樣點組織映射為微觀輪廓,，經(jīng)高斯濾波處理得到測量對象的表面粗糙度信息 ,。高采樣速率光譜共焦供應(yīng)鏈光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)亞微米級別的位移和形變測量，具有高精度和高分辨率的特點。
為了提高加工檢測效率 ,，實現(xiàn)尺寸形位公差與微觀輪廓的同平臺測量,，提出一種基于光譜共焦位移傳感器在現(xiàn)場坐標測量平臺上集成表面粗糙度測量的方法。搭建實驗測量系統(tǒng)且在Lab VIEW平臺上開發(fā)系統(tǒng)的硬件通訊控制模塊,，并配套了高斯輪廓濾波處理及表面粗糙度的評價環(huán)境,，建立了非接觸的表面粗糙度測量能力。對標準臺階,、表面粗糙度標準樣塊和曲面輪廓樣品進行了測量,，實驗結(jié)果表明:該測量系統(tǒng)具有較高的測量精度和重復(fù)性，粗糙度參數(shù)Ｒa的測量重復(fù)性為0.0026μm,，在優(yōu)化零件檢測流程和提高整體檢測效率等方面具有一定的應(yīng)用前景,。
隨著工業(yè)快速的發(fā)展 ，對精密測量技術(shù)的要求越來越高,，位移測量技術(shù)作為幾何量精密測量的基礎(chǔ),，不僅需要超高測量精度，而且需要對環(huán)境和材料的大量適應(yīng)性,，并且逐步趨于實時,、無損檢測。與傳統(tǒng)接觸式測量方法相比,，光譜共焦位移傳感器具有高速度,，高精度，高適應(yīng)性等明顯優(yōu)勢,。本文通過對光譜共焦傳感器應(yīng)用場景的分析,，有助于廣大讀者進一步加深對光譜共焦傳感器技術(shù)的理解。得益于納米級精度及超好的角度特性,，光譜共焦位移傳感器可用于對表面粗糙度進行高精度測量,。相對于傳統(tǒng)的接觸式粗糙度儀，光譜共焦位移傳感器以更高的速度采集粗糙度輪廓,，并且對產(chǎn)品表面無任何損傷,。激光技術(shù)的發(fā)展推動了激光位移傳感器的研究和應(yīng)用。
本文通過對比測試方法,，考核了基于白光共焦光譜技術(shù)的靶丸外表面輪廓測量精度,。圖5(a)比較了原子力顯微鏡輪廓儀和白光共焦光譜輪廓儀測量曲線 ，二者低階輪廓整體相似性高,，但在靶丸赤道附近的高頻段輪廓測量上存在一定的偏差,。此外，白光共焦光譜的信噪比也相對較低,，只適合測量靶丸表面低階的輪廓誤差,。圖5(b)比較了原子力顯微鏡輪廓儀測量數(shù)據(jù)和白光共焦光譜輪廓儀測量數(shù)據(jù)的功率譜曲線,，發(fā)現(xiàn)兩種方法在模數(shù)低于100的功率譜范圍內(nèi)測量結(jié)果一致性較好，但當模數(shù)大于100時,，白光共焦光譜的測量數(shù)據(jù)大于原子力顯微鏡的測量數(shù)據(jù),，這反映了白光共焦光譜儀在高頻段測量數(shù)據(jù)信噪比相對較差的特點。由于共焦光譜檢測數(shù)據(jù)受多種因素影響,，高頻隨機噪聲可達100nm左右,。光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對材料的微小變形進行精確測量，對于研究材料的性能具有重要意義,；線光譜共焦供貨
光譜共焦位移傳感器可以應(yīng)用于材料科學(xué),、醫(yī)學(xué)、納米技術(shù)等多個領(lǐng)域,；光譜共焦原理
玻璃基板是液晶顯示屏必不可少的零部件之一,，一張液晶顯示屏要用二張玻璃基板，各自做為底層玻璃基板和彩色濾底版應(yīng)用,。玻璃基板的品質(zhì)對控制面板成品屏幕分辨率、透光性,、厚度,、凈重、可視角度等數(shù)據(jù)都是有關(guān)鍵危害,。玻璃基板是組成液晶顯示屏元器件一個基本上構(gòu)件,。這是一種表層極為平坦的方法生產(chǎn)制造薄玻璃鏡片。現(xiàn)階段在商業(yè)上運用的玻璃基板,，其厚度為0.7 mm及0.5m m,，且將要邁進特薄（如0.4mm）厚度之制造,。大部分,，一片TFT-LCD控制面板需用到二片玻璃基板。因為玻璃基板厚度很薄,，而厚度規(guī)格監(jiān)管又比較嚴格,，一般在0.01mm的公差，關(guān)鍵清晰地測量夾層玻璃厚度,、漲縮和平面度,。選用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以非常好的處理這一難題 ，一次測量就可以完成了相對高度值,、厚度系數(shù)的收集,，再加上與此同時選用多個感應(yīng)器測量，不僅提高了高效率,，并且防止觸碰測量所造成的二次損害,。光譜共焦原理