根據(jù)物體表面的散射特性，可確定入射光與成像透鏡光軸的夾角。激光入射到被測物體表面，散射光強度成橢球型分布[6]。當入射光垂直入射時,，α值越小，成像透鏡接收到的散射光強度越大,，但角度過小對探測器分辨率要求及制作工藝上都有較高難度,，綜合考慮取α值為21.8°，由儀器的測量范圍±10mm可得到物距為53.85mm,。通常情況下,，庫克三元組有很好的成像效果[7]，因此選擇庫克三元組作為成像透鏡的初始結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化,。優(yōu)化過程中以各個鏡片表面的半徑為變量,，控制厚度在適當范圍，同時將像面與光軸的夾角β設(shè)為可變,，采用CODEV的橫向像差與波像差相結(jié)合的方式進行優(yōu)化,，得到下面的結(jié)果。圖3為優(yōu)化后的成像光學(xué)系統(tǒng)激光位移傳感器可精確非接觸測量被測物體的位置,、位移等變化,。常州激光位移傳感器定做

本發(fā)明涉及光學(xué)測量領(lǐng)域，并且特別地,，涉及一種激光位移傳感器,；光學(xué)傳感器是依據(jù)光學(xué)原理進行測量的儀器，這類傳感器有許多優(yōu)點,，例如,，能夠?qū)崿F(xiàn)非接觸和非破壞性測量、測量幾乎不受干擾,、能夠?qū)崿F(xiàn)高速傳輸以及可遙測,、遙控、可實時處理等優(yōu)點,。光學(xué)傳感器包括很多類型,，其中，以激光三角法為基本原理的激光位移傳感器是一種利用激光為光源,、將CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor,，互補金屬氧化物半導(dǎo)體)或者CCD(Charge-coupledDevice，電荷耦合元件)傳感器作為接收器的精密測量儀器,。這種傳感器能夠在非接觸的情況下精確測量被測物體的位置,、位移等變化，并且能夠被應(yīng)用于檢測物體的位移,、厚度,、振動、距離,、直徑等幾何量的測量,。原裝激光位移傳感器免費咨詢采用激光束對目標物體進行掃描和測量，因此可以實現(xiàn)非接觸式的位移測量,。

本實用新型涉及一種檢驗校準裝置,，特別指一種激光位移傳感器檢驗校準裝置。激光位移傳感器是一種利用激光技術(shù)進行測量的傳感器,，它由激光器,、激光檢測器、測量電路組成,。激光位移傳感器是一種新型的測量儀表,，能夠非接觸測量被測物體的位移變化，并且測量精度高,。在激光位移傳感器的使用過程中,，由于設(shè)備的磨損老化等原因，導(dǎo)致激光位移傳感器的測量誤差增大,，此時需要將激光位移傳感器進行定期的檢驗,、校準。目前,，對激光位移傳感器的檢驗,、校準，主流的做法是測量一個已知的距離(比如：1米,、5米,、10米等)，通過對比測量的數(shù)值與實際的數(shù)值來判斷測量的精確度,。但是這種方法存在有如下問題：1,、檢驗的精度不夠高,；2、需要較大的場地,。

圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下,，被感光元件接收到的光斑的形狀。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下,，感光元件接收到的光斑的形狀,，OBJ：-2.1000mm，0.0000mm為物點在子午方向無偏離,，在弧矢方向偏離-2.1mm,，IMA：1.627，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,，在弧矢方向偏離1.627mm,。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀,，OBJ：0.0000,，0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離，在子午方向無偏離,，IMA：-0.243,，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離，在弧矢方向偏離-0.243mm,。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下,，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：2.1000,，0.0000mm為物點在子午方向無偏離,，它們通常具有小巧的尺寸和輕便的重量，可以方便地安裝在各種設(shè)備和系統(tǒng)中,。

本發(fā)明提出的激光位移傳感器的成像物鏡和感光元件的調(diào)制傳遞函數(shù)(MTF)解析結(jié)果滿足MTFS＞MTFT或MTFT＞MTFS,，能夠利用像散，讓呈現(xiàn)在感光元件上的光斑在水平方向(即,，弧矢方向,，S方向)變窄，而在豎直方向(即,，子午方向,，T方向)變長(或者讓光斑在水平方向(即，弧矢方向,，S方向)變寬,，而在豎直方向(即，子午方向，T方向)變窄),，有助于更加容易地確定光斑在水平方向上的中心位置,，從而提高測量的準確度；由于激光位移傳感器中感光元件的多個感光單元的陣列排布形狀為矩形或線形,，將矩形長邊或直線的延伸方向上的MTF降低,，也不會影響測量精度；不僅如此,，由于在MTF值被拉高的方向上光斑變窄，而在MTF值被降低的方向上光斑變寬,，所以光斑與像元之間的接觸面積增大,，使得光斑更加容易地被感光元件所接收，能夠更好地應(yīng)對使用中因為振動或機械變形等隨帶來的不良影響,；此外,，由于本發(fā)明提出的激光位移傳感器所采用的成像物鏡無需兼顧水平方向和CN1 06855391B4豎直方向的MTF值，所以能夠降低物鏡的設(shè)計難度,，節(jié)省制造和維護成本,；它可以實時監(jiān)測物體的位移變化，提供準確的數(shù)據(jù)支持,。直銷激光位移傳感器設(shè)備生產(chǎn)

它抗干擾能力強,，能夠在復(fù)雜環(huán)境下正常工作。常州激光位移傳感器定做

針對目前國內(nèi)自主研制的激光位移傳感器精度低,，測量范圍小等問題,，提出了一種采用光學(xué)設(shè)計軟件預(yù)先仿真整個激光位移傳感器光學(xué)系統(tǒng)的方法。在分析系統(tǒng)各部分的光學(xué)特性的基礎(chǔ)上,，結(jié)合具體要求設(shè)計了一個激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng),，其工作范圍為（50±10）mm。采用系統(tǒng)分割的方法,，將整個光學(xué)系統(tǒng)分為兩部分進行設(shè)計,，No.1部分是激光束的整形透鏡，要求在有效的工作范圍內(nèi)得到小而均勻的出射光斑,，設(shè)計結(jié)果表明,，在測量范圍內(nèi)，光斑大小能夠控 制在10-1mm量級,；另一部分是被測面散射光接收的成像物鏡,，該系統(tǒng)的特點是物面和像面相對于光軸都有一定的角度，實驗結(jié)果表明其成像滿足Scheimpflug條件,。  常州激光位移傳感器定做