晶圓是指硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片,，由于其形狀為圓形,，故稱(chēng)為晶圓；在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu),，而成為有特定電性功能的集成電路產(chǎn)品,。

晶圓的原始材料是硅，而地殼表面有用之不竭的二氧化硅,。二氧化硅礦石經(jīng)由電弧爐提煉,，**化，并經(jīng)蒸餾后,，制成了高純度的多晶硅,，其純度高達(dá)99.9%,。 吸臂具有高度可調(diào)節(jié)功能，適應(yīng)不同尺寸的晶圓,。江蘇原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

    目前,，直拉法是生長(zhǎng)晶圓**常用的方法了,，除了直拉法之外,，常用的方法還有區(qū)熔法。區(qū)熔法,，簡(jiǎn)稱(chēng)Fz法,。1939年,，在貝爾實(shí)驗(yàn)室工作的W·G·Pfann較早萌生了“區(qū)域勻平”的念頭，后來(lái)在亨利·休勒,、丹·多西等人的協(xié)助下,，生長(zhǎng)出了高純度的鍺以及硅單晶，并獲得了**,。這種方法是利用熱能在半導(dǎo)體多晶棒料的一端產(chǎn)生一熔區(qū)，使其重結(jié)晶為單晶,。使熔區(qū)沿一定方向緩慢地向棒的另一端移動(dòng)，進(jìn)而通過(guò)整根棒料,，使多晶棒料生長(zhǎng)成一根單晶棒料，區(qū)熔法也需要籽晶,，且**終得到的柱狀單晶錠晶向與籽晶的相同,。 陽(yáng)江正規(guī)晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂工廠(chǎng)手臂回轉(zhuǎn)升降機(jī)構(gòu)就是機(jī)械臂在升降的同時(shí)也可以旋轉(zhuǎn)的,。

出了通用二自由度空間模塊(TODOM)的概念,并以通用TODOM作為空間機(jī)械臂的構(gòu)造模塊,。TO-DOM由兩個(gè)旋轉(zhuǎn)模塊及一個(gè)連接模塊共三個(gè)基本模塊組成。根據(jù)空間機(jī)械臂的具體構(gòu)型需要,將TODOM的三個(gè)基本模塊之間的機(jī)械接口進(jìn)行專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì),即可配置成確定構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié),。由這樣數(shù)個(gè)不同構(gòu)型的二自由度關(guān)節(jié)可以組裝出具有偶數(shù)個(gè)自由度的空間機(jī)器臂。采用一體化概念設(shè)計(jì)的TODOM減小了關(guān)節(jié)的質(zhì)量與體積,提高了系統(tǒng)的可靠性,。通過(guò)對(duì)由TODOM構(gòu)成的一套二自由度關(guān)節(jié)進(jìn)行的試驗(yàn)初步驗(yàn)證了TODOM設(shè)計(jì)概念的合理性及可行性,。

本發(fā)明針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供了一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手,，本發(fā)明的機(jī)械手在傳送過(guò)程中晶片中心始終保證直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)，且角度不會(huì)發(fā)生改變,。從而提高機(jī)械手整體剛度和承重能力,，同時(shí)提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護(hù)方便,，多功能集一身，可滿(mǎn)足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備。

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題,，本發(fā)明通過(guò)下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運(yùn)機(jī)械手，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸,，其特征為，所述的伸展軸包括伸展電機(jī),、一級(jí)伸展臂,、二級(jí)伸展臂和手指固定座,，所述的一級(jí)伸展臂與所述伸展電機(jī)之間設(shè)置有一級(jí)關(guān)節(jié)，所述的一級(jí)伸展臂與所述的二級(jí)伸展臂之間設(shè)置有二級(jí)關(guān)節(jié),，所述的二級(jí)伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級(jí)關(guān)節(jié),，所述的伸展電機(jī)、所述的一級(jí)關(guān)節(jié),、所述的二級(jí)關(guān)節(jié)和所述的三級(jí)關(guān)節(jié)依次傳動(dòng)，所述的手指固定座始終保持直線(xiàn)運(yùn)動(dòng),。 有X移動(dòng)，Y移動(dòng),，Z移動(dòng)，X轉(zhuǎn)動(dòng),，Y轉(zhuǎn)動(dòng)，Z轉(zhuǎn)動(dòng)六個(gè)自由度組成,。

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法,。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長(zhǎng),；后者主要用于硅。為什么有橫著和豎著長(zhǎng)的不同捏,？這是由于硅的熔點(diǎn)高,，化學(xué)性能活潑,，容易受到異物的玷污,，所以難以找到適合的器皿來(lái)盛方,，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長(zhǎng)上啦,。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋,，引入的雜質(zhì)更少,，生長(zhǎng)的材料雜質(zhì)含量也就更少,。總而言之,，單晶硅棒是圓柱形的，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了,。就是下圖這個(gè)樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶,，圖右的尖尖是晶棒長(zhǎng)到***,，從熔融態(tài)里出來(lái)后，由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的,。 吸臂具有快速吸附和釋放功能,，提高了工作效率,。浙江原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂批發(fā)

對(duì)了懸臂式的機(jī)械手,，還要考慮零件在手臂上布置,。江蘇原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

隨著機(jī)器人技術(shù)的發(fā)展,，應(yīng)用高速度,、高精度、高負(fù)載自重比的機(jī)器人結(jié)構(gòu)受到工業(yè)和航空航天領(lǐng)域的關(guān)注,。由于運(yùn)動(dòng)過(guò)程中關(guān)節(jié)和連桿的柔性效應(yīng)的增加，使結(jié)構(gòu)發(fā)生變形從而使任務(wù)執(zhí)行的精度降低,。所以,，機(jī)器人機(jī)械臂結(jié)構(gòu)柔性特征必須予以考慮，實(shí)現(xiàn)柔性機(jī)械臂高精度有效控制也必須考慮系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性。柔性機(jī)械臂是一個(gè)非常復(fù)雜的動(dòng)力學(xué)系統(tǒng)，其動(dòng)力學(xué)方程具有非線(xiàn)性、強(qiáng)耦合、實(shí)變等特點(diǎn),。而進(jìn)行柔性臂動(dòng)力學(xué)問(wèn)題的研究，其模型的建立是極其重要的,。柔性機(jī)械臂不僅是一個(gè)剛?cè)狁詈系姆蔷€(xiàn)性系統(tǒng)，而且也是系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)特性與控制特性相互耦合即機(jī)電耦合的非線(xiàn)性系統(tǒng),。動(dòng)力學(xué)建模的目的是為控制系統(tǒng)描述及控制器設(shè)計(jì)提供依據(jù)。一般控制系統(tǒng)的描述（包括時(shí)域的狀態(tài)空間描述和頻域的傳遞函數(shù)描述）與傳感器/執(zhí)行器的定位,，從執(zhí)行器到傳感器的信息傳遞以及機(jī)械臂的動(dòng)力學(xué)特性密切相關(guān)。 江蘇原裝晶圓運(yùn)送機(jī)械吸臂公司

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