白光干涉光譜分析是目前白光干涉測量的一個重要方向,，此項技術主要是利用光譜儀將對條紋的測量轉變成為對不同波長光譜的測量,。通過分析被測物體的光譜特性，就能夠得到相應的長度信息和形貌信息,。相比于白光掃描干涉術,，它不需要大量的掃描過程，因此提高了測量效率,，而且也減小了環(huán)境對它的影響,。此項技術能夠測量距離,、位移、塊狀材料的群折射率以及多層薄膜厚度,。白光干涉光譜法是基于頻域干涉的理論，采用白光作為寬波段光源,，經過分光棱鏡,，被分成兩束光，這兩束光分別入射到參考面和被測物體,，反射回來后經過分光棱鏡合成后,，由色散元件分光至探測器，記錄頻域上的干涉信號,。此光譜信號包含了被測表面的信息,，如果此時被測物體是薄膜，則薄膜的厚度也包含在這光譜信號當中,。這樣就把白光干涉的精度和光譜測量的速度結合起來,，形成了一種精度高而且速度快的測量方法。這種膜厚儀可以測量大氣壓下 ,。原裝膜厚儀產品使用誤區(qū)

Michelson干涉物鏡,，準直透鏡將白光縮束準直后垂直照射到待測晶圓上，反射光之間相互發(fā)生干涉,，經準直鏡后干涉光強進入光纖耦合單元,，完成干涉部分。光纖傳輸?shù)母缮嫘盘栠M入光譜儀,，計算機定時從光譜儀中采集光譜信號,，獲取諸如光強、反射率等信息,，計算機對這些信息進行信號處理,，濾除高頻噪聲信息，然后對光譜信息進行歸一化處理,，利用峰值對應的波長值,，計算晶圓膜厚。光源采用氙燈光源,，選擇氙燈作為光源具有以下優(yōu)點：氙燈均為連續(xù)光譜,，且光譜分布幾乎與燈輸入功率變化無關，在壽命期內光譜能量分布也幾乎不變,；氙燈的光,、電參數(shù)一致性好，工作狀態(tài)受外界條件變化的影響??；氙燈具有較高的電光轉換效率,，可以輸出高能量的平行光等。白光干涉膜厚儀找誰白光干涉膜厚測量技術的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進行改進,；

干涉法和分光光度法都是基于相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率,。不同于薄膜自發(fā)產生的等傾干涉，干涉法是通過設置參考光路來形成參考平面和測量平面間干涉條紋,，因此其相位信息包含兩個部分,，分別是由掃描高度引起的附加相位和由薄膜內部多次反射引起的膜厚相位。干涉法的測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相干波面的干涉光強分布,。與以上三種點測量方式不同,，干涉法能夠一次性生成薄膜待測區(qū)域的表面形貌信息，但因存在大量軸向掃描和數(shù)據(jù)解算,，完成單次測量的時間相對較長,。

由于不同性質和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論,。按照薄膜厚度的增加，適用的測量方式分別為橢圓偏振法,、分光光度法,、共聚焦法和干涉法。對于小于1μm的較薄薄膜,，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合。而對于小于200nm的薄膜,，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結果更加可靠?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調技術處理白光干涉的圖樣，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細研究白光干涉測量技術的常用解調方案,、解調原理及其局限性的基礎上，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調方案不適用于極短光程差測量的結論,。在此基礎上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調技術。白光干涉膜厚儀需要進行校準,，并選擇合適的標準樣品,。

由于不同性質和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論,。按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結果更可靠?；诎坠飧缮嬖淼墓鈱W薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調技術處理白光干涉的圖樣，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細研究白光干涉測量技術的常用解調方案,、解調原理及其局限性的基礎上，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調方案不適用于極短光程差測量的結論,。在此基礎上,，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調技術。白光干涉膜厚測量技術可以實現(xiàn)對薄膜的快速測量和分析 ,。白光干涉膜厚儀找誰

白光干涉膜厚測量技術可以對薄膜的厚度,、反射率、折射率等光學參數(shù)進行測量,。原裝膜厚儀產品使用誤區(qū)

白光掃描干涉法能免除色光相移干涉術測量的局限性,。白光掃描干涉法采用白光作為光源，白光作為一種寬光譜的光源,，相干長度較短,，因此發(fā)生干涉的位置只能在很小的空間范圍內。而且在白光干涉時,，有一個確切的零點位置,。當測量光和參考光的光程相等時，所有波段的光都會發(fā)生相長干涉,，這時就能觀測到有一個很明亮的零級條紋,，同時干涉信號也出現(xiàn)最大值，通過分析這個干涉信號,，就能得到表面上對應數(shù)據(jù)點的相對高度,，從而得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度,。因此,，為了提高精度，就需要更為復雜的光學系統(tǒng),，這使得條紋的測量變成一項費力又費時的工作,。原裝膜厚儀產品使用誤區(qū)