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光譜共焦技術(shù)將軸向距離與波長(zhǎng)建立起一套編碼規(guī)則,,是一種高精度 ,、非接觸式的光學(xué)測(cè)量技術(shù),。基于光譜共焦技術(shù)的傳感器作為一種亞微米級(jí),、快速精確測(cè)量的傳感器,,已經(jīng)被大量應(yīng)用于表面微觀形狀,、厚度測(cè)量,、位移測(cè)量、在線監(jiān)控及過(guò)程控制等工業(yè)測(cè)量領(lǐng)域,。展望其未來(lái),,隨著光譜共焦傳感技術(shù)的發(fā)展,必將在微電子,、線寬測(cè)量,、納米測(cè)試、超精密幾何量計(jì)量測(cè)試等領(lǐng)域得到更多的應(yīng)用,。光譜共焦技術(shù)是在共焦顯微術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展而來(lái),,其無(wú)需軸向掃描,直接由波長(zhǎng)對(duì)應(yīng)軸向距離信息,,從而大幅提高測(cè)量速度,。光譜共焦技術(shù)有著較大的應(yīng)用前景。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
物體的表面形貌可以基于距離的確定來(lái)進(jìn)行,。光譜共焦傳感器還可用于測(cè)量氣缸套的圓度,、直徑、粗糙度和表面結(jié)構(gòu),。當(dāng)測(cè)量對(duì)象包含不同類(lèi)型的材料(例如塑料和金屬)時(shí),,盡管距離值保持不變,但反射率會(huì)突出材料之間的差異,。劃痕和不平整會(huì)影響反射度并變得可見(jiàn),。在檢測(cè)到信號(hào)強(qiáng)度的變化后,系統(tǒng)會(huì)創(chuàng)建目標(biāo)及其精細(xì)結(jié)構(gòu)的精確圖像,。 除了距離測(cè)量之外,,另一種選擇是使用信號(hào)強(qiáng)度進(jìn)行測(cè)量,這可以實(shí)現(xiàn)精細(xì)結(jié)構(gòu)的可視化 ,。通過(guò)恒定的曝光時(shí)間,,可以獲得關(guān)于表面評(píng)估的附加信息,而這靠距離測(cè)量是不可能的,。品牌光譜共焦性?xún)r(jià)比高企業(yè)光譜共焦技術(shù)主要來(lái)自共焦顯微術(shù),,早期由美國(guó)學(xué)者M(jìn)insky提出。
光譜共焦傳感器是一種新型高精度傳感器,,其測(cè)量精度可達(dá)到0.02%,。相比于光柵尺、容柵,、電感式變壓器偏移傳感器等傳感器,,它在偏移測(cè)量方面具有更加明顯的優(yōu)勢(shì),。由于它的高精度特性,光譜共焦傳感器在幾何量高精度測(cè)量方面得到了廣泛應(yīng)用,,如漫反射光和平面反射面的偏移測(cè)量,、平整度測(cè)量、塑料薄膜和透明材料薄厚測(cè)量,,外表粗糙度測(cè)量等,。在偏移測(cè)量方面,光譜共焦傳感器的主要功能就是測(cè)量偏移,。研究人員對(duì)光譜共焦傳感器的散射目鏡進(jìn)行了分析,,并制定了相應(yīng)的構(gòu)造來(lái)提高其各項(xiàng)特性;也有研究人員利用光譜共焦傳感器對(duì)飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)電機(jī)轉(zhuǎn)子葉片空隙進(jìn)行了高精度和高效率的測(cè)量,。在平整度測(cè)量方面,,研究人員分析了光譜共焦傳感器的檢測(cè)誤差,并對(duì)平面圖檢測(cè)誤差展開(kāi)了科學(xué)研究,。通過(guò)利用光譜共焦傳感器對(duì)圓平晶的平整度展開(kāi)測(cè)量,,他們獲得了平面圖檢測(cè)誤差的數(shù)值。
在容器玻璃的生產(chǎn)過(guò)程中,,瓶子的圓度和壁厚是重要的質(zhì)量特征,。因此,必須檢查這些參數(shù),。任何有缺陷的容器都會(huì)立即被拒絕并返回到玻璃熔體中,。高處理速度與防止損壞瓶子的需要相結(jié)合,需要快速的非接觸式測(cè)量程序,。而光譜共焦傳感器適合這項(xiàng)測(cè)量任務(wù),。該系統(tǒng)在兩個(gè)點(diǎn)上同步測(cè)量。數(shù)據(jù)通過(guò) EtherCAT 接口實(shí)時(shí)輸出,,厚度校準(zhǔn)功能允許在傳感器的整個(gè)測(cè)量范圍內(nèi)進(jìn)行精確的厚度測(cè)量,。無(wú)論玻璃顏色如何 ,自動(dòng)曝光控制都可以實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定的測(cè)量,。光譜共焦技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)高分辨率的成像和分析,。
光譜共焦測(cè)量技術(shù)是共焦原理和編碼技術(shù)的融合。一個(gè)完整的相對(duì)高度范疇能夠通過(guò)使用白光燈燈源照明燈具和光譜儀完成精確測(cè)量,。光譜共焦位移傳感器的精確測(cè)量原理如下圖1所顯示,,燈源發(fā)出光經(jīng)過(guò)光纖,再通過(guò)超色差鏡片,,超色差鏡片能夠聚焦在直線光軸上,,產(chǎn)生一系列可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)。這種可見(jiàn)光聚焦點(diǎn)是連續(xù)的,不重合的,。當(dāng)待測(cè)物放置檢測(cè)范圍內(nèi)時(shí),,只有一種光波長(zhǎng)能夠聚焦在待測(cè)物表層并反射面,依據(jù)激光光路的可逆回到光譜儀,,產(chǎn)生波峰焊,。全部別的波長(zhǎng)也將失去焦點(diǎn)。運(yùn)用單頻干涉儀的校準(zhǔn)信息計(jì)算待測(cè)物體的部位,,創(chuàng)建光譜峰處波長(zhǎng)偏移的編號(hào),。該超色差鏡片通過(guò)提升,具備比較大的縱向色差,,用以在徑向分離出來(lái)電子光學(xué)信號(hào)的光譜成份。因而,,超色差鏡片是傳感器關(guān)鍵部件,,其設(shè)計(jì)方案十分重要 。光譜共焦位移傳感器的測(cè)量精度和穩(wěn)定性受到光源,、光譜儀和探測(cè)器等因素的影響,。新型光譜共焦
光譜共焦技術(shù)具有軸向按層分析功能,精度可以達(dá)到納米級(jí)別,。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)
光譜共焦傳感器是專(zhuān)為需要高精度測(cè)量任務(wù)而設(shè)計(jì)的,,通常應(yīng)用于研發(fā)任務(wù)、實(shí)驗(yàn)室和醫(yī)療,、半導(dǎo)體制造,、玻璃生產(chǎn)和塑料加工。除了對(duì)高反射,、有光澤的金屬部件進(jìn)行距離測(cè)量以外,,這些傳感器還可用于測(cè)量深色、漫反射材料,、以及透明薄膜,、板或?qū)拥膯蚊婧穸葴y(cè)量。傳感器還受益于較大的間隔距離(高達(dá)100毫米),,從而為用戶(hù)在使用傳感器的各種應(yīng)用方面提供更大的靈活性,。另外,傳感器的傾斜角度已顯著增加,,這在測(cè)量表面特征的變化時(shí)帶來(lái)更好的性能 ,。高采樣速率光譜共焦廠家供應(yīng)