光譜共焦測量技術由于其高精度,、允許被測表面有更大的傾斜角、測量速度快,、實時性高,、對被測表面狀況要求低以及高分辨率等特點，已成為工業(yè)測量的熱門傳感器,，在生物醫(yī)學,、材料科學、半導體制造,、表面工程研究,、精密測量和3C電子等領域廣泛應用。本次測量場景采用了創(chuàng)視智能TS-C1200光譜共焦傳感頭和CCS控制器,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)0.025 μm的重復精度,、±0.02%的線性精度，30kHz的采樣速度和±60°的測量角度,，適用于鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面、多層玻璃等材料表面,，支持485,、USB、以太網(wǎng)和模擬量的數(shù)據(jù)傳輸接口,。光譜共焦位移傳感器可以用于結(jié)構(gòu)的振動,、變形和位移等參數(shù)的測量。自動測量內(nèi)徑光譜共焦設備

光譜共焦傳感器可以提供結(jié)合高精度和高速的新現(xiàn)代技術,。這些特性使這些多功能距離和位移傳感器非常適合工業(yè) 4.0 的高要求,。在工業(yè) 4.0 的世界中，傳感器必須能夠進行高速測量并提供高精度結(jié)果,，以確保可靠的質(zhì)量保證。光學測量技術是非接觸式的,，于目標材料分開和表面特性,，因此它們對生產(chǎn)和檢測過程變得越來越重要。這是“實時”生產(chǎn)過程中的一個主要優(yōu)勢,，在這種過程中,，觸覺測量技術正在發(fā)揮其極限，尤其是當目標位于難以接近的區(qū)域時,。光譜共焦傳感器提供突破性的技術,、高精度和高速度。此外,，共焦色差測量技術允許進行距離測量,、透明材料的多層厚度測量、強度評估以及鉆孔和凹槽內(nèi)的測量,。測量過程是無磨損的,、非接觸式的，并且實際上與表面特性無關,。由于測量光斑尺寸極小 ,，即使是非常小的物體也能被檢測到。因此,，共焦色度測量技術適用于在線質(zhì)量控制,。推薦光譜共焦成本價光譜共焦透鏡組設計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術研究的重要內(nèi)容之一；

在實踐中,，光譜共焦位移傳感器可用于很多方面,，如：利用獨特的光譜共焦測量原理，憑借一只探頭就可以實現(xiàn)對玻璃等透明材料進行精確的單向厚度測量,。透明材料上表面及下表面都會形成不同波長反射光,，通過計算可得出透明材料厚度。光譜共焦位移傳感器有效監(jiān)控藥劑盤以及鋁塑泡罩包裝的填充量,?？梢允箓鞲衅魍瓿蓪Ρ粶y表面的精確掃描，實現(xiàn)納米級的分辨率,。光譜共焦傳感器可以單向?qū)υ噭┢康谋诤襁M行測量,而且對瓶壁沒有壓力,。可通過設計轉(zhuǎn)向反射鏡實現(xiàn)孔壁的結(jié)構(gòu)檢測及凹槽深度的測盤,。（創(chuàng)視智能已推出了90°側(cè)向出光版本探頭,，可以直接進行深孔和凹槽的測量）光譜共焦傳感器用于層和玻璃間隙測且，以確定單層玻璃之間的間隙厚度 ,。

光譜共焦位移傳感器包括光源,、透鏡組和控制箱等組成部分,。光源發(fā)出一束白光，透鏡組將其發(fā)散成一系列波長不同的單色光,，通過同軸聚焦在一定范圍內(nèi)形成一個連續(xù)的焦點組,，每個焦點的單色光波長對應一個軸向位置。當樣品位于焦點范圍內(nèi)時,，樣品表面會聚焦后的光反射回去 ,，這些反射回來的光再經(jīng)過與鏡頭組焦距相同的聚焦鏡再次聚焦后通過狹縫進入控制箱中的單色儀。因此,，只有位于樣品表面的焦點位置才能聚焦在狹縫上,，單色儀將該波長的光分離出來，由控制箱中的光電組件識別并獲取樣品的軸向位置,。采用高數(shù)值孔徑的聚焦鏡頭可以使傳感器達到較高分辨率,，滿足薄膜厚度分布測量要求。光譜共焦技術具有軸向按層分析功能,，精度可以達到納米級別,。

在硅片柵線的厚度測量過程中，創(chuàng)視智能TS-C系列光譜共焦傳感器和CCS控制器被使用,。TS-C系列光譜共焦位移傳感器具有0.025 μm的重復精度,，±0.02%的線性精度，10kHz的測量速度和±60°的測量角度,。它適用于鏡面,、透明、半透明,、膜層,、金屬粗糙面和多層玻璃等材料表面，支持485,、USB,、以太網(wǎng)和模擬量數(shù)據(jù)傳輸接口。在測量太陽能光伏板硅片柵線厚度時,，使用單探頭在二維運動平臺上進行掃描測量,。柵線厚度可通過柵線高度與基底高度之差獲得，通過將需要掃描測量的硅片標記三個區(qū)域并使用光譜共焦C1200單探頭單側(cè)測量來完成測量,。由于柵線不是平整面,，并且有一定的曲率，因此對于測量區(qū)域的選擇具有較大的隨機性影響 ,。光譜共焦透鏡組設計和性能優(yōu)化是光譜共焦技術研究的重要內(nèi)容之一,。小型光譜共焦行情

光譜共焦三維形貌儀用超大色散線性物鏡組設計是一項重要的研究內(nèi)容。自動測量內(nèi)徑光譜共焦設備

光譜共焦位移傳感器可以嵌入2D掃描系統(tǒng)進行測量,，提供有關負載表面形貌的2D和高度測量數(shù)據(jù),。它的創(chuàng)新原理使傳感器能夠直接透過透明工件的前后表面進行厚度測量,，并且只需要使用一個傳感器從工件的一側(cè)進行測量。相較于三角反射原理的激光位移傳感器,，因采用同軸光,，所以光譜共焦位移傳感器可以更有效地測量弧形工件的厚度,。該傳感器采樣頻率高,，體積小，且?guī)в斜憬莸臄?shù)據(jù)接口,，因此很容易集成到在線生產(chǎn)和檢測設備中 實現(xiàn)線上檢測,。由于采用超高的采樣頻率和超高的精度，該傳感器可以對震動物體進行測量,，同時采用無觸碰設計,，避免了測量過程中對震動物體的干擾，也可以對復雜區(qū)域進行詳細的測量和分析 ,。自動測量內(nèi)徑光譜共焦設備