9)模糊與神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)控制,。是一種語言控制器,可反映人在進(jìn)行控制活動(dòng)時(shí)的思維特點(diǎn)。其主要特點(diǎn)之一是控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)并不需要通常意義上的被控對(duì)象的數(shù)學(xué)模型,而是需要操作者或**的經(jīng)驗(yàn)知識(shí),操作數(shù)據(jù)等,。[3]研究意義與剛性機(jī)械臂相比較,柔性機(jī)械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,因而具有較低的能耗,、較大的操作空間和很高的效率,其響應(yīng)快速而準(zhǔn)確,有著很多潛在的優(yōu)點(diǎn),在工業(yè)、**等應(yīng)用領(lǐng)域中占有十分重要的地位.隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展,越來越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng).,。傳統(tǒng)的多剛體動(dòng)力學(xué)的分析方法及控制方法己不能滿足多柔體系統(tǒng)的動(dòng)力分析及控制的要求.柔性機(jī)械臂作為**簡(jiǎn)單的非平凡多柔體系統(tǒng),被***地用作多柔體系統(tǒng)的研究模型,。 車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手、上下料機(jī)械手,。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

一種晶圓傳輸裝置及其真空吸附機(jī)械手,，該真空吸附機(jī)械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺(tái),；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺(tái)內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺(tái)用于吸附待傳送晶圓的背面，所述吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。由于吸附絕緣凸臺(tái)的硬度小于待傳送晶圓的背面的硬度,，故利用真空吸附機(jī)械手將晶圓傳送至所需位置之后，晶圓的背面中與真空吸附機(jī)械手接觸的位置不會(huì)形成印記,，提高了晶圓的合格率,。進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂廠商隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展，應(yīng)用高速度,、高精度,、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注。

中國(guó)擁有龐大的制造業(yè),，是世界弟一工業(yè)機(jī)器人市場(chǎng),，有著1000多家與工業(yè)機(jī)器人相關(guān)的企業(yè)。但是現(xiàn)階段中國(guó)在機(jī)械臂制造領(lǐng)域處于大而不強(qiáng)的狀態(tài),。擁有自主品牌的工業(yè)機(jī)械臂的數(shù)量和市場(chǎng)占有份額偏低?，F(xiàn)在國(guó)內(nèi)很多機(jī)器人企業(yè)有很多都不是在真心實(shí)意地在做技術(shù)，很多都是跟著國(guó)家提出的中國(guó)未來制造的政策與支持來進(jìn)行獲利的,。而且很多符合精度要求的關(guān)鍵零部件很大程度上依賴于進(jìn)口,。所以，中國(guó)的機(jī)械臂在技術(shù)方面遠(yuǎn)遠(yuǎn)落后于國(guó)外，占有的只是低端市場(chǎng)的份額,。不過,，在非民用機(jī)器人與航天機(jī)械臂領(lǐng)域，中國(guó)的技術(shù)也不遜色于美國(guó),。所以說只要經(jīng)過技術(shù)的積累,，中國(guó)的機(jī)械臂技術(shù)也會(huì)不比國(guó)外的差多少。

晶圓作為半導(dǎo)體芯片的關(guān)鍵材料,，其表面質(zhì)量和完整性直接決定了芯片的性能和可靠性,。機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓過程中，必須要保證晶圓不受任何損傷和污染,。任何微小的劃痕,、顆粒污染或靜電放電都可能導(dǎo)致晶圓報(bào)廢，從而增加生產(chǎn)成本,。因此,，高精度、高可靠性的機(jī)械吸臂是確保晶圓質(zhì)量和成品率的重要保障,。此外,，隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展，芯片制造工藝越來越復(fù)雜,，晶圓尺寸也不斷增大,，對(duì)晶圓搬運(yùn)的精度和穩(wěn)定性要求也越來越高。例如,，在先進(jìn)的集成電路制造工藝中,，晶圓的線寬已經(jīng)達(dá)到納米級(jí)別,，這就要求機(jī)械吸臂在搬運(yùn)晶圓時(shí)的定位精度要達(dá)到亞微米甚至更高的級(jí)別,。精確地定位到三維（或二維）空間上的某一點(diǎn)進(jìn)行作業(yè)。

    控制策略對(duì)柔性機(jī)械臂的控制一般有如下方式,1)剛性化處理,。完全忽略結(jié)構(gòu)的彈性變形對(duì)結(jié)構(gòu)剛體運(yùn)動(dòng)的影響,。例如為了避免過大的彈性變形破壞柔性機(jī)械臂的穩(wěn)定性和末端定位精度NASA的遙控太空手運(yùn)動(dòng)的比較大角速度為。2)前饋補(bǔ)償法,。將機(jī)械臂柔性變形形成的機(jī)械振動(dòng)看成是對(duì)剛性運(yùn)動(dòng)的確定性干擾而采用前饋補(bǔ)償?shù)霓k法來抵消這種干擾,。德國(guó)的BerndGebler研究了具有彈性桿和彈性關(guān)節(jié)的工業(yè)機(jī)器人的前饋控制。張鐵民研究了基于利用增加零點(diǎn)來消除系統(tǒng)的主導(dǎo)極點(diǎn)和系統(tǒng)不穩(wěn)定的方法設(shè)計(jì)了具有時(shí)間延時(shí)的前饋控制器和PID控制器比較起來可以更加明顯的消除系統(tǒng)的殘余振動(dòng),。SeeringWarrenP,。等學(xué)者對(duì)前饋補(bǔ)償技術(shù)進(jìn)行了深入的研究。 為此,，手臂一般都采用剛性較好的導(dǎo)向桿來加大手臂的剛度.東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

有時(shí)往往相互矛盾,，剛性好、載重大，結(jié)構(gòu)往往粗大,、導(dǎo)向桿也多,。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

裝配機(jī)械人 ；這燈機(jī)械臂要有較高的位姿精度,，手腕具有較大的柔性,。目前大多用于機(jī)電產(chǎn)品的裝配作業(yè)。⒌專門用途的機(jī)械臂 如醫(yī)用護(hù)理機(jī)械臂,、航天用機(jī)械臂,、探海用機(jī)械臂以及排險(xiǎn)作業(yè)機(jī)械臂等。三,、按操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)形式和自由度數(shù)量分類機(jī)械臂操作機(jī)的位置機(jī)構(gòu)型式是機(jī)械臂重要的外形特征,，按這一類標(biāo)準(zhǔn)，機(jī)械臂可分為直角坐標(biāo)型,，圓柱坐標(biāo)型,，球（極）坐標(biāo)型、關(guān)節(jié)型機(jī)械臂（或擬人機(jī)械臂）,。操作機(jī)本身的軸數(shù)（自由度數(shù)）**能反應(yīng)機(jī)械臂的工作能力,，也是分類的重要依據(jù)。按這一分類要求,，機(jī)械臂可分為4軸（自由度）,、5軸（自由度）、6軸（自由度）,、7軸（自由度）等機(jī)械臂,。還有其它多種分類方式?；窘榻B工業(yè)設(shè)計(jì)工業(yè)機(jī)械人通常由六項(xiàng)基本元素所組成,，包括：結(jié)構(gòu),臂端工具，電腦數(shù)碼控制器,，驅(qū)動(dòng)器,，量度回輸系統(tǒng)和感應(yīng)器。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

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