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遠(yuǎn)距離測量:可遠(yuǎn)離被測物體進(jìn)行掃描測量,。 測量效率高:不像接觸測頭那樣需要探測,、返回,、移動等進(jìn)行逐點(diǎn)測量,,可高速掃描測量,。測量精度高:光斑可聚焦到很小,,進(jìn)而可探測一般機(jī)械測頭難以探測的部位,。 其中,,光學(xué)測量以三角測量法應(yīng)用broadest,。而根據(jù)三角測量法制成的三角位移傳感器通常所使用的光源為具有亮度高、探測信噪比高的激光光源,,但使用激光進(jìn)行三角測量時(shí),,照射到物體表面的激光會呈現(xiàn)顆粒狀的散斑,,而且被測物體的顏色、材質(zhì)和放置的角度會影響的光斑的分布,,從而確定像點(diǎn)的質(zhì)心位置變得異常困難,,導(dǎo)致三角法測量誤差比較大,在測量光潔度高的物體表面時(shí)這些缺陷更為明顯,,為了更加精細(xì),、更加穩(wěn)定的測量位移,需要采用新型位移測量技術(shù),。因此,,現(xiàn)有技術(shù)還有待于改進(jìn)和發(fā)展。光譜共焦位移傳感器是一種高精度,、具有廣泛的應(yīng)用前景,。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
多個(gè)光入射口可以沿著與線傳感器的線方向相對應(yīng)的預(yù)定方向設(shè)置。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器,。分光器可以包括設(shè)置有多個(gè)光入射口的光入射面,。在這種情況下,多個(gè)光入射口可以設(shè)置在包括線方向和預(yù)定基準(zhǔn)軸的方向的平面與光入射面相交的直線上。因此,可以容易地設(shè)計(jì)分光器,。在針對多個(gè)光學(xué)頭中的各光學(xué)頭將如下區(qū)域假定為測量對象區(qū)域的情況下,,多個(gè)受光區(qū)域可以與分別對應(yīng)于多個(gè)光學(xué)頭的多個(gè)測量對象區(qū)域相對應(yīng),其中,該區(qū)域是線傳感器的從在射出多個(gè)光東中的具有shortest波長的光作為測量光的情況下的受光位置到在射出具有longest波長的光作為測量光的情況下的受光位置為止的區(qū)域,。唐山光譜共焦位移傳感器價(jià)格走勢它可以測量物體的微小位移,,精度可以達(dá)到亞微米級別。
本實(shí)用新型涉及光電精密測量領(lǐng)域,,尤其涉及的是一種光譜共焦位移傳感器,。隨著我國的航空航天、汽車,、造船等高技術(shù)產(chǎn)業(yè)飛速發(fā)展,,對產(chǎn)品和零部件外形尺寸的工藝水平及精度要求越來越高,所以,,能否進(jìn)行高效率,、高精度的檢測,將直接關(guān)系到產(chǎn)品的質(zhì)量和使用壽命,。能進(jìn)行高效率,、高精度測量的技術(shù)手段通常分為接觸式測量(以機(jī)械式和壓電式為主)與非接觸式測量(光學(xué)式為主)兩類。非接觸式光學(xué)測量具有如下優(yōu)點(diǎn):無損檢測:可測量柔軟和易變形件,、脆性和易損件,,特別適合不允許接觸的場景。
本實(shí)施例中的光譜共焦位移傳感探頭具體包括有探頭殼體,,探頭殼體與入射光纖和接收光纖固定連接,,探頭殼體優(yōu)先采用圓柱形殼體,,用于對探頭內(nèi)的光學(xué)元件進(jìn)行安裝和支撐且對結(jié)構(gòu)進(jìn)行保護(hù),易于想到的是,,探頭殼體可設(shè)置為方形,,多邊形或其他特定形狀。在探頭殼體內(nèi)固定設(shè)置有半透半反光學(xué)鏡,,半透半反光學(xué)鏡位于所述入射光纖的出光端的正下方,;半透半反光學(xué)鏡對通過入射光纖傳導(dǎo)后的多色光實(shí)現(xiàn)一半透射而一半反射,而當(dāng)透射的光線經(jīng)過被測物體反射形成反射光后照射到半透半反光學(xué)鏡上,,半透半反光學(xué)鏡對反射光進(jìn)行一半透射,,一半反射;該傳感器的測量范圍受到光譜共焦顯微鏡的成像范圍限制,。
分光器包括線傳感器和光學(xué)系統(tǒng),。光學(xué)系統(tǒng)包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且所述光學(xué)系統(tǒng)向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束中的各個(gè)測量光束。 所述位置計(jì)算部基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置,。該光譜共焦傳感器包括用于使用從光源部射出的光進(jìn)行測量的多個(gè)光學(xué)頭。從光學(xué)頭各自射出的測量光由于衍射光柵而發(fā)生衍射,并且分別向線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域射出,。因此,可以基于線傳感器的多個(gè)受光區(qū)域的各受光位置來計(jì)算多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置,。結(jié)果,可以在不增加衍射光柵和線傳感器的數(shù)量的情況下,利用少量的組件來執(zhí)行多點(diǎn)測量光譜共焦技術(shù)可以消除光學(xué)像差和色差的影響,提高測量精度,。新品光譜共焦位移傳感器找哪家
該傳感器利用光路中的光譜信息來測量位移,。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢
一種光譜共焦傳感器,包括:光源部,用于射出具有不同波長的多個(gè)光束:多個(gè)光學(xué)頭,用于將從所述光源部射出的所述多個(gè)光束會聚于不同的聚焦位置處,并且射出在所述聚焦位置處被測量點(diǎn)反射的測量光:分光器,其包括:線傳感器,以及光學(xué)系統(tǒng),其包括用于使從所述多個(gè)光學(xué)頭射出的多個(gè)測量光束發(fā)生衍射的衍射光柵,并且向所述線傳感器的不同的多個(gè)受光區(qū)域射出通過所述衍射光柵所衍射的所述多個(gè)測量光束中的各個(gè)測量光束;以及位置計(jì)算部,用于基于所述線傳感器的所述多個(gè)受光區(qū)域各自的受光位置來計(jì)算作為所述多個(gè)光學(xué)頭的測量對象的多個(gè)測量點(diǎn)各自的位置。高精度光譜共焦位移傳感器主要功能與優(yōu)勢