6)自適應(yīng)控制,。采用組合自適應(yīng)控制將系統(tǒng)劃分成關(guān)節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng),。利用參數(shù)線性化的方法設(shè)計(jì)自適應(yīng)控制規(guī)則來辨識柔性機(jī)械臂的不確定性參數(shù),。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機(jī)械臂進(jìn)行了**控制器的設(shè)計(jì),?？刂破鞯脑O(shè)計(jì)是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應(yīng)控制設(shè)計(jì),。通過狀態(tài)轉(zhuǎn)換將系統(tǒng)分成兩個(gè)子系統(tǒng),。用自適應(yīng)控制和魯棒控制分別對兩個(gè)子系統(tǒng)進(jìn)行控制,。7)PID控制,。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應(yīng)用的控制器,由于其簡單,、有效、實(shí)用,被普遍地用于剛性機(jī)械臂控制,常通過調(diào)整控制器增益構(gòu)成自校正PID控制器或與其它控制方法結(jié)合構(gòu)成復(fù)合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能,。8)變結(jié)構(gòu)控制,。變結(jié)構(gòu)控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑模控制是**普遍的變結(jié)構(gòu)控制,。其特點(diǎn);在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時(shí),它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質(zhì),。變結(jié)構(gòu)控制器的設(shè)計(jì),不需要機(jī)械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構(gòu)造一個(gè)控制器,。 而回轉(zhuǎn)運(yùn)動產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差，當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),，手臂伸出越長,，其誤差越大；汕頭新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會變得清楚。 珠海進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家手臂,。起著連接和承受外力的作用,。

研究背景近年來，隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度、 高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運(yùn)動過程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低,。所以,，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動力學(xué)特性。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動力學(xué)系統(tǒng),，其動力學(xué)方程具有非線性, 強(qiáng)耦合, 實(shí)變等特點(diǎn),。而進(jìn)行柔性臂動力學(xué)問題的研究，其模型的建立是極其重要的,。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€性系統(tǒng),，而且也是系統(tǒng)動力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線性系統(tǒng)。動力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù),。一般控制系統(tǒng)的描述( 包括時(shí)域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述) 與傳感器/ 執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機(jī)械臂的動力學(xué)特性密切相關(guān)。

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法,。前者主要用于鍺,、GaAs等材料的提純和單晶生長；后者主要用于硅,。為什么有橫著和豎著長的不同捏,？這是由于硅的熔點(diǎn)高，化學(xué)性能活潑,，容易受到異物的玷污,，所以難以找到適合的器皿來盛方，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦,。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋,，引入的雜質(zhì)更少，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少,?？偠灾瑔尉Ч璋羰菆A柱形的,，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了,。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶,，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后,，由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的。 手臂的運(yùn)動速度要適當(dāng),，慣性要小.

    9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制,。是一種語言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識,操作數(shù)據(jù)等,。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).,。傳統(tǒng)的多剛體動力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。佛山正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂維修

X移動,，Y移動，Z移動組成,，通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動,，Y轉(zhuǎn)動，Z轉(zhuǎn)動可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn),。汕頭新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂聯(lián)系人

電鍍：

到這一步,，晶圓基本上就完成了，現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,，銅離子會從正極走向負(fù)極,。

拋光：

然后將Wafer進(jìn)行打磨，到這一步晶圓就真正的完成了,。

切割：

對晶圓進(jìn)行切割,，值得一提的是晶圓十分易碎，因此對切割的工藝要求也是非常高的,。

測試：

測試分為三大類：功能測試,、性能測試、抗老化測試,。大致測試模式如下:接觸測試,、功耗測試、輸入漏電測試,、輸出電平測試,、動態(tài)參數(shù)測試、模擬信號參數(shù)測試等等,。全部測試都通過的,，就是正片；部分測試未通過,，但正常使用無礙,，這是白片；未開始測試,，就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,，這是黑片。

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