對同一靶丸相同位置進行白光垂直掃描干涉,，建立靶丸的垂直掃描干涉裝置,，通過控制光學輪廓儀的運動機構(gòu)帶動干涉物鏡在垂直方向上的移動,，從而測量到光線穿過靶丸后反射到參考鏡與到達基底直接反射回參考鏡的光線之間的光程差,，顯然，當一束平行光穿過靶丸后,，偏離靶丸中心越遠的光線，測量到的有效壁厚越大,，其光程差也越大，但這并不表示靶丸殼層的厚度,，存在誤差,，穿過靶丸中心的光線測得的光程差才對應(yīng)靶丸的上、下殼層的厚度,。隨著技術(shù)的進步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將不斷提高和擴展 。國產(chǎn)膜厚儀哪個品牌好

針對靶丸自身獨特的特點及極端實驗條件需求 ,，使得靶丸參數(shù)的測試工作變得異常復(fù)雜。如何精確地測定靶丸的光學參數(shù),，一直是激光聚變研究者非常關(guān)注的課題。由于光學測量方法具有無損,、非接觸、測量效率高,、操作簡便等優(yōu)越性，靶丸參數(shù)測量通常采用光學測量方式,。常用的光學參數(shù)測量手段很多，目前,，常用于測量靶丸幾何參數(shù)或光學參數(shù)的測量方法有白光干涉法,、光學顯微干涉法、激光差動共焦法等,。靶丸殼層折射率是沖擊波分時調(diào)控實驗研究中的重要參數(shù)，因此,，精密測量靶丸殼層折射率十分有意義。而常用的折射率測量方法[13],，如橢圓偏振法、折射率匹配法,、白光光譜法,、布儒斯特角法等,。測薄膜厚度的儀器 膜厚儀它可以用不同的軟件進行數(shù)據(jù)處理和分析,，比如建立數(shù)據(jù)庫、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等,。

白光掃描干涉法采用白光為光源，壓電陶瓷驅(qū)動參考鏡進行掃描,，干涉條紋掃過被測面，通過感知相干峰位置來獲得表面形貌信息,。對于薄膜的測量,，上下表面形貌、粗糙度,、厚度等信息能通過一次測量得到，但是由于薄膜上下表面的反射,，會使提取出來的白光干涉信號出現(xiàn)雙峰形式，變得更復(fù)雜,。另外,，由于白光掃描法需要掃描過程，因此測量時間較長而且易受外界干擾,?；趫D像分割技術(shù)的薄膜結(jié)構(gòu)測試方法，實現(xiàn)了對雙峰干涉信號的自動分離,，實現(xiàn)了薄膜厚度的測量。

干涉測量法是基于光的干涉原理實現(xiàn)對薄膜厚度測量的光學方法,，是一種高精度的測量技術(shù),。采用光學干涉原理的測量系統(tǒng)一般具有結(jié)構(gòu)簡單,，成本低廉,，穩(wěn)定性好,，抗干擾能力強，使用范圍廣等優(yōu)點,。對于大多數(shù)的干涉測量任務(wù)，都是通過薄膜表面和基底表面之間產(chǎn)生的干涉條紋的形狀和分布規(guī)律,，來研究干涉裝置中待測物理量引入的光程差或者是位相差的變化，從而達到測量目的,。光學干涉測量方法的測量精度可達到甚至優(yōu)于納米量級,，而利用外差干涉進行測量，其精度甚至可以達到10-3nm量級,。根據(jù)所使用光源的不同,，干涉測量方法又可以分為激光干涉測量和白光干涉測量兩大類。激光干涉測量的分辨率更高,，但是不能實現(xiàn)對靜態(tài)信號的測量,，只能測量輸出信號的變化量或者是連續(xù)信號的變化，即只能實現(xiàn)相對測量,。而白光干涉是通過對干涉信號中心條紋的有效識別來實現(xiàn)對物理量的測量,，是一種測量方式，在薄膜厚度的測量中得到了廣泛的應(yīng)用,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的在線檢測和控制,。

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中的一種低精度信號解調(diào)方法，起初由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差，并得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)勢是解調(diào)速度快,，受干擾信號影響較小，但精度不高,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT理論,，若輸入光源波長范圍為[λ1,λ2]，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2-λ1),，因此該方法主要應(yīng)用于解調(diào)精度要求不高的場合,。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進。該方法總結(jié)起來是對采集到的光譜信號進行傅里葉變換,，然后濾波,、提取主頻信號,，接著進行逆傅里葉變換,、對數(shù)運算,，之后取其虛部進行相位反包裹運算,，從而通過得到的相位來獲得干涉儀的光程差。經(jīng)實驗證明,，該方法測量精度比傅里葉變換方法更高,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以對薄膜的厚度、反射率,、折射率等光學參數(shù)進行測量。膜厚儀使用方法

白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的快速測量和分析,。國產(chǎn)膜厚儀哪個品牌好

光鏡和參考板組成,，光源發(fā)出的光經(jīng)過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,，一束作為參考光入射到參考鏡并反射,，另一束作為測量光入射到樣品表面被反射，兩束反射光反射到分光棱鏡并發(fā)生干涉,。由于實驗中需要調(diào)節(jié)樣品與被測樣品的角度,，以便更好進行測量，5XMichelson型干涉物鏡可以通過其配置的兩個旋鈕進行調(diào)節(jié),，旋鈕能夠在較大的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)參考鏡角度,，可以調(diào)節(jié)到理想角度,。光纖在測試系統(tǒng)中負責傳光,，將顯微鏡視場干涉信號傳輸?shù)轿⑿凸庾V儀,。系統(tǒng)選用光纖為海洋光學公司生產(chǎn)的高級光纖組件，光纖連接線的內(nèi)層為硅樹脂包裹的單線鋼圈,，外層為諾梅克斯編織物,，以求更好地減輕應(yīng)力并起到有效的保護作用。該組件末段是易于操作的金屬環(huán)---高精密度的SMA連接器,。光纖一端與適配器連接,，另一端與微型光譜儀連接，以將干涉光信號傳入光譜儀中,。國產(chǎn)膜厚儀哪個品牌好