本發(fā)明針對現(xiàn)有技術中的不足，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動,，且角度不會發(fā)生改變。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復定位精度,。本發(fā)明結構合理性能穩(wěn)定，維護方便,，多功能集一身,，可滿足多種工藝設備要求，適用于各種半導體設備,。

為了解決上述技術問題,，本發(fā)明通過下述技術方案得以解決：一種晶圓搬運機械手，包括升降軸,、旋轉軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂,、二級伸展臂和手指固定座，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設置有一級關節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設置有二級關節(jié),，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設置有三級關節(jié)，所述的伸展電機,、所述的一級關節(jié),、所述的二級關節(jié)和所述的三級關節(jié)依次傳動，所述的手指固定座始終保持直線運動,。

對于半導體制造應用來說,，常用的機械手臂是用來搬送晶片.珠海進口晶圓運送機械吸臂生產廠家

    6)自適應控制。采用組合自適應控制將系統(tǒng)劃分成關節(jié)子系統(tǒng)和柔性子系統(tǒng),。利用參數(shù)線性化的方法設計自適應控制規(guī)則來辨識柔性機械臂的不確定性參數(shù),。對具有非線性和參數(shù)不確定性的柔性機械臂進行了**控制器的設計?？刂破鞯脑O計是依據(jù)Lyapunov方法的魯棒和自適應控制設計,。通過狀態(tài)轉換將系統(tǒng)分成兩個子系統(tǒng)。用自適應控制和魯棒控制分別對兩個子系統(tǒng)進行控制,。7)PID控制,。PID控制器作為很受歡迎和**廣泛應用的控制器,由于其簡單、有效,、實用,被普遍地用于剛性機械臂控制,常通過調整控制器增益構成自校正PID控制器或與其它控制方法結合構成復合控制系統(tǒng)以改善PID控制器性能,。8)變結構控制,。變結構控制系統(tǒng)是一種不連續(xù)的反饋控制系統(tǒng),其中滑模控制是**普遍的變結構控制,。其特點;在切換面上,具有所謂的滑動方式,在滑動方式中系統(tǒng)對參數(shù)變化和擾動保持不敏感,同時,它的軌跡位于切換面上,滑動現(xiàn)象并不依賴于系統(tǒng)參數(shù),具有穩(wěn)定的性質,。變結構控制器的設計,不需要機械臂精確的動態(tài)模型,模型參數(shù)的邊界就足以構造一個控制器。 珠海晶圓運送機械吸臂哪個牌子好為此,，手臂一般都采用剛性較好的導向桿來加大手臂的剛度.

    建模理論柔性機械臂動力學方程的建立主要是利用Lagrange方程和NeWton-Euler方程這兩個相當有代表性的方程,。另外比較常用的還有變分原理,虛位移原理以及Kane方程的方法。而柔性體變形的描述是柔性機械臂系統(tǒng)建模與控制的基礎,。因此因首先選擇一定的方式描述柔性體的變形,，同時變形的描述與系統(tǒng)動力學方程的求解關系密切。[3]柔性體變形的描述主要有以下幾種：1)有限元法,；2)有限段法,；3)模態(tài)綜合法；4)集中質量法,；動力學方程的建立無論是連續(xù)或離散的動力學模型,，其建模方法主要基于兩類基本方法：矢量力學法和分析力學法。應用較***同時也是比較成熟的是Newton-Euler公式,、Lagrange方程,、變分原理、虛位移原理和Kane方程,。

年來全球硅晶圓供給不足，導致8英寸,、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底,。目前國內多個硅晶圓項目已經開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴,，并有足夠的能力滿足市場需求,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純,、單晶硅生長、晶圓成型,。一,，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下,，碳和沙石中的二氧化硅進行化學反應（碳氧結合，得硅）,，提純得純度約為98%的純硅,，又稱冶金級硅,，這對微電子器件來說依然不夠純，因為半導體材料的電學特性對雜質的濃度相當?shù)拿舾?，因而對冶金級硅作進一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應,，生成液態(tài)的硅烷，然后通過蒸餾和化學還原工藝,，得到了高純度的多晶硅,，其純度達99%，成為電子級硅,。機械手臂的應用場景有哪些呢,？

 晶圓是半導體行業(yè)的關鍵元件，隨著半導體行業(yè)的迅速發(fā)展,，晶圓的搬運技術逐漸成為制約行業(yè)發(fā)展的關鍵因素,。晶圓搬運機械手是IC裝備的**之一，其性能的優(yōu)劣直接影響晶圓的生產效率和制造質量,，體現(xiàn)著整個加工系統(tǒng)的自動化程度和可靠性,。在晶圓加工系統(tǒng)中包含兩類晶圓搬運機械手：大氣機械手（FI robot) 和真空機械手(Vacuum robot)。前者將晶圓從晶圓盒中取出并放到預對準設備上,，工作環(huán)境滿足一定的大氣潔凈度要求,，控制精度要求相對較低。后者將晶圓從預對準設備上取下,，搬運到各個工位進行刻蝕等工藝流程加工,，并將加工完的晶圓搬運到接口位置，等待大氣機械手放回晶圓盒,。這些工藝流程需要在真空環(huán)境下進行,，機械手必須要完全滿足真空潔凈度要求，控制精度和可靠性要求極高,。手臂自重輕,，其啟動和停止的平穩(wěn)性就好。本地晶圓運送機械吸臂供應商家

單軸機械手臂作為一個組件在工業(yè)中應用***,。珠海進口晶圓運送機械吸臂生產廠家

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法,。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長,；后者主要用于硅,。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高,，化學性能活潑,，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方,，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦,。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋,，引入的雜質更少，生長的材料雜質含量也就更少,?？偠灾瑔尉Ч璋羰菆A柱形的,，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了,。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶,，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后,，由于復雜的流體力學原理,，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導致的。 珠海進口晶圓運送機械吸臂生產廠家

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