玻璃基板是液晶顯示屏必須的部件之一,，每個液晶屏需要兩個玻璃基板,，用作底部基板和彩色濾光片底部的支撐基板,。玻璃基板的質(zhì)量對面板的分辨率、透光度,、厚度、凈重和可見角度等參數(shù)都有很大的影響,。玻璃基板是液晶顯示屏中基本的構(gòu)件之一,，其制備過程需要獲得非常平坦的表面。當前在商業(yè)上使用的玻璃基板厚度為0.7毫米和0.5毫米,，未來還將向更薄的特殊groove （如0.4毫米）厚度發(fā)展,。大多數(shù)TFT-LCD穩(wěn)定面板需要兩個玻璃基板。由于玻璃基板很薄,，而厚度規(guī)格要求相當嚴格,，通常公差穩(wěn)定在0.01毫米，因此需要對夾層玻璃的厚度、膨脹和平面度進行清晰的測量,。使用創(chuàng)視智能自主生產(chǎn)研發(fā)的高精度光譜共焦位移傳感器可以很好地解決這個問題,，一次測量就可以獲得多個高度值和厚度補償。同時,，可以使用多個傳感器進行測量,，不僅可以提高效率，還可以防止接觸式測量所帶來的二次損傷,。光譜共焦位移傳感器可以用于材料的彈性模量,、形變和破壞等參數(shù)的測量。平面度測量 光譜共焦的原理

光譜共焦位移傳感器是一種基于共焦原理,，采用復色光作為光源的傳感器,，其測量精度可達到納米級，適用于測量物體表面漫反射或反射的情況,。此外,，光譜共焦位移傳感器還可以用于單向厚度測量透明物體。由于其具有高精度的測量位移特性,，因此對于透明物體的單向厚度測量以及高精度的位移測量都有著很好的應用前景 ,。本文將光譜共焦位移傳感器應用于位移測量中，并通過實驗驗證,，表明其能夠滿足高精度的位移測量要求,，這對于將整個系統(tǒng)小型化、產(chǎn)品化具有重要意義,。智能光譜共焦使用誤區(qū)光譜共焦位移傳感器可以實現(xiàn)對不同材料的位移測量,，包括金屬、陶瓷,、塑料等,。

隨著科技的不斷發(fā)展，光譜共焦技術(shù)已成為現(xiàn)代制造業(yè)中不可或缺的一部分,。作為一種高精度,、高效率的檢測手段，光譜共焦技術(shù)在點膠行業(yè)中的應用越來越普遍,。光譜共焦技術(shù)基于光學原理,，通過將白光分解為不同波長的光波，實現(xiàn)對樣品的精細光譜分析,。 在制造業(yè)中,，點膠是一道重要的工序，主要用于產(chǎn)品的密封,、固定和保護,。隨著制造業(yè)的不斷發(fā)展,，對于點膠的質(zhì)量和精度要求也越來越高。光譜共焦技術(shù)在點膠行業(yè)中的應用,，可以有效提高點膠的品質(zhì)和效率,。

光譜共焦傳感器通過使用多透鏡光學系統(tǒng)將多色白光聚焦到目標表面上來工作。透鏡的排列方式是通過控制色差（像差）將白光分散成單色光,。每個波長都有一定的偏差（特定距離）進行工廠校準,。只有精確聚焦在目標表面或材料上的波長才能用于測量。經(jīng)過共焦孔徑從目標表面反射回來的光進入光譜儀進行檢測和處理,。在整個傳感器的測量范圍內(nèi),，實現(xiàn)了一個非常小的、恒定的光斑尺寸,，通常小于10微米,。微型徑向和軸向共焦版本可用于測量鉆孔或鉆孔內(nèi)壁面，以及測量窄孔,、小間隙和空腔 ,。光譜共焦技術(shù)在材料科學領(lǐng)域可以用于材料表面和內(nèi)部的成像和分析。

光譜共焦測量技術(shù)由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角,、測量速度快,、實時性高,、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點，已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學,、材料科學、半導體制造,、表面工程研究,、精密測量和3C電子等領(lǐng)域廣泛應用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復精度,、±0.02%的線性精度 、30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,，適用于鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB,、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口。光譜共焦位移傳感器具有非接觸式測量的優(yōu)勢,，可以在微觀尺度下進行精確的位移測量,；智能光譜共焦使用誤區(qū)

光譜共焦技術(shù)在材料科學領(lǐng)域可以用于材料的性能測試和分析。平面度測量 光譜共焦的原理

高像素傳感器的設(shè)計取決于對焦水平和圖像室內(nèi)空間NA的要求,。同時,，在光譜共焦位移傳感器中，屏幕分辨率通常采用全半寬來進行精確測量,。高NA可以降低半寬,，提高分辨率。因此,，在設(shè)計超色差攝像鏡頭時,，需要盡可能提高NA。高圖像室內(nèi)空間NA可以提高傳感器系統(tǒng)的燈源使用率,，并允許待測表面在相對大的角度或某些方向上傾斜,。但是，同時提高NA也會導致球差擴大,，并增加電子光學設(shè)計的優(yōu)化難度,。傳感器的檢測范圍主要取決于超色差鏡片的縱向色差。因為光譜儀在各個波長的像素應該是一致的 ,，如果縱向色差與波長之間存在離散系統(tǒng),，這種離散系統(tǒng)也會對傳感器的像素或靈敏度在不同波長上造成較大的差別，從而損害傳感器的特性,。通過使用自然散射的玻璃或者衍射光學元件(DOE)可以形成足夠強的色差,。然而，制造難度和成本相對較高,，且在可見光范圍內(nèi)透射損耗也非常高,。平面度測量 光譜共焦的原理