高致密性陶瓷真空吸盤(多孔陶瓷真空吸盤),，特殊的多孔陶瓷材料其孔徑為2~3微米，不易阻塞真空力大,，部份面積吸附,同時(shí)也可作氣浮平臺(tái),，廣泛應(yīng)用半導(dǎo)體、面板,、雷射制程及非接觸線性滑軌,。多孔陶瓷真空吸盤是密封的空氣來維持傳輸，裝置應(yīng)用***用于平坦,，無孔表面的工作平臺(tái),。使用者通常是機(jī)器操作員。在金屬加工領(lǐng)域,，這是一項(xiàng)安全可靠的工件傳輸,。自動(dòng)化搬運(yùn)、對(duì)象吸取,、定位,、精密網(wǎng)板印刷用工作臺(tái)，利用孔洞透氣性陶瓷(氧化鋁或碳化硅)接上真空吸力,，將工作物（包括晶圓,、玻璃、PET膜或其他薄型工作物）放置陶瓷工作吸盤上,，利用真空吸力使工作物固定,，進(jìn)行清洗、切割,、研磨,、網(wǎng)版印刷及其他加工程序。微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具,，應(yīng)用于減薄,、劃片、清洗,、搬運(yùn)等工序,。Fountyl公司生產(chǎn)的工作盤可以和日本、德國,、以色列,、美國及國產(chǎn)的設(shè)備配套使用,，具有優(yōu)越的性能價(jià)格比。 微孔陶瓷真空吸盤的著眼點(diǎn)及產(chǎn)品特點(diǎn).深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

2,、濕氫法

濕氫法是將Al 粉置于Al2O3中,，在適當(dāng)?shù)奈恢梅湃雴尉l2O3以誘導(dǎo)陶瓷生長(zhǎng)，放入管式爐內(nèi),，在濕氫氣氛下加熱至1400℃,，保持2h，濕氫**控制為-30℃,。通過控制氫氣**起到對(duì)其中水蒸氣含量的控制,，制備得到的氧化鋁陶瓷。

濕氫法優(yōu)點(diǎn)是氧化鋁陶瓷以螺旋位錯(cuò)機(jī)理生長(zhǎng),，產(chǎn)品品質(zhì)較好,。缺點(diǎn)是**不易控制，受環(huán)境濕度因素干擾大,，且對(duì)實(shí)驗(yàn)設(shè)備影響很大,。

3、模板法

目前,，研究報(bào)道模板法主要是采用棉花纖維和碳納米管為模板,，制備氧化鋁陶瓷。主要工藝過程是首先將棉花纖維浸入5%的AlCl3溶液中2min,，80℃下干燥24 h,，放入剛玉坩鍋置于烘箱中分別在 800℃、1000℃和1200℃下燒制2h,，即得到多晶的氧化鋁陶瓷陶瓷,。 深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話微孔真空陶瓷工作盤是各種半導(dǎo)體片生產(chǎn)過程中用于吸附及承載的**工具.

2、干壓成型

對(duì)形狀簡(jiǎn)單,、適于干壓成型的中小型氧化鋯陶瓷產(chǎn)品常采用干壓方法成型,。氧化鋯 陶瓷干壓時(shí)出現(xiàn)的常見問題是產(chǎn)品分層，這是因?yàn)檠趸喅?xì)粉造粒料的顆粒很細(xì),，因而顆粒輕,、流動(dòng)性差，干壓成型時(shí)容易出現(xiàn)分層現(xiàn)象,。從生產(chǎn)實(shí)踐中得知,，產(chǎn)品分層與成型模具的光潔度和配合情況、成型壓力,、加壓方式,、加壓速度和保壓時(shí)間、脫模方式、脫模速度均有關(guān)系,，下面就上述幾方面因素對(duì)干壓成型的影響分述如下：

A,、模具的光潔度和配合情況

干壓成型對(duì)模具質(zhì)量要求較高，首先要求模具硬度達(dá)到一定的要求,。由于氧化鋯穩(wěn)定料的顆粒很細(xì),，流動(dòng)性差，因而對(duì)模具的光潔度要求很高,，若光潔度達(dá)不到要求,，則干壓時(shí)影響料的流動(dòng)，從而導(dǎo)致分層的出現(xiàn),。同時(shí),，若模具配合不好,，間隙大,，則由于氧化鋯 粉料顆粒細(xì)，壓制時(shí)粉料會(huì)從模具間隙中流出,，從而造成模具四周的粉料少,，這樣壓制時(shí)四周就不能壓實(shí)，從而會(huì)因壓力傳遞不一致而出現(xiàn)分層,，故對(duì)模具的配合要求較高,。

