進(jìn)行光刻：

將設(shè)計(jì)好的電路掩模,，置于光刻機(jī)的紫外射線(xiàn)下,，然后再在它的下面放置Wafer，這一刻,，Wafer上被光刻部分的光刻膠被融化掉,，刻上了電路圖,。然后將光刻膠去除，光刻膠上的圖案要與掩模上的圖案一致,，然后進(jìn)行再次光刻,。一般來(lái)說(shuō)一個(gè)晶圓的電路要經(jīng)過(guò)多次光刻。而隨著技術(shù)革新,，極紫光刻出現(xiàn)了,，現(xiàn)階段光刻的效率變得比以前更高，甚至于可以達(dá)到光刻一次完成,。

注射：

在真空下,，將導(dǎo)電材料注入晶圓的電路內(nèi)部。其真空的標(biāo)準(zhǔn)比無(wú)菌室或ICU還要高出千萬(wàn)倍,。 機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮,。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂怎么聯(lián)系

自動(dòng)化方面，機(jī)械吸臂將與其他半導(dǎo)體制造設(shè)備和自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)實(shí)現(xiàn)更緊密的集成,，實(shí)現(xiàn)整個(gè)生產(chǎn)過(guò)程的全自動(dòng)化運(yùn)行,。通過(guò)與工廠的自動(dòng)化控制系統(tǒng)進(jìn)行無(wú)縫對(duì)接，吸臂可以按照預(yù)設(shè)的生產(chǎn)流程和任務(wù)計(jì)劃,，自動(dòng)完成晶圓的搬運(yùn),、上下料等操作，無(wú)需人工干預(yù),，極大提高生產(chǎn)效率和質(zhì)量穩(wěn)定性,。網(wǎng)絡(luò)化方面，借助物聯(lián)網(wǎng)技術(shù),，晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控和管理,。操作人員可以通過(guò)網(wǎng)絡(luò)在遠(yuǎn)程對(duì)吸臂的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)、數(shù)據(jù)分析和故障診斷,，及時(shí)采取相應(yīng)的措施進(jìn)行維護(hù)和管理,。同時(shí)，網(wǎng)絡(luò)化的吸臂還可以實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程升級(jí)和優(yōu)化,，方便制造商對(duì)設(shè)備進(jìn)行技術(shù)更新和改進(jìn),，提高設(shè)備的適應(yīng)性和競(jìng)爭(zhēng)力。深圳進(jìn)口晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂價(jià)格信息在工業(yè)制造,、醫(yī)學(xué)***,、娛樂(lè)服務(wù)、***,、半導(dǎo)體制造以及太空探索等領(lǐng)域都能見(jiàn)到它的身影,。

工業(yè)機(jī)械臂定義為“其操作機(jī)是自動(dòng)控制的，可重復(fù)編程,、多用途,，并可以對(duì)3個(gè)以上軸進(jìn)行編程,。它可以是固定式或者移動(dòng)式。在工業(yè)自動(dòng)化應(yīng)用中使用”,。操作機(jī)又定義為“是一種機(jī)器,，其機(jī)構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對(duì)滑動(dòng)的構(gòu)件所組成。它通常有幾個(gè)自由度,，用以抓取或移動(dòng)物體（工具或工件）?！彼詫?duì)工業(yè)機(jī)械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機(jī)械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時(shí)變要求進(jìn)行移動(dòng),，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是一種用于半導(dǎo)體行業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備，主要用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序,。它的主要功能是通過(guò)吸盤(pán)將晶圓吸附在機(jī)械臂上,，然后將其準(zhǔn)確地運(yùn)送到目標(biāo)位置。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中起到了至關(guān)重要的作用,，它不僅能夠提高生產(chǎn)效率,，還能夠保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂在半導(dǎo)體行業(yè)中扮演著重要的角色,。它的應(yīng)用范圍廣,，能夠滿(mǎn)足不同工序的晶圓運(yùn)輸需求。晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂的高精度,、高速度和穩(wěn)定性能,，能夠提高生產(chǎn)效率，保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全,。 采用高精度傳感器,，確保晶圓在運(yùn)送過(guò)程中的安全性。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié),，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié)，所述的伸展電機(jī),、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),。

手端的定位由各部關(guān)節(jié)相互轉(zhuǎn)角來(lái)確定,，其誤差是積累誤差，因而精度較差,，其位置精度也更難保證,。韶關(guān)新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠

隨著宇航業(yè)及機(jī)器人業(yè)的飛速發(fā)展，越來(lái)越多地采用由若干個(gè)柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂怎么聯(lián)系

可選地,，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地，所述表面為平面,。

另外,，本實(shí)用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置，其包括上述任一所述的機(jī)械手臂,。

在本實(shí)用新型的技術(shù)方案中,，機(jī)械手臂傳送晶圓時(shí)，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機(jī)械手臂上,，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機(jī)械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過(guò)以下參照附圖對(duì)本實(shí)用新型的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述,，本實(shí)用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。 東莞新款晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂怎么聯(lián)系

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