在圖1所示的實(shí)施例中,，成像物鏡6包含以下兩種結(jié)構(gòu)形式：(形式一)成像物鏡6為物側(cè)面和像側(cè)面都為非球面的單一非球面鏡片，(形式二)成像物鏡6是由多個(gè)鏡片組合而成的透鏡組,。綜上所述,，本發(fā)明在激光位移傳感器的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，利用增加像散,，在感光元件的感光單元沿著S方向排列的情況下,，拉高成像物鏡S方向的MTF值同時(shí)降低T方向上的MTF值，使得線陣感光元件上的光斑呈現(xiàn)長條狀態(tài),，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)以下技術(shù)效果：降低激光位移傳感器中成像物鏡的設(shè)計(jì)難度,，同時(shí)降低了設(shè)備的成本；這種傳感器還可以用于測量建筑物的結(jié)構(gòu)變形,，以確保其安全性,。浙江激光位移傳感器答疑解惑

成像物鏡6和感光元件7組成的成像系統(tǒng)經(jīng)調(diào)制傳遞函數(shù)進(jìn)行解析后會得到解析結(jié)果MTFS和MTFT，其中MTFS為弧矢方向上的MTF值,，MTFT是子午方向上的MTF值,。[0043]在一個(gè)實(shí)施例中，如果感光元件的多個(gè)感光單元為沿著S方向(弧矢方向,，可以將弧矢向定義為水平方向)排列,，則在光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)，可以利用成像物鏡6的像散拉高S方向(弧矢方向,，可以將弧矢方向定義為水平方向)的MTF值,，降低T方向MTF值。通過將成像系統(tǒng)的MTFS和MTFT設(shè)計(jì)為滿足MTFS＞MTFT,，能夠讓呈現(xiàn)的光斑在子午方向上被拉長,，在弧矢方向上被縮短。高速激光位移傳感器歡迎選購它具有高精度,、高靈敏度和快速響應(yīng)的特點(diǎn),，適用于各種應(yīng)用領(lǐng)域。

隨著科學(xué)技術(shù)的迅猛發(fā)展,，具有非接觸,、高精度、穩(wěn)定性好,、可自動(dòng)化及易于與計(jì)算機(jī)相結(jié)合等特點(diǎn)的激光位移檢測技術(shù)在自動(dòng)檢測,、機(jī)器人視覺、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與制造等領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用,，已將逐漸取代傳統(tǒng)的接觸式檢測技術(shù),，成為現(xiàn)代檢測技術(shù)很重要的手段和方法,。非接觸式激光平面檢測系統(tǒng)主要利用激光位移傳感器與平臺運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)來檢測對象物平面平整度。位移傳感器用來測量目標(biāo)物體的距離,，按與對象物的接觸類型它分為兩類：主要有使用差動(dòng)電壓等形式的接觸式與使用磁場,、超聲波、激光等形式的非接觸式,。由于非接觸式激光位移傳感器具有高精度表面掃描的特點(diǎn),，系統(tǒng)選擇基恩士公司的LT一9001Series型激光位移傳感器，該激光位移傳感器可以對任何對象物進(jìn)行高精密度的位移測定,，例如可以對微細(xì)工件,、粗面工件的高度進(jìn)行測定，還可以測量電路板上的焊錫以及測定透明體的表面和厚度,。平臺運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)選擇丹納赫公司的ULTIMAC—G型控制器和二維電動(dòng)平移臺,。云南麗江天文工作站2.4mm天文望遠(yuǎn)鏡終端的拼接CCD相機(jī)為了得到更清晰的天體圖像，將采用該非接觸式激光平面檢測系統(tǒng),，對拼接CCD相機(jī)平面平整度進(jìn)行檢測,。

激光位移傳感器的測量精度容易受到被測物體表面特征的影響，為了減小測量誤差,，在整形鏡設(shè)計(jì)中應(yīng)盡量使出射光斑在有效的測量范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)光斑小且均勻,。針對傳感頭小型化設(shè)計(jì)的要求，半導(dǎo)體激光器體積小,、重量輕的優(yōu)點(diǎn)正好符合這一要求,，但其光束質(zhì)量并不理想，需要對其進(jìn)行光束整形,。半導(dǎo)體激光器快慢軸的光束分布極不對稱:快軸發(fā)散角較大,，半角的典型值為30～40°，光束呈高斯分布,，發(fā)光范圍的半寬度為0.6～0.8μm,，慢軸發(fā)散角的半角典型值為3～6°，光束分布不規(guī)則,，發(fā)光范圍半寬度為50～100μm,。因此，在不允許能量損失的情況下,，要求整形系統(tǒng)的物方數(shù)值孔徑(NA)>0.573,；但由于光束的快軸能量呈高斯分布,，通常取半寬度(FWHM)為20°,，此時(shí)NA=0.342。系統(tǒng)物距應(yīng)盡量小一些,，但考慮到工藝問題,，不宜過小,，選定為2.5mm。為了便于設(shè)計(jì),，將系統(tǒng)倒置,，整個(gè)系統(tǒng)的主要要求為:工作波長為785±10nm，像方NA=0.342,，像距l(xiāng)′=2.5mm,，物距l(xiāng)=40～60mm，焦距f=3～4mm,。它可以實(shí)時(shí)測量物體的位移,，并提供高精度的測量結(jié)果。

所述電子測量儀22包括一電子千分表221以及一千分表夾持裝置222,，所述電子千分表221使得所述激光位移傳感器4的檢驗(yàn)精度極大提高,；所述電子千分表221夾持在所述千分表夾持裝置222上，所述千分表夾持裝置222一端抵接于所述延伸部231,，另一端抵接于所述橫向蝸桿211上,，當(dāng)所述橫向蝸桿211進(jìn)行橫向位移時(shí)，所述電子千分表221可以精確的測量位移量,。所述傳感器夾持裝置3包括一縱向螺桿31以及一夾持器32,；所述夾持器32套設(shè)在所述縱向螺桿31上，所述夾持器32可在所述縱向螺桿31上調(diào)節(jié)高度,，所述激光位移傳感器4夾持在所述夾持器32上,。它可以用于測量液壓系統(tǒng)的位移，以提高系統(tǒng)的控制精度,。浙江激光位移傳感器答疑解惑

它具有高度穩(wěn)定性和可靠性,。浙江激光位移傳感器答疑解惑

從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小,，主要是為了保證系統(tǒng)在整個(gè)工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑,。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm,，在靠近透鏡的一邊,，minimun為0.08mm，在55mm處,。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過物體散射回去的,，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時(shí)為了保證精度要求，光斑也不能太大,，上面的結(jié)果能夠滿足需求,。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問題,。在直入射式三角法測量中,，物體沿激光入射方向移動(dòng)，物面并不垂直于成像光軸,。那么在透鏡成像過程中(如圖1),，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5]。要想達(dá)到理想的成像效果,，光電探測器需依此條件放置,。浙江激光位移傳感器答疑解惑