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廣州本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

來源: 發(fā)布時(shí)間:2025-04-21

可用于300mm半導(dǎo)體晶圓搬送的5軸水平多關(guān)節(jié)潔凈機(jī)械手臂GTCR5000系列,。

單臂雙手指結(jié)構(gòu)能夠?qū)崿F(xiàn)和雙臂結(jié)構(gòu)同樣的功能。

適用于300mm半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)部,,檢測設(shè)備等的晶圓搬運(yùn),。

機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長: 210mm, 280mm機(jī)械手臂可以單獨(dú)對(duì)應(yīng)2個(gè)FOUP(210mm臂長)

或者3個(gè)FOUP(280mm臂長)雙手指結(jié)構(gòu)能夠縮短更換晶圓時(shí)的手臂動(dòng)作時(shí)間適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式,,或者法蘭固定方式配備動(dòng)作監(jiān)視器控制通訊方式:RS232C及并口I/O方式全軸采用絕對(duì)值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)通過S曲線加減速控制方式以及對(duì)運(yùn)動(dòng)軌跡的優(yōu)化

能夠高速,,高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓晶圓固定方式:真空吸附式,,下托式,邊緣夾持式,,伯努利非接觸式手指材質(zhì):CFRP(碳纖維),鋁合金,,高純度陶瓷等多種可選材質(zhì) 此外,,對(duì)于熱加工的機(jī)械手,,還要考慮熱輻射,手臂要較長,,以遠(yuǎn)離熱源,,并須裝有冷卻裝置。廣州本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

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車床行業(yè)機(jī)械臂又名車床自動(dòng)上下料機(jī)械手,、上下料機(jī)械手,,車床自動(dòng)上下料機(jī)械手主要實(shí)現(xiàn)機(jī)床制造過程的完全自動(dòng)化,并采用了集成加工技術(shù),,適用于生產(chǎn)線的上下料,、工件翻轉(zhuǎn)、工件轉(zhuǎn)序等,。在國內(nèi)的機(jī)械加工,, 很多都是使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料的方式, 這在產(chǎn)品比較單一、產(chǎn)能不高的情況下是非常適合的,, 但是隨著社會(huì)的進(jìn)步和發(fā)展,, 科技的日益進(jìn)步, 產(chǎn)品更新?lián)Q代加快,, 使用專機(jī)或人工進(jìn)行機(jī)床上下料就暴露出了很多的不足和弱點(diǎn),, 一方面專機(jī)占地面積大結(jié)構(gòu)復(fù)雜、維修不便,, 不利于自動(dòng)化流水線的生產(chǎn),;另一方面, 它的柔性不夠,, 難以適應(yīng)日益加快的變化,,不利于產(chǎn)品結(jié)構(gòu)的調(diào)整;其次,, 使用人工會(huì)造成勞動(dòng)強(qiáng)度的增加,, 容易產(chǎn)生工傷事故, 效率也比較低下,, 且使用人工上下料的產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性不夠,, 不能滿足大批量生產(chǎn)的需求。 廣州本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格而回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的誤差是放大時(shí)的尺寸誤差,,當(dāng)轉(zhuǎn)角位置一定時(shí),,手臂伸出越長,其誤差越大,;

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整個(gè)蛙腿型晶圓搬運(yùn)機(jī)械手共由3個(gè)電機(jī)實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)控制,。2臺(tái)直驅(qū)電機(jī)負(fù)責(zé)連接晶圓托盤連桿的同步控制,1臺(tái)直流電機(jī)負(fù)責(zé)整個(gè)機(jī)械手的上升與下降控制,。雖然軸數(shù)較少,,但對(duì)控制的精度、平穩(wěn)性和可靠性要求極高,。整個(gè)控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對(duì)客戶的需求,Copley給出了性價(jià)比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動(dòng)器,。Dual axis module同時(shí)驅(qū)動(dòng)2臺(tái)直驅(qū)電機(jī),,Single axis module驅(qū)動(dòng)1臺(tái)升降直流電機(jī)。雙軸模塊式驅(qū)動(dòng)器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時(shí)間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點(diǎn)位置數(shù)據(jù)存儲(chǔ)客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點(diǎn)增益切換小體積可直接安裝于機(jī)械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂是半導(dǎo)體制造過程中不可或缺的重要設(shè)備之一,。它主要用于將晶圓從一個(gè)工序轉(zhuǎn)移到另一個(gè)工序,,確保晶圓在整個(gè)制造過程中的安全和穩(wěn)定運(yùn)輸。

晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的自動(dòng)化和精確性,。它采用先進(jìn)的自動(dòng)控制系統(tǒng),,能夠準(zhǔn)確地定位和抓取晶圓,,避免了人為操作的誤差和不穩(wěn)定性。通過精確的控制,,晶圓可以在不同工序之間快速而安全地轉(zhuǎn)移,,提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。其次,,晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂具有高度的可靠性和穩(wěn)定性,。它采用了質(zhì)量高的材料和先進(jìn)的制造工藝,具有良好的耐磨性和抗腐蝕性,。同時(shí),,晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂經(jīng)過嚴(yán)格的測試和檢驗(yàn),確保其在長時(shí)間運(yùn)行中不會(huì)出現(xiàn)故障或損壞,,保證了生產(chǎn)線的連續(xù)性和穩(wěn)定性,。 設(shè)備配備智能控制系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化操作,。

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    基因決定”——生長方法導(dǎo)致若要回答這個(gè)問題,,首先要說一個(gè)大約有100余年歷史的原因。,。,。1918年,前蘇聯(lián)科學(xué)家切克勞斯基(Czochralski)建立起來一種晶體生長方法——直拉式晶體生長方法,,簡稱CZ法,。硅晶圓的制造可以歸納為三個(gè)基本步驟:硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型,。首先是硅砂的提純及熔煉。這個(gè)階段主要是通過溶解,、提純,、蒸餾等一系列措施得到多晶硅。接下來是單晶硅生長工藝,。就是從硅熔體中生長出單晶硅,。高純度的多晶硅放在石英坩堝中,,在保護(hù)性氣氛中高溫加熱使其熔化,。使用一顆小的籽晶緩慢地從旋轉(zhuǎn)著的熔體中緩慢上升,即可垂直拉制出大直徑的單晶硅錠,。***一步是晶圓成型,。單晶硅錠一般呈圓柱型,直徑從3英寸到十幾英寸不等,。硅錠經(jīng)過切片,、拋光之后,,就得到了單晶硅圓片,也即晶圓,。 手臂的運(yùn)動(dòng)速度要適當(dāng),,慣性要小.官方晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂代理

該機(jī)械臂由用戶的頭腦完全控制,靈巧到足以拿起一個(gè)玻璃杯,,在沒有其他人幫助的情況下喝掉一杯飲料,。廣州本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手通常具有兩個(gè)以上的自由度。這種機(jī)械手典型地由兩個(gè)連桿和手部構(gòu)成,。在本說明書中,,將兩個(gè)連桿稱作上臂連桿和前臂連桿。典型地,,上臂連桿的一端連結(jié)于電機(jī)的輸出軸,,上臂連桿的另一端連結(jié)于前臂連桿的一端。而且,,前臂連桿的另一端連結(jié)于手部,。上臂連桿和前臂連桿經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié)。前臂連桿和手部也經(jīng)由關(guān)節(jié)而連結(jié),。在各個(gè)關(guān)節(jié)處安裝有軸承,,以便使連桿順暢地旋轉(zhuǎn)。在輸送半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械手中,,為了不污染傳送室內(nèi)而屏蔽(shield)安裝于關(guān)節(jié)的軸承,。廣州本地晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂什么價(jià)格

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