白光光譜法克服了干涉級次的模糊識別問題 ,，具有動態(tài)測量范圍大，連續(xù)測量時波動范圍小的特點,，但在實際測量中,，由于測量誤差、儀器誤差,、擬合誤差等因素,，干涉級次的測量精度仍其受影響，會出現(xiàn)干擾級次的誤判和干擾級次的跳變現(xiàn)象,。導(dǎo)致公式計算得到的干擾級次m值與實際譜峰干涉級次m'(整數(shù))之間有誤差,。為得到準(zhǔn)確的干涉級次，本文依據(jù)干涉級次的連續(xù)特性設(shè)計了以下校正流程圖,，獲得了靶丸殼層光學(xué)厚度的精確值,。導(dǎo)入白光干涉光譜測量曲線。操作之前需要專 業(yè)技能和經(jīng)驗的培訓(xùn)和實踐,。納米級膜厚儀能測什么

開展白光干涉理論分析 ,，在此基礎(chǔ)詳細(xì)介紹了白光垂直掃描干涉技術(shù)和白光反射光譜技術(shù)的基本原理，完成了應(yīng)用于靶丸殼層折射率和厚度分布測量實驗裝置的設(shè)計及搭建,。該實驗裝置主要由白光反射光譜探測模塊,、靶丸吸附轉(zhuǎn)位模塊、三維運動模塊,、氣浮隔震平臺等幾部分組成,，可實現(xiàn)靶丸的負(fù)壓吸附、靶丸位置的精密調(diào)整以及靶丸360°范圍的旋轉(zhuǎn)及特定角度下靶丸殼層白光反射光譜的測量,?；诎坠獯怪睊呙韪缮婧桶坠夥瓷涔庾V的基本原理,建立了二者聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法，該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度,，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量,，二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù)。膜厚儀供應(yīng)它可以用不同的軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和分析,，比如建立數(shù)據(jù)庫,、統(tǒng)計數(shù)據(jù)等。

光譜擬合法易于測量具有應(yīng)用領(lǐng)域 ,，由于使用了迭代算法,，因此該方法的優(yōu)缺點在很大程度上取決于所選擇的算法。隨著各種全局優(yōu)化算法的引入,，遺傳算法和模擬退火算法等新算法被用于薄膜參數(shù)的測量,。其缺點是不夠?qū)嵱茫摲椒ㄐ枰粋€較好的薄膜的光學(xué)模型(包括色散系數(shù),、吸收系數(shù),、多層膜系統(tǒng)),，但是在實際測試過程中，薄膜的色散和吸收的公式通常不準(zhǔn)確,，尤其是對于多層膜體系,，建立光學(xué)模型非常困難，無法用公式準(zhǔn)確地表示出來,。在實際應(yīng)用中只能使用簡化模型,，因此，通常全光譜擬合法不如極值法有效,。另外該方法的計算速度慢也不能滿足快速計算的要求,。

在初始相位為零的情況下 ，當(dāng)被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達(dá)到最大值,。為探測兩個光束之間的零光程差位置，需要精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中,，用探測器記錄下干涉光強，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,；通過確定最大值對應(yīng)的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度?？傊坠飧缮婺ず駜x是一種應(yīng)用很廣的測量薄膜厚度的儀器,。

利用包絡(luò)線法計算薄膜的光學(xué)常數(shù)和厚度 ,，但目前看來包絡(luò)法還存在很多不足，包絡(luò)線法需要產(chǎn)生干涉波動,，要求在測量波段內(nèi)存在多個干涉極值點,，且干涉極值點足夠多，精度才高,。理想的包絡(luò)線是根據(jù)聯(lián)合透射曲線的切點建立的,，在沒有正確方法建立包絡(luò)線時，通常使用拋物線插值法建立,，這樣造成的誤差較大,。包絡(luò)法對測量對象要求高，如果薄膜較薄或厚度不足情況下,，會造成干涉條紋減少,，干涉波峰個數(shù)較少,，要利用干涉極值點建立包絡(luò)線就越困難，且利用拋物線插值法擬合也很困難,，從而降低該方法的準(zhǔn)確度,。其次，薄膜吸收的強弱也會影響該方法的準(zhǔn)確度,，對于吸收較強的薄膜,，隨干涉條紋減少，極大值與極小值包絡(luò)線逐漸匯聚成一條曲線,，該方法就不再適用,。因此，包絡(luò)法適用于膜層較厚且弱吸收的樣品,。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的在線檢測和控制,。高精度膜厚儀常見問題

總結(jié)，白光干涉膜厚儀是一種應(yīng)用廣,、具有高精度和可靠性的薄膜厚度測量儀器,。納米級膜厚儀能測什么

傅里葉變換是白光頻域解調(diào)方法中一種低精度的信號解調(diào)方法 。早是由G.F.Fernando和T.Liu等人提出,，用于低精度光纖法布里-珀羅傳感器的解調(diào),。因此，該解調(diào)方案的原理是通過傅里葉變換得到頻域的峰值頻率從而獲得光程差,，進(jìn)而得到待測物理量的信息,。傅里葉變換解調(diào)方案的優(yōu)點是解調(diào)速度較快，受干擾信號的影響較小,。但是其測量精度較低,。根據(jù)數(shù)字信號處理FFT（快速傅里葉變換）理論，若輸入光源波長范圍為[]λ1,λ2,，則所測光程差的理論小分辨率為λ1λ2/(λ2?λ1),，所以此方法主要應(yīng)用于對解調(diào)精度要求不高的場合。傅里葉變換白光干涉法是對傅里葉變換法的改進(jìn),。該方法總結(jié)起來就是對采集到的光譜信號做傅里葉變換,，然后濾波、提取主頻信號后進(jìn)行逆傅里葉變換,，然后做對數(shù)運算,，并取其虛部做相位反包裹運算，由獲得的相位得到干涉儀的光程差,。該方法經(jīng)過實驗證明其測量精度比傅里葉變換高,。納米級膜厚儀能測什么