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半導(dǎo)體行業(yè),尤其是集成電路領(lǐng)域,,晶圓的身影隨處可見,。
晶圓就是一塊薄薄的、圓形的高純硅晶片,,而在這種高純硅晶片上可以加工制作出各種電路元件結(jié)構(gòu),,使之成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品。
眼前這密密麻麻的元器件,,被整整齊齊的安放在一塊單晶硅材料之上,,都是規(guī)規(guī)矩矩、方方正正的,??梢姡A在實(shí)際應(yīng)用之中還是要被切割成方形的,。
所以疑問?來了——硅片為什么要做成圓的,?為什么是“晶圓”,而不做成“晶方”,?
要解釋這個(gè)問題,,有兩方面的原因:一方面似乎是由“基因決定的”;另一方面是“環(huán)境造成的”,。
本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,,提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運(yùn)動(dòng),且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,,同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,,維護(hù)方便,,多功能集一身,可滿足多種工藝設(shè)備要求,,適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。
手臂由靜止?fàn)顟B(tài)達(dá)到正常的運(yùn)動(dòng)速度為啟動(dòng),由常速減到停止不動(dòng)為制動(dòng),,速度的變化過程為速度特性曲線,。汕頭晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
電鍍:
到這一步,晶圓基本上就完成了,,現(xiàn)在要在晶圓上鍍一層硫酸銅,,銅離子會(huì)從正極走向負(fù)極。
拋光:
然后將Wafer進(jìn)行打磨,,到這一步晶圓就真正的完成了,。
切割:
對晶圓進(jìn)行切割,值得一提的是晶圓十分易碎,,因此對切割的工藝要求也是非常高的,。
測試:
測試分為三大類:功能測試、性能測試,、抗老化測試,。大致測試模式如下:接觸測試、功耗測試,、輸入漏電測試,、輸出電平測試、動(dòng)態(tài)參數(shù)測試,、模擬信號(hào)參數(shù)測試等等,。全部測試都通過的,就是正片,;部分測試未通過,,但正常使用無礙,這是白片,;未開始測試,,就發(fā)現(xiàn)晶圓具有瑕疵的,這是黑片,。
佛山直銷晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂生產(chǎn)廠家而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差,,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),,手臂伸出越長,其誤差越大,;
環(huán)境決定”——技術(shù)發(fā)展導(dǎo)致其實(shí),,除了晶圓的生長方法決定的“晶圓”是圓形的這個(gè)原因之外,還有以下3條其他的決定因素:2??有人計(jì)算過,,比較直徑為L毫米的圓和邊長為L毫米的正方形,,考慮晶圓制造過程中邊緣5到8毫米是不可利用的,算算就知道正方形浪費(fèi)的使用面積比率是比圓型高的,。所以,,圓形是等周長時(shí)表面積做大的二維圖形,加工時(shí)能夠充分利用原料,,在一片晶圓上能分出**多的芯片,。3??在實(shí)際的加工制成當(dāng)中,圓形的物體比較便于生產(chǎn)操作,。圓型具有任意軸對稱性,這是晶圓制作工藝必然的要求,,可以想象一下,在圓型晶圓表面可以通過旋轉(zhuǎn)涂布法(spincoating,,事實(shí)上是目前均勻涂布光刻膠的***方法)獲得很均勻一致的光刻膠涂層,,但其它形狀的晶圓呢?不可能或非常難,,可以的話也是成本很高,。
可選地,所述托板包括:
主板,;
排列成八字形的***支板和第二支板,在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,;
所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。
可選地,,所述表面為平面。
另外,,本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,,其包括上述任一所述的機(jī)械手臂。
在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,,機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí),,晶圓放置在托板的表面,并與絨毛墊接觸,,借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,,晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,,不易發(fā)生平移,這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,,還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。
通過以下參照附圖對本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚,。 X移動(dòng),Y移動(dòng),,Z移動(dòng)組成,,通過在執(zhí)行終端加裝X轉(zhuǎn)動(dòng),Y轉(zhuǎn)動(dòng),,Z轉(zhuǎn)動(dòng)可以到達(dá)空間內(nèi)的任何坐標(biāo)點(diǎn),。
為圓柱的單晶硅晶錠更便于運(yùn)輸,有效的避免了在運(yùn)輸途中磕碰損壞,,邊角碎掉什么的造成材料損耗,。而且,請仔細(xì)回想一下,,你看到的晶圓是完全的圓的嗎,?非也!在硅棒做出來后,,在200mm以下的硅棒上是切割一個(gè)平角,,叫Flat。在200mm(含)以上硅棒上,,為了減少浪費(fèi),,只裁剪個(gè)圓形小口,叫做Notch,。***再進(jìn)行切片,,得到的晶圓如下。那么,,這個(gè)小豁口是做什么用的呢,?很容易想到——定位。這樣每片晶圓的晶向就能確定,,在加工的時(shí)候也不容易出錯(cuò)了,。所以,為什么“晶圓”沒有方的,?,??答案很簡單,,是一個(gè)歷史遺留的問題,,也是一個(gè)技術(shù)限制的問題,。而且,真的沒有必要做出來正方的硅片呢~,。 手臂的結(jié)構(gòu)要緊湊小巧,,才能做手臂運(yùn)動(dòng)輕快、靈活,。韶關(guān)新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理價(jià)錢
精確地定位到三維(或二維)空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè),。汕頭晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
注塑行業(yè)機(jī)械臂常稱為注塑機(jī)機(jī)械手、塑料機(jī)機(jī)械手,,它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動(dòng)剪水口,、模內(nèi)鑲件、模內(nèi)貼標(biāo),、模外組裝,、整形、分類,、堆疊,、產(chǎn)品包裝、模具優(yōu)化等等,。且可以對其進(jìn)行自動(dòng)控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動(dòng)化生產(chǎn)設(shè)備,。注塑行業(yè)機(jī)械臂是為注塑生產(chǎn)自動(dòng)化專門配備的機(jī)械,它可以在減輕繁重的體力勞動(dòng),、改善勞動(dòng)條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機(jī)的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率,、降低生產(chǎn)成本,、增強(qiáng)企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。 汕頭晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂新報(bào)價(jià)
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