薄膜是指分子 ,、原子或者是離子在基底表面沉積形成的一種特殊的二維材料,。近幾十年來,，隨著材料科學和鍍膜工藝的不斷發(fā)展,，厚度在納米量級（幾納米到幾百納米范圍內）薄膜的研究和應用迅速增加,。與體材料相比，因為納米薄膜的尺寸很小，使得表面積與體積的比值增加,，表面效應所表現出的性質非常突出,，因而在光學性質和電學性質上有許多獨特的表現,。納米薄膜應用于傳統(tǒng)光學領域,，在生產實踐中也得到了越來越廣泛的應用,，尤其是在光通訊、光學測量,，傳感,，微電子器件，生物與醫(yī)學工程等領域的應用空間更為廣闊,。白光干涉膜厚測量技術的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進行改進；防水膜厚儀主要功能與優(yōu)勢

白光掃描干涉法可以避免色光相移干涉法測量的局限性,。該方法利用白光作為光源,，由于白光是一種寬光譜的光源,，相干長度相對較短,，因此發(fā)生干涉的位置范圍很小。在白光干涉時,，存在一個確定的零位置，當測量光和參考光的光程相等時,，所有波長的光均會發(fā)生相長干涉，此時可以觀察到一個明亮的零級條紋,，同時干涉信號也達到最大值。通過分析這個干涉信號,，可以得到被測物體的幾何形貌。白光掃描干涉術是通過測量干涉條紋來完成的,，而干涉條紋的清晰度直接影響測試精度,。因此,，為了提高精度，需要更為復雜的光學系統(tǒng),，這使得條紋的測量變得費力費時。蘇州膜厚儀常用解決方案隨著技術的不斷進步和應用領域的擴展,，白光干涉膜厚儀的性能和功能將得到進一步提高。

采用峰峰值法處理光譜數據時 ,，被測光程差的分辨率取決于光譜儀或CCD的分辨率。我們只需獲得相鄰的兩干涉峰值處的波長信息即可得出光程差,，不必關心此波長處的光強大小，從而降低數據處理的難度,。也可以利用多組相鄰的干涉光譜極值對應的波長來分別求出光程差，然后再求平均值作為測量光程差,，這樣可以提高該方法的測量精度,。但是,，峰峰值法存在著一些缺點：當使用寬帶光源作為輸入光源時，接收光譜中不可避免地疊加有與光源同分布的背景光,，從而引起峰值處波長的改變，引入測量誤差,。同時，當兩干涉信號之間的光程差很小,，導致其干涉光譜只有一個干涉峰的時候，此法便不再適用,。

干涉法與分光光度法都是利用相干光形成等厚干涉條紋的原理來確定薄膜厚度和折射率 ,，然而與薄膜自發(fā)產生的等傾干涉不同，干涉法是通過設置參考光路,，形成與測量光路間的干涉條紋，因此其相位信息包含兩個部分,，分別是由參考平面和測量平面間掃描高度引起的附加相位和由透明薄膜內部多次反射引起的膜厚相位。干涉法測量光路使用面陣CCD接收參考平面和測量平面間相干波面的干涉光強分布,，不同于以上三種點測量方式，可一次性生成薄膜待測區(qū)域的表面形貌信息，但同時由于存在大量軸向掃描和數據解算,，完成單次測量的時間相對較長。隨著技術的不斷進步和應用領域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴展,。

在白光干涉中，當光程差為零時,，會出現零級干涉條紋。隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內的每條譜線形成的干涉條紋之間會發(fā)生偏移，疊加后整體效果導致條紋對比度降低,。白光干涉原理的測量系統(tǒng)精度高，可以進行測量,。采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)具有抗干擾能力強、動態(tài)范圍大,、快速檢測和結構簡單緊湊等優(yōu)點。雖然普通的激光干涉與白光干涉有所區(qū)別,，但它們也具有許多共同之處。我們可以將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加,，而在頻域上觀察到的就是不同波長對應的干涉光強變化曲線。總的來說,，白光干涉膜厚儀是一種應用很廣的測量薄膜厚度的儀器。膜厚儀企業(yè)

白光干涉膜厚儀需要進行校準,，并選擇合適的標準樣品。防水膜厚儀主要功能與優(yōu)勢

白光光譜法具有測量范圍大、連續(xù)測量時波動范圍小的優(yōu)點,，可以解決干涉級次模糊識別的問題,。但在實際測量中，由于誤差,、儀器誤差和擬合誤差等因素的影響，干涉級次的測量精度仍然受到限制,，會出現干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現象。這可能導致計算得出的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'（整數）之間存在誤差,。因此，本文設計了以下校正流程圖,，基于干涉級次的連續(xù)特性得到了靶丸殼層光學厚度的準確值,。同時，給出了白光干涉光譜測量曲線,。防水膜厚儀主要功能與優(yōu)勢