2、工業(yè)高溫窯爐

氧化鋁陶瓷具有優(yōu)異的耐高溫,、熱穩(wěn)定性好,、熱導(dǎo)率低、熱容小,、耐機(jī)械振動(dòng)等性能,，導(dǎo)熱系數(shù)和容重分別只有傳統(tǒng)耐火材料的1/10和1/15，綜合性能好,，是理想的節(jié)能增效耐火材料,，用于工作溫度高于1400 ℃的鋼鐵工業(yè)各種熱處理爐，陶瓷燒成窯,，石油化工中的裂解爐,、燃燒爐等的隔熱爐襯材料。

氧化鋁陶瓷應(yīng)用于固體火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴管,，使噴管設(shè)計(jì)**簡(jiǎn)化，部件數(shù)量減少50%,，質(zhì)量減輕50%,。也可應(yīng)用于航天飛機(jī)的隔熱材料，美國“哥倫比亞”號(hào)航天飛機(jī)隔熱板襯墊用的是Saffil氧化鋁陶瓷，能經(jīng)受1600 ℃的高溫,。

4,、陶瓷基復(fù)合材料

采用**度、高彈性的氧化鋁陶瓷與陶瓷基體復(fù)合技術(shù),，能制備韌性優(yōu)良的陶瓷基復(fù)合材料,，可明顯提高陶瓷產(chǎn)業(yè)的技術(shù)水平，帶動(dòng)高技術(shù)陶瓷產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,。 Fountyl微孔陶瓷正空吸盤,，孔大小在30微米到60微米的范圍.

    （1）晶粒大小。品粒越細(xì),，晶界面積越大,，產(chǎn)生塑性變形就越大。（2）溫度,。在壓力恒定下,，應(yīng)變速率隨著溫度提高而增加。（3）應(yīng)變速率大小,。尤其在位伸變形時(shí),，較低的應(yīng)變速率可獲大于200%的拉伸變形，因?yàn)閼?yīng)變速率過大,，在晶界處易形成空洞等,，以致造成過早的斷裂。（4）空洞大小,。要保持較低的應(yīng)變速率,，以***空洞的生成。目前,，超塑性氧化鋯陶瓷主要用于發(fā)動(dòng)機(jī)中活塞環(huán),，隨著研究的深入，其應(yīng)用前景是廣闊的,。氧化鋯材料高溫下具有導(dǎo)電性其晶體結(jié)構(gòu)存在氧離子缺位的特性,，可制成各種功能元件。 微孔陶瓷真空吸盤的結(jié)構(gòu)緊湊,，重量輕,，易于安裝和更換。深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

適用多種不同工件提供各種不同形狀,尺寸和材料的吸盤.深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

種微孔真空吸盤工作臺(tái)的制作方法

【技術(shù)領(lǐng)域】

[0001]本實(shí)用新型涉及一種微孔真空吸盤工作臺(tái),，屬于機(jī)械設(shè)備領(lǐng)域,。

【背景技術(shù)】

[0002]劃片刀用于精密加工，由于它的損耗速度非?？?，因此需求量非常大。生產(chǎn)劃片刀需要使用晶圓劃片機(jī)，目前我國*有少數(shù)的幾家工廠擁有這種設(shè)備,，在生產(chǎn)過程中發(fā)現(xiàn),，現(xiàn)有技術(shù)的晶圓劃片機(jī)的工作臺(tái)壽命較短，由于其結(jié)構(gòu)的不合理通常I?6個(gè)月即會(huì)變形,，在生產(chǎn)過程中,，隨溫度變化也會(huì)變形加快。

【實(shí)用新型內(nèi)容】

[0003]本實(shí)用新型的目的在于,，提供一種微孔真空吸盤工作臺(tái),，它能夠解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種結(jié)構(gòu)更合理,，使用壽命更長(zhǎng)的工作臺(tái),。 深圳微孔陶瓷真空吸盤維修電話

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