在初始相位為零的情況下 ，當(dāng)被測光與參考光之間的光程差為零時,，光強度將達(dá)到最大值,。為探測兩個光束之間的零光程差位置，需要精密Z向運動臺帶動干涉鏡頭作垂直掃描運動或移動載物臺,，垂直掃描過程中,，用探測器記錄下干涉光強，可得白光干涉信號強度與Z向掃描位置（兩光束光程差）之間的變化曲線,。干涉圖像序列中某波長處的白光信號強度隨光程差變化示意圖,，曲線中光強極大值位置即為零光程差位置，通過零過程差位置的精密定位,，即可實現(xiàn)樣品表面相對位移的精密測量,；通過確定最大值對應(yīng)的Z向位置可獲得被測樣品表面的三維高度。精度高的白光干涉膜厚儀通常采用Michelson干涉儀的結(jié)構(gòu),。測量膜厚儀信賴推薦

干涉法作為面掃描方式可以一次性對薄膜局域內(nèi)的厚度進(jìn)行解算 ,，適用于對面型整體形貌特征要求較高的測量對象。干涉法算法在于相位信息的提取,，借助多種復(fù)合算法通?？梢赃_(dá)到納米級的測量準(zhǔn)確度,。然而主動干涉法對條紋穩(wěn)定性不佳，光學(xué)元件表面的不清潔,、光照度不均勻,、光源不穩(wěn)定、外界氣流震動干擾等因素均可能影響干涉圖的完整性[39],，使干涉圖樣中包含噪聲和部分區(qū)域的陰影,，給后期處理帶來困難。除此之外,，干涉法系統(tǒng)精度的來源——精密移動及定位部件也增加了系統(tǒng)的成本,，高精度的干涉儀往往較為昂貴。薄膜干涉膜厚儀廠家現(xiàn)貨隨著技術(shù)的不斷進(jìn)步和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,，其性能和功能會得到提高和擴展,。

白光干涉的相干原理早在1975年就已經(jīng)被提出 ，隨后于1976年在光纖通信領(lǐng)域中獲得了實現(xiàn),。1983年,，BrianCulshaw的研究小組報道了白光干涉技術(shù)在光纖傳感領(lǐng)域中的應(yīng)用。隨后在1984年,，報道了基于白光干涉原理的完整的位移傳感系統(tǒng),。該研究成果證明了白光干涉技術(shù)可以被用于測量能夠轉(zhuǎn)換成位移的物理參量。此后的幾年間,，白光干涉應(yīng)用于溫度,、壓力等的研究相繼被報道。自上世紀(jì)九十年代以來,，白光干涉技術(shù)快速發(fā)展,，提供了實現(xiàn)測量的更多的解決方案。近幾年以來,，由于傳感器設(shè)計與研制的進(jìn)步,，信號處理新方案的提出，以及傳感器的多路復(fù)用[39]等技術(shù)的發(fā)展,，使得白光干涉測量技術(shù)的發(fā)展更加迅速,。

白光干涉測量技術(shù)，也被稱為光學(xué)低相干干涉測量技術(shù) ,，使用的是低相干的寬譜光源，例如超輻射發(fā)光二極管,、發(fā)光二極管等,。同所有的光學(xué)干涉原理一樣，白光干涉同樣是通過觀察干涉圖樣的變化來分析干涉光程差的變化,，進(jìn)而通過各種解調(diào)方案實現(xiàn)對待測物理量的測量,。采用寬譜光源的優(yōu)點是由于白光光源的相干長度很?。ㄒ话銥閹孜⒚椎綆资⒚字g），所有波長的零級干涉條紋重合于主極大值,，即中心條紋,，與零光程差的位置對應(yīng),。中心零級干涉條紋的存在使測量有了一個可靠的位置的參考值,，從而只用一個干涉儀即可實現(xiàn)對被測物理量的測量，克服了傳統(tǒng)干涉儀無法實現(xiàn)測量的缺點,。同時,，相比于其他測量技術(shù),白光干涉測量方法還具有對環(huán)境不敏感、抗干擾能力強,、測量的動態(tài)范圍大,、結(jié)構(gòu)簡單和成本低廉等優(yōu)點。目前,，經(jīng)過幾十年的研究與發(fā)展,，白光干涉技術(shù)在膜厚、壓力,、溫度,、應(yīng)變、位移等等測量領(lǐng)域已經(jīng)得到廣泛的應(yīng)用,。白光干涉膜厚儀是一種可用于測量薄膜厚度的儀器,，適用于透明薄膜和平行表面薄膜的測量。

由于不同性質(zhì)和形態(tài)的薄膜對系統(tǒng)的測量量程和精度的需求不盡相同,，因而多種測量方法各有優(yōu)缺,，難以一概而論。將上述各測量特點總結(jié)如表1-1所示,，按照薄膜厚度的增加,，適用的測量方式分別為橢圓偏振法、分光光度法,、共聚焦法和干涉法,。對于小于1μm的較薄薄膜，白光干涉輪廓儀的測量精度較低,，分光光度法和橢圓偏振法較適合,。而對于小于200 nm的薄膜，由于透過率曲線缺少峰谷值,，橢圓偏振法結(jié)果更加可靠,。基于白光干涉原理的光學(xué)薄膜厚度測量方案目前主要集中于測量透明或者半透明薄膜,，通過使用不同的解調(diào)技術(shù)處理白光干涉的圖樣,，得到待測薄膜厚度,。本章在詳細(xì)研究白光干涉測量技術(shù)的常用解調(diào)方案、解調(diào)原理及其局限性的基礎(chǔ)上,，分析得到了常用的基于兩個相鄰干涉峰的白光干涉解調(diào)方案不適用于極短光程差測量的結(jié)論,。在此基礎(chǔ)上，我們提出了基于干涉光譜單峰值波長移動的白光干涉測量解調(diào)技術(shù),。白光干涉膜厚測量技術(shù)可以實現(xiàn)對薄膜的非接觸式測量,；薄膜干涉膜厚儀廠家現(xiàn)貨

白光干涉膜厚測量技術(shù)的優(yōu)化需要對實驗方法和算法進(jìn)行改進(jìn)。測量膜厚儀信賴推薦

本章主要介紹了基于白光反射光譜和白光垂直掃描干涉聯(lián)用的靶丸殼層折射率測量方法 ,。該方法利用白光反射光譜測量靶丸殼層光學(xué)厚度,，利用白光垂直掃描干涉技術(shù)測量光線通過靶丸殼層后的光程增量，二者聯(lián)立即可求得靶丸折射率和厚度數(shù)據(jù),。在實驗數(shù)據(jù)處理方面,，為解決白光干涉光譜中波峰位置難以精確確定和單極值點判讀可能存在干涉級次誤差的問題,，提出MATLAB曲線擬合測定極值點波長以及利用干涉級次連續(xù)性進(jìn)行干涉級次判定的數(shù)據(jù)處理方法,。應(yīng)用碳?xì)?CH)薄膜對測量結(jié)果的可靠性進(jìn)行了實驗驗證。測量膜厚儀信賴推薦