本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明通過下述技術(shù)方案得以解決：一種晶圓搬運機械手,，包括升降軸,、旋轉(zhuǎn)軸和伸展軸，其特征為,，所述的伸展軸包括伸展電機,、一級伸展臂、二級伸展臂和手指固定座,，所述的一級伸展臂與所述伸展電機之間設(shè)置有一級關(guān)節(jié),，所述的一級伸展臂與所述的二級伸展臂之間設(shè)置有二級關(guān)節(jié)，所述的二級伸展臂和所述的手指固定座之間設(shè)置有三級關(guān)節(jié),，所述的伸展電機,、所述的一級關(guān)節(jié)、所述的二級關(guān)節(jié)和所述的三級關(guān)節(jié)依次傳動,，所述的手指固定座始終保持直線運動,。 機械手臂應(yīng)用場景多在制造業(yè)。佛山晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠

可選地,，所述托板包括：

主板,；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠(yuǎn)離所述主板的一端,、所述第二支板遠(yuǎn)離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊。

可選地,，所述表面為平面,。

另外，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機械手臂,。

在本實用新型的技術(shù)方案中，機械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面,，并與絨毛墊接觸，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上,，不易發(fā)生平移，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率,。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細(xì)描述，本實用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點將會變得清楚。 廣東銷售晶圓運送機械吸臂企業(yè)各支承,、連接件的剛性也要有一定的要求,，以保證能承受所需要的驅(qū)動力。

注塑行業(yè)機械臂常稱為注塑機機械手,、塑料機機械手,，它可模仿人體上肢的部分功能代替人工用于自動剪水口、模內(nèi)鑲件,、模內(nèi)貼標(biāo),、模外組裝、整形,、分類,、堆疊、產(chǎn)品包裝,、模具優(yōu)化等等,。且可以對其進(jìn)行自動控制使其按照預(yù)定要求輸送制品或操持工具進(jìn)行生產(chǎn)操作的自動化生產(chǎn)設(shè)備。注塑行業(yè)機械臂是為注塑生產(chǎn)自動化專門配備的機械,，它可以在減輕繁重的體力勞動,、改善勞動條件和安全生產(chǎn);提高注塑成型機的生產(chǎn)效率,、穩(wěn)定產(chǎn)品質(zhì)量、降低廢品率,、降低生產(chǎn)成本,、增強企業(yè)的競爭力等方面起到及其重要的作用。

一種用于傳送晶圓的真空吸附機械手,，其特征在于,，包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附絕緣凸臺,；設(shè)置在所述手臂和吸附絕緣凸臺內(nèi)的真空氣道,；所述吸附絕緣凸臺呈環(huán)形，所述吸附絕緣凸臺所圍成的空間構(gòu)成所述真空氣道的其中一段,；位于所述吸附絕緣凸臺內(nèi)的偽絕緣凸臺,，所述偽絕緣凸臺與手臂一體成型，所述真空氣道的其中一段位于所述偽絕緣凸臺內(nèi),；在垂直于所述手臂的方向上,，所述吸附絕緣凸臺比所述偽絕緣凸臺突出；所述吸附絕緣凸臺用于吸附待傳送晶圓的背面,，所述吸附絕緣凸臺的硬度小于所述待傳送晶圓的背面的硬度,。主要代替人工從事場景危險的工作或者是代替密集型、重復(fù)性高的動作,。

    區(qū)熔法分為兩種：水平區(qū)熔法和立式懸浮區(qū)熔法,。前者主要用于鍺、GaAs等材料的提純和單晶生長,；后者主要用于硅,。為什么有橫著和豎著長的不同捏？這是由于硅的熔點高,，化學(xué)性能活潑,，容易受到異物的玷污，所以難以找到適合的器皿來盛方,，自然水平區(qū)熔法不能用在硅的生長上啦,。區(qū)熔法與直拉法比較大的不同之處在于：區(qū)熔法一般不使用坩鍋，引入的雜質(zhì)更少,，生長的材料雜質(zhì)含量也就更少,。總而言之,，單晶硅棒是圓柱形的,，使用這種方法得到的單晶硅圓片自然也是圓形的了。就是下圖這個樣的——知道是兩頭的尖尖是如何造成的嗎,？Bingo,，圖左的尖尖是籽晶,，圖右的尖尖是晶棒長到***，從熔融態(tài)里出來后,，由于復(fù)雜的流體力學(xué)原理,，以及熔融態(tài)的硅迅速凝固而導(dǎo)致的。 隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。韶關(guān)庫存晶圓運送機械吸臂工廠

與剛性機械臂相比較，柔性機械臂具有結(jié)構(gòu)輕,、載重/自重比高等特性,。佛山晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠

作為傳統(tǒng)支柱產(chǎn)業(yè)的銷售不知何時被貼上了夕陽產(chǎn)業(yè)的標(biāo)簽，認(rèn)為它就是一個勞動密集型產(chǎn)業(yè),，和智能制造搭不上邊,。殊不知，在科學(xué)技術(shù)飛速發(fā)展的當(dāng)下,，競爭對手也紛紛出臺了紡織產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域發(fā)展戰(zhàn)略,。新的氧化鋁陶瓷，氧化鋯陶瓷,，碳化硅陶瓷,，陶瓷機械手等產(chǎn)品在工作效率、作業(yè)質(zhì)量,、環(huán)境保護,、操作性能及自動化程度諸方面都是以往所不可比擬的，并且在向著進(jìn)一步的智能化和機器人化方向邁進(jìn),。隨著有限責(zé)任公司產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型升級的持續(xù)推進(jìn),，近幾年中國人口老齡化的日益嚴(yán)峻，勞動力短缺,，人力成本明顯上升，智能化已成為大勢所趨,，工程機械也不例外,。無論是從減輕環(huán)境負(fù)擔(dān)，還是打破對外貿(mào)易壁壘等方面考慮,，節(jié)能環(huán)保之路都將成為我司技術(shù)力量雄厚,、設(shè)備精良，加工經(jīng)驗豐富,。目前擁有多臺精密數(shù)控設(shè)備,、精密機床、以及各種加工工藝和加工工具,，并配備各種精密檢測儀器,，以確保產(chǎn)品質(zhì)量精度,。主營產(chǎn)品:氧化鋁陶瓷、氧化鋯陶瓷,包括了氧化鋁陶瓷機械手和半導(dǎo)體吸盤,中國陶瓷加工品牌工廠發(fā)展的主流趨勢,。今后中國機械產(chǎn)業(yè)的發(fā)展將更加注重轉(zhuǎn)型升級,，而在具體的實施策略中，節(jié)能環(huán)保將成為主要的發(fā)展方向,。佛山晶圓運送機械吸臂價格優(yōu)惠

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