本實(shí)施例中通過采用可拆卸連接便于導(dǎo)光光纖的維護(hù)和更換。所述的發(fā)光件可設(shè)置為一個或多個,，當(dāng)設(shè)置為一個時，導(dǎo)光光纖均傳遞一個發(fā)光件的光,，這樣會導(dǎo)致傳遞到探頭殼體上的光較弱，從而導(dǎo)致光線的辨識度不高,，因此本實(shí)施例中的所述發(fā)光件設(shè)置有多個,，根據(jù)數(shù)量不同按照不同排列方式排列在光源耦合器中，所述的導(dǎo)光光纖設(shè)置有多個，發(fā)光件和導(dǎo)光光纖的關(guān)系為一一對應(yīng)連接關(guān)系,，多個導(dǎo)光光纖呈對稱分布或圓周陣列分布在探頭殼體的側(cè)壁上,，這樣由導(dǎo)光光纖一一對應(yīng)傳遞發(fā)光件產(chǎn)生的光,，使光從探頭殼體上發(fā)出后辨識度高,。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)包括高精度、非接觸式,、不受溫度和振動等影響,。銷售光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

本實(shí)用新型目的在于針對現(xiàn)有技術(shù)所存在的不足而提供光譜共焦位移傳感器系統(tǒng)的技術(shù)方案,采用價格便宜的Y型光纖和光譜共焦透鏡組,結(jié)構(gòu)簡單,使用方便,具有較強(qiáng)的實(shí)用性,實(shí)現(xiàn)了傳感器探頭的小型化,光源發(fā)射和接收同光路,利用光譜儀對采集的光波進(jìn)行采集分析,測量精度高,適用于具有高深寬比,、陡峭內(nèi)壁表面有缺陷的玻璃間隙表面進(jìn)行測量。為了解決上述技術(shù)問題,本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:光譜共焦位移傳感器系統(tǒng),其特征在于:傳感器系統(tǒng)由鹵素?zé)艄庠础型光纖,、光譜共焦透鏡組,、共焦小孔和光譜儀組成,鹵素?zé)艄庠催B接Y型光纖,光譜儀通過共焦小孔連接Y型光纖一端,y型光纖另一端連接光譜共焦透鏡組,光譜共焦透鏡組包括盒蓋,、盒體,、兩個雙凸球面鏡,、套筒和一個彎月透鏡,盒體內(nèi)設(shè)置有光路通道,、限位槽和透光孔,光路通道位于限位槽和透光孔之間,光路通道上從左往右依次設(shè)置有兩個相互平行的number one卡槽和一個第二卡槽,兩個雙凸球面鏡分別限位在兩個number one卡槽內(nèi),彎月透鏡限位在第二卡槽內(nèi),Y型光纖通過SMA905插頭與盒體相連,。江蘇光譜共焦位移傳感器廠家現(xiàn)貨該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡成像范圍的限制,。

被測物體表面反射的反射光通過探頭選擇性的接收并由接收光纖傳輸?shù)焦庾V儀,，光譜儀對反射光進(jìn)行聚焦并通過設(shè)置在光譜儀中的感光元件對反射光進(jìn)行量化處理,，量化后的光波在光譜儀上產(chǎn)生一個光譜波峰,，光譜曲線的峰值位置與聚焦于被測物體表面的波長產(chǎn)生對應(yīng)關(guān)系,；光譜儀將波長、被測物體的位移和光譜波峰位置三者建立對應(yīng)關(guān)系后進(jìn)行分析,，通過光譜波峰位置反推出被測物體的位移,，實(shí)現(xiàn)光譜共焦測量位移的過程,，通過光譜共焦工作原理,，避免激光直接照射到物體表面而呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,，克服不易確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置的缺陷,。

通過配置線傳感器和光學(xué)系統(tǒng)等以使得測量對象區(qū)域變成彼此不同的區(qū)域,可以高精度地執(zhí)行多點(diǎn)測量,。多個光學(xué)頭可以是2個光學(xué)頭或者3個光學(xué)頭。利用本技術(shù),可以使用少量的組件來執(zhí)行2個或3個點(diǎn)的同時測量,。根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的測量方法包括射出具有不同波長的多個光束,。通過多個光學(xué)頭中的各光學(xué)頭,將所射出的多個光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光,。使從多個光學(xué)頭射出的多個測量光束發(fā)生衍射,并且向線傳感器的不同的多個受光區(qū)域射出衍射光束?；诰€傳感器的多個受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為多個光學(xué)頭的測量對象的多個測量點(diǎn)各自的位置,。根據(jù)本發(fā)明,可以利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量。應(yīng)當(dāng)注意,不必局限于這里的效果,并且可以獲得說明書中的任何效果,。傳感器需要使用的光譜共焦顯微鏡進(jìn)行測量,。

遠(yuǎn)距離測量：可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量,。 測量效率高：不像接觸測頭那樣需要探測,、返回、移動等進(jìn)行逐點(diǎn)測量,，可高速掃描測量,。測量精度高：光斑可聚焦到很小，進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位,。 其中,，光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高,、探測信噪比高的激光光源,，但使用激光進(jìn)行三角測量時，照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,，而且被測物體的顏色,、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布，從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,，導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,，在測量光潔度高的物體表面時這些缺陷更為明顯，為了更加精細(xì),、更加穩(wěn)定的測量位移，需要采用新型位移測量技術(shù),。因此,，現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展,。該傳感器的應(yīng)用將有助于提高微納制造、生物醫(yī)學(xué)和半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域中的精密測量的準(zhǔn)確性,。廣州本地光譜共焦位移傳感器

它可以實(shí)現(xiàn)對材料的微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行高精度測量,，對于研究材料的微觀性質(zhì)具有重要意義。銷售光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好

白色光中所包括的多個可見光束彼此分離,并且從殼體部向著待測物體的測量點(diǎn)射出,。應(yīng)當(dāng)注意,在圖中,RGB這三個顏色的光表示由物鏡分離的多個可見光束,。當(dāng)然,還射出其它顏色(其它波長)的光。 圖1所示的波長和聚焦位置P,表示多個可見光束中的具有shortest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與藍(lán)色光B相對應(yīng),。波長入和聚焦位置P表示多個可見光數(shù)中的具有longest波長的可見光的波長和聚焦位置,并且例如與紅色光R相對應(yīng),。波長和聚焦位置P表示多個可見光束中的任意可見光的波長和聚焦位置,并且在圖中例示出綠色光G(k=1~n).銷售光譜共焦位移傳感器生產(chǎn)廠家哪家好