從圖2的鏡頭圖可以看出，第二塊透鏡的半徑很小,，主要是為了保證系統(tǒng)在整個工作范圍內(nèi)得到相對均勻的光斑,。表1給出了在工作范圍內(nèi)光斑的直徑大小，maximum為0.4mm,，在靠近透鏡的一邊,，minimun為0.08mm，在55mm處,。由于成像系統(tǒng)的入射光是整形部分光經(jīng)過物體散射回去的,，因此整形系統(tǒng)得到的光斑不能太小;同時為了保證精度要求，光斑也不能太大,，上面的結(jié)果能夠滿足需求,。得到好的出射光斑以后，如何接收物體表面的散射光并使其精確成像,，是確保激光位移傳感器精度的關(guān)鍵問題,。在直入射式三角法測量中，物體沿激光入射方向移動,，物面并不垂直于成像光軸,。那么在透鏡成像過程中(如圖1)，由幾何成像公式可證明： tanα/tanβ=d1/d',即為理想成像的Scheimpflug條件[5],。要想達到理想的成像效果,，光電探測器需依此條件放置。高精度激光位移傳感器的響應(yīng)速度非?？?，能夠?qū)崟r監(jiān)測目標(biāo)物體的位移變化。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)
在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子弧矢向的情況下,，成像物鏡本身的MTFS＞MTFT,、或者在感光元件的多個感光單元的主要排列方向為子午方向的情況下，成像物鏡本身的MTFT＞MTFS,，使得解析結(jié)果滿足條件,；和/或在成像物鏡前和/或在成像物鏡后加入能夠引入像散的光學(xué)元器件，并且配合微調(diào)所述成像物鏡與所述感光元件之間的相對距離使得解析結(jié)果滿足條件,。反光元件,，反光元件設(shè)置在成像物鏡的出射光路上，成像物鏡的出射光經(jīng)反光元件反射后,，入射到感光元件,。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)激光位移傳感器可以實現(xiàn)微米級的位移測量,。
圖3a至圖3c示出了在弧矢(S)方向和(T)方向的MTF值被配置為滿足上述要求的情況下，被感光元件接收到的光斑的形狀,。圖3a是被測物體在激光位移傳感器的best小量程處的情況下,，感光元件接收到的光斑的形狀，OBJ：-2.1000mm,，0.0000mm為物點在子午方向無偏離,，在弧矢方向偏離-2.1mm，IMA：1.627,，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,，在弧矢方向偏離1.627mm。圖3b是被測物體在激光位移傳感器的中間量程處的情況下,，感光元件接收到的光斑的形狀,，OBJ：0.0000，0.0000mm為物點在弧矢方向無偏離,，在子午方向無偏離,，IMA：-0.243，0.000mm為所成的像點在子午方向無偏離,，在弧矢方向偏離-0.243mm,。圖3c是被測物體在激光位移傳感器的比較大量程處的情況下，感光元件接收到的光斑的形狀,，OBJ：2.1000,，0.0000mm為物點在子午方向無偏離，
所述可伸縮導(dǎo)軌1包括一電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11,、一No.1支撐件15,、一第二支撐件16、一滑動輪12,、一伸縮制動開關(guān)13以及一控制面板14,；所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11包括一伺服電機(未圖示)、一雙直線導(dǎo)軌111以及一絲桿(未圖示),，所述絲桿設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111內(nèi)部，所述絲桿與所述雙直線導(dǎo)軌111動聯(lián)接,，所述伺服電機設(shè)于所述雙直線導(dǎo)軌111的末端且與所述絲桿連接,，所述伺服電機通過所述絲桿聯(lián)動所述雙直線導(dǎo)軌111進行伸縮；所述No.1支撐件15安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11固定端的底部,，所述第二支撐件16安裝在所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11可伸縮端的底部,；所述滑動輪12設(shè)于所述第二支撐件16的底部，所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11可通過所述滑動輪12進行伸縮,；所述伸縮制動開關(guān)13設(shè)于所述第二支撐件16的側(cè)面,，用于伸縮制動的開啟與關(guān)閉,；所述控制面板14與所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11電連接，所述控制面板14用于控制所述電動伸縮雙直線導(dǎo)軌11的伸縮距離,。它可以用于測量液壓系統(tǒng)的位移,，以提高系統(tǒng)的控制精度。
系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖1所示,。從圖1可以看出,，整個系統(tǒng)由上位機、激光位移傳感器和平臺運動控制系統(tǒng)三部分組成,。激光位移傳感器由激光位移控制器,、感測頭和監(jiān)視器組成。平臺運動控制系統(tǒng)主要由平移臺運動控制器,、驅(qū)動器,、電源和二維電動平移臺組成。系統(tǒng)的部分設(shè)備如圖2所示,。圖2列出了激光位移傳感器感測頭和二維電動平移臺,。圖3為激光位移傳感器感測頭測量對象物原理。參考距離根據(jù)被測對象物的變化可測量范圍為2 mm,，基準(zhǔn)距離為30 mm,，傳感器顯示解析度為0.3μm，線性度達到滿量程的0.3％,，即精度達到6μm,。它具有高度穩(wěn)定性和可靠性。青浦區(qū)激光位移傳感器性價比高
激光位移傳感器是一種非接觸式的測量設(shè)備,，利用激光技術(shù)進行精確的距離測量,。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)
帶通濾光片，設(shè)置于成像物鏡的入射光路上,。聚焦透鏡,，設(shè)置于激光器的出射光路上?？蛇x地,，上述感光元件為線陣感光元件，線陣感光元件的多個感光單元沿直線排列,，該直線的延伸方向為多個感光單元的主要排列方向,。上述也可以是感光元件為面陣感光元件，面陣感光元件包括以矩形排列的多個感光單元,，面陣感光元件的長邊延伸方向為多個感光單元的主要排列方向,。此外，上述成像物鏡可以為單一鏡片,，且成像物鏡的物側(cè)面和像側(cè)面皆為非球面,；或者,，成像物鏡為多個透鏡組成的透鏡組。寶山區(qū)激光位移傳感器經(jīng)銷批發(fā)