光鏡和參考板組成，光源發(fā)出的光經(jīng)過顯微鏡后被分光棱鏡分成兩部分,，一束作為參考光入射到參考鏡并反射,，另一束作為測量光入射到樣品表面被反射，兩束反射光反射到分光棱鏡并發(fā)生干涉,。由于實(shí)驗(yàn)中需要調(diào)節(jié)樣品與被測樣品的角度,，以便更好進(jìn)行測量，5XMichelson型干涉物鏡可以通過其配置的兩個旋鈕進(jìn)行調(diào)節(jié),，旋鈕能夠在較大的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)參考鏡角度,，可以調(diào)節(jié)到理想角度。光纖在測試系統(tǒng)中負(fù)責(zé)傳光,，將顯微鏡視場干涉信號傳輸?shù)轿⑿凸庾V儀,。系統(tǒng)選用光纖為海洋光學(xué)公司生產(chǎn)的高級光纖組件，光纖連接線的內(nèi)層為硅樹脂包裹的單線鋼圈,，外層為諾梅克斯編織物,，以求更好地減輕應(yīng)力并起到有效的保護(hù)作用,。該組件末段是易于操作的金屬環(huán)---高精密度的SMA連接器,。光纖一端與適配器連接，另一端與微型光譜儀連接,，以將干涉光信號傳入光譜儀中,。膜厚儀的干涉測量能力較高，可以提供精確和可信的膜層厚度測量結(jié)果,。國產(chǎn)膜厚儀技術(shù)指導(dǎo)

靶丸殼層折射率 ,、厚度及其分布參數(shù)是激光慣性約束聚變（ICF）物理實(shí)驗(yàn)中非常關(guān)鍵的參數(shù)，精密測量靶丸殼層折射率,、厚度及其分布對ICF精密物理實(shí)驗(yàn)研究具有非常重要的意義,。由于靶丸尺寸微小（亞毫米量級）,、結(jié)構(gòu)特殊（球形結(jié)構(gòu)）,、測量精度要求高，如何實(shí)現(xiàn)靶丸殼層折射率及其厚度分布的精密測量是靶參數(shù)測量技術(shù)研究中重要的研究內(nèi)容,。本論文針對靶丸殼層折射率及厚度分布的精密測量需求,，開展了基于白光干涉技術(shù)的靶丸殼層折射率及厚度分布測量技術(shù)研究。高精度膜厚儀設(shè)備生產(chǎn)白光干涉膜厚測量技術(shù)可以應(yīng)用于光學(xué)元件制造中的薄膜厚度控制。

該文主要研究了以半導(dǎo)體鍺和貴金屬金兩種材料為對象,，實(shí)現(xiàn)納米級薄膜厚度準(zhǔn)確測量的可行性,，主要涉及三種方法，分別是白光干涉法,、表面等離子體共振法和外差干涉法,。由于不同材料薄膜的特性不同，所適用的測量方法也不同,。對于折射率高,，在通信波段（1550nm附近）不透明的半導(dǎo)體鍺膜，選擇采用白光干涉的測量方法,；而對于厚度更薄的金膜,，其折射率為復(fù)數(shù)，且能夠激發(fā)表面等離子體效應(yīng),，因此采用基于表面等離子體共振的測量方法,。為了進(jìn)一步提高測量精度，論文還研究了外差干涉測量法,，通過引入高精度的相位解調(diào)手段并檢測P光和S光之間的相位差來提高厚度測量的精度,。

在激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中，靶丸的物性參數(shù)和幾何參數(shù)對靶丸制備工藝改進(jìn)和仿真模擬核聚變實(shí)驗(yàn)過程至關(guān)重要,。然而,，如何對靶丸多個參數(shù)進(jìn)行同步、高精度,、無損的綜合檢測是激光慣性約束核聚變實(shí)驗(yàn)中的關(guān)鍵問題,。雖然已有多種薄膜厚度及折射率的測量方法，但仍然無法滿足激光核聚變技術(shù)對靶丸參數(shù)測量的高要求,。此外,，靶丸的參數(shù)測量存在以下問題：不能對靶丸進(jìn)行破壞性切割測量，否則被破壞的靶丸無法用于后續(xù)工藝處理或打靶實(shí)驗(yàn),；需要同時測得靶丸的多個參數(shù),，因?yàn)椴煌瑓?shù)的單獨(dú)測量無法提供靶丸制備和核聚變反應(yīng)過程中發(fā)生的結(jié)構(gòu)變化的現(xiàn)象和規(guī)律，并且效率低下,、沒有統(tǒng)一的測量標(biāo)準(zhǔn),。由于靶丸屬于自支撐球形薄膜結(jié)構(gòu)，曲面應(yīng)力大,、難以展平,，因此靶丸與基底不能完全貼合，可在微觀區(qū)域內(nèi)視作類薄膜結(jié)構(gòu),。白光干涉膜厚儀可以配合不同的軟件進(jìn)行分析和數(shù)據(jù)處理,，例如建立數(shù)據(jù)庫、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等。

在白光干涉中,，當(dāng)光程差為零時,，會出現(xiàn)零級干涉條紋。隨著光程差的增加,，光源譜寬范圍內(nèi)的每條譜線形成的干涉條紋之間會發(fā)生偏移,，疊加后整體效果導(dǎo)致條紋對比度降低。白光干涉原理的測量系統(tǒng)精度高,，可以進(jìn)行測量,。采用白光干涉原理的測量系統(tǒng)具有抗干擾能力強(qiáng),、動態(tài)范圍大,、快速檢測和結(jié)構(gòu)簡單緊湊等優(yōu)點(diǎn),。雖然普通的激光干涉與白光干涉有所區(qū)別，但它們也具有許多共同之處,。我們可以將白光看作一系列理想的單色光在時域上的相干疊加,，而在頻域上觀察到的就是不同波長對應(yīng)的干涉光強(qiáng)變化曲線。隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴(kuò)展,。防水膜厚儀出廠價

可以配合不同的軟件進(jìn)行分析和數(shù)據(jù)處理，例如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)等 ,。國產(chǎn)膜厚儀技術(shù)指導(dǎo)

光譜擬合法易于測量具有應(yīng)用領(lǐng)域 ，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點(diǎn)在很大程度上取決于所選擇的算法,。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點(diǎn)是不夠?qū)嵱?，該方法需要一個較好的薄膜的光學(xué)模型(包括色散系數(shù),、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng))，但是在實(shí)際測試過程中,，薄膜的色散和吸收的公式通常不準(zhǔn)確,，尤其是對于多層膜體系，建立光學(xué)模型非常困難,，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來,。在實(shí)際應(yīng)用中只能使用簡化模型，因此,，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計(jì)算速度慢也不能滿足快速計(jì)算的要求。國產(chǎn)膜厚儀技術(shù)指導(dǎo)