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高精度膜厚儀成本價

來源: 發(fā)布時間:2024-06-12

白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向 ,,此項(xiàng)技術(shù)主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉(zhuǎn)變成為對不同波長光譜的測量 ,。通過分析被測物體的光譜特性,就能夠得到相應(yīng)的長度信息和形貌信息。相比于白光掃描干涉術(shù),,它不需要大量的掃描過程,因此提高了測量效率,,而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項(xiàng)技術(shù)能夠測量距離、位移,、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白干干涉光譜法是基于頻域干涉的理論,采用白光作為寬波段光源,,經(jīng)過分光棱鏡,,被分成兩束光,這兩束光分別入射到參考面和被測物體,,反射回來后經(jīng)過分光棱鏡合成后,,由色散元件分光至探測器,記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,,如果此時被測物體是薄膜,則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當(dāng)中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結(jié)合起來,,形成了一種精度高而且速度快的測量方法??偟膩碚f,,白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。高精度膜厚儀成本價

薄膜作為一種特殊的微結(jié)構(gòu) ,,近年來在電子學(xué) 、摩擦學(xué),、現(xiàn)代光學(xué)得到了廣泛的應(yīng)用,,薄膜的測試技術(shù)變得越來越重要。尤其是在厚度這一特定方向上,,尺寸很小,,基本上都是微觀可測量。因此,,在微納測量領(lǐng)域中,,薄膜厚度的測試是一個非常重要而且很實(shí)用的研究方向。在工業(yè)生產(chǎn)中,,薄膜的厚度直接關(guān)系到薄膜能否正常工作,。在半導(dǎo)體工業(yè)中,膜厚的測量是硅單晶體表面熱氧化厚度以及平整度質(zhì)量控制的重要手段,。薄膜的厚度影響薄膜的電磁性能,、力學(xué)性能和光學(xué)性能等,,所以準(zhǔn)確地測量薄膜的厚度成為一種關(guān)鍵技術(shù)。原裝膜厚儀定做價格白光干涉膜厚測量技術(shù)可以在不同環(huán)境下進(jìn)行測量,;

2e(n22一n12sin2i)1/2+δ’=kλ,,k=1,2,3,4,5...(1)

2e(n22一n12sin2i)1/2+δ’=(2k+1)λ/2,k=0,,1,2,3,4,,...(2)

當(dāng)膜的厚度e與波長A不可比擬時,有下列情況出現(xiàn):(1)膜厚e遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于波長^時,,由于由同一波列分解出來的2列波的光程差已超過相干民度.因而不能相遇,,故不能發(fā)生干涉…,沒有明紋或暗紋出現(xiàn).(2)膜厚e遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于波長^時,,相干條件(1),,(2)式中e一0,2相干光束之間的光程差已主要受半波損失d7的影響,,而膜厚e和入射角i實(shí)際上對光程差已沒有貢獻(xiàn).若半波損失∥存在,,就發(fā)生相消干涉,反之,,就發(fā)生相長干涉…,,故觀察到的要么全是明紋,要么全是暗紋.

靶丸殼層折射率 ,、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變(ICF)物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù),,精密測量靶丸殼層折射率、厚度及其分布對ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義,。由于靶丸尺寸微?。▉喓撩琢考墸⒔Y(jié)構(gòu)特殊(球形結(jié)構(gòu)),、測量精度要求高,,如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中重要的研究內(nèi)容。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求,,開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究,。該儀器的工作原理是通過測量反射光的干涉來計算膜層厚度,基于反射率和相位差,。

在白光反射光譜探測模塊中,,入射光經(jīng)過分光鏡1分光后 ,一部分光通過物鏡聚焦到靶丸表面 ,,靶丸殼層上,、下表面的反射光經(jīng)過物鏡、分光鏡1、聚焦透鏡,、分光鏡2后,,一部分光聚焦到光纖端面并到達(dá)光譜儀探測器,可實(shí)現(xiàn)靶丸殼層白光干涉光譜的測量,,一部分光到達(dá)CCD探測器,,可獲得靶丸表面的光學(xué)圖像,。靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊和三維運(yùn)動模塊分別用于靶丸的吸附定位以及靶丸特定角度轉(zhuǎn)位以及靶丸位置的輔助調(diào)整,,測量過程中,將靶丸放置于軸系吸嘴前端,,通過微型真空泵負(fù)壓吸附于吸嘴上,;然后,移動位移平臺,,將靶丸移動至CCD視場中心,,通過Z向位移臺,使靶丸表面成像清晰,;利用光譜儀探測靶丸殼層的白光反射光譜,;靶丸在軸系的帶動下,平穩(wěn)轉(zhuǎn)位到特定角度,,由于軸系的回轉(zhuǎn)誤差,,轉(zhuǎn)位后靶丸可能偏移CCD視場中心,此時可通過調(diào)整軸系前端的調(diào)心結(jié)構(gòu),,使靶丸定點(diǎn)位于視場中心并采集其白光反射光譜,;重復(fù)以上步驟,可實(shí)現(xiàn)靶丸特定位置或圓周輪廓白光反射光譜數(shù)據(jù)的測量,。為減少外界干擾和震動而引起的測量誤差,,該裝置放置于氣浮平臺上,通過高性能的隔振效果可保證測量結(jié)果的穩(wěn)定性,。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。塑料薄膜厚度怎么測量 膜厚儀

操作需要一定的專業(yè)素養(yǎng)和經(jīng)驗(yàn),需要進(jìn)行充分的培訓(xùn)和實(shí)踐,。高精度膜厚儀成本價

光譜儀主要包括六部分,,分別是:光纖入口、準(zhǔn)直鏡,、光柵,、聚焦鏡、區(qū)域檢測器,、帶OFLV濾波器的探測器,。光由光纖進(jìn)入光譜儀中,通過濾波器和準(zhǔn)直器后投射到光柵上,由光柵將白光色散成光譜,,經(jīng)過聚焦鏡將其投射到探測器上后,,由探測器將光信號傳入計算機(jī)。光纖接頭將輸入光纖固定在光譜儀上,,使得來自輸入光纖的光能夠進(jìn)入光學(xué)平臺,;濾波器將光輻射限制在預(yù)定波長區(qū)域;準(zhǔn)直鏡將進(jìn)入光學(xué)平臺的光聚焦到光譜儀的光柵上,,保證光路和光柵之間的準(zhǔn)直性,;光柵衍射來自準(zhǔn)直鏡的光并將衍射光導(dǎo)向聚焦鏡;聚焦鏡接收從光柵反射的光并將光聚焦到探測器上,;探測器將檢測到的光信號轉(zhuǎn)換為nm波長系統(tǒng),;區(qū)域檢測器提供90%的量子效率和垂直列中的像素,以從光譜儀的狹縫圖像的整個高度獲取光,,顯著改善了信噪比,。高精度膜厚儀成本價