用峰峰值法處理光譜數(shù)據(jù)時,，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率,。我們只需要獲取相鄰的兩個干涉峰值處的波長信息，即可確定光程差,，不必關(guān)心此波長處的光強大小,，從而降低了數(shù)據(jù)處理難度。此外,，也可以利用多組相鄰干涉光譜極值對應(yīng)的波長分別求出光程差,，然后再求平均值作為測量結(jié)果,，以提高該方法的測量精度。但是,，峰峰值法存在著一些缺點：當(dāng)使用寬帶光源時,，不可避免地會有與光源同分布的背景光疊加在接收光譜中，從而引起峰值處波長的改變,，從而引入測量誤差,。同時，當(dāng)兩干涉信號之間的光程差很小,，導(dǎo)致其干涉光譜只有一個干涉峰時,，此法便不再適用。這種膜厚儀可以測量大氣壓下 ,。本地膜厚儀定做

根據(jù)以上分析可知 ,，白光干涉時域解調(diào)方案的優(yōu)點是：①能夠?qū)崿F(xiàn)測量；②抗干擾能力強,，系統(tǒng)的分辨率與光源輸出功率的波動,，光源的波長漂移以及外界環(huán)境對光纖的擾動等因素?zé)o關(guān)；③測量精度與零級干涉條紋的確定精度以及反射鏡的精度有關(guān),；④結(jié)構(gòu)簡單,，成本較低。但是,，時域解調(diào)方法需要借助掃描部件移動干涉儀一端的反射鏡來進行相位補償,，所以掃描裝置的分辨率將影響系統(tǒng)的精度。采用這種解調(diào)方案的測量分辨率一般是幾個微米,，達到亞微米的分辨率,，主要受機械掃描部件的分辨率和穩(wěn)定性限制。文獻[46]所報道的位移掃描的分辨率可以達到0.54μm,。當(dāng)所測光程差較小時,，F(xiàn)-P腔前后表面干涉峰值相距很近，難以區(qū)分,，此時時域解調(diào)方案的應(yīng)用受到限制,。本地膜厚儀定做高精度的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu)。

為了提高靶丸內(nèi)爆壓縮效率,，需要確保靶丸所有幾何參數(shù)和物性參數(shù)都符合理想的球?qū)ΨQ狀態(tài),，因此需要對靶丸殼層厚度分布進行精密檢測。常用的測量手法有X射線顯微輻照法,、激光差動共焦法和白光干涉法等,。白光干涉法是以白光作為光源，分成入射到參考鏡和待測樣品的兩束光，在計算機管控下進行掃描和干涉信號分析,，得到膜的厚度信息,。該方法適用于靶丸殼層厚度的測量，但需要已知殼層材料的折射率,，且難以實現(xiàn)靶丸殼層厚度分布的測量,。

晶圓對于半導(dǎo)體器件至關(guān)重要，膜厚是影響晶圓物理性質(zhì)的重要參數(shù)之一,。通常對膜厚的測量有橢圓偏振法,、探針法、光學(xué)法等,，橢偏法設(shè)備昂貴,，探針法又會損傷晶圓表面。利用光學(xué)原理進行精密測試,，一直是計量和測試技術(shù)領(lǐng)域中的主要方法之一,，在光學(xué)測量領(lǐng)域，基于干涉原理的測量系統(tǒng)已成為物理量檢測中十分精確的系統(tǒng)之一,。光的干涉計量與測試本質(zhì)是以光波的波長作為單位來進行計量的,，現(xiàn)代的干涉測試與計量技術(shù)已能達到一個波長的幾百分之一的測量精度，干涉測量的更大特點是它具有更高的靈敏度（或分辨率）和精度,，,。而且絕大部分干涉測試都是非接觸的，不會對被測件帶來表面損傷和附加誤差,；測量對象較廣，并不局限于金屬或非金屬,；可以檢測多參數(shù),，如：長度、寬度,、直徑,、表面粗糙度、面積,、角度等,。白光干涉膜厚測量技術(shù)的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進行改進。

白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題,，具有測量范圍大,，連續(xù)測量時波動范圍小的特點，但在實際測量中,，由于測量誤差,、儀器誤差、擬合誤差等因素，干涉級次的測量精度仍其受影響,，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。導(dǎo)致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差。為得到準(zhǔn)確的干涉級次,，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設(shè)計了校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值。導(dǎo)入白光干涉光譜測量曲線,。隨著技術(shù)的不斷進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴展。測量膜厚儀找誰

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以在不同環(huán)境下進行測量,。本地膜厚儀定做

可以使用光譜分析方法來確定靶丸折射率和厚度,。極值法和包絡(luò)法、全光譜擬合法是通過分析膜的反射或透射光譜曲線來計算膜厚度和折射率的方法,。極值法測量膜厚度是根據(jù)薄膜反射或透射光譜曲線上的波峰的位置來計算的,。對于弱色散介質(zhì)，折射率為恒定值,，通過極大值點的位置可求得膜的光學(xué)厚度,，若已知膜折射率即可求解膜的厚度；對于強色散介質(zhì),，首先利用極值點求出膜厚度的初始值,，然后利用色散模型計算折射率與入射波長的對應(yīng)關(guān)系，通過擬合得到色散模型的系數(shù),，即可解出任意入射波長下的折射率,。常用的色散模型有cauchy模型、Selimeier模型,、Lorenz模型等,。本地膜厚儀定做