可選地,，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板,，在所述主板的同一側(cè)與所述主板固定連接,；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端,、所述***支板遠離所述主板的一端、所述第二支板遠離所述主板的一端均設(shè)置有所述絨毛墊,。

可選地,，所述表面為平面。

另外,，本實用新型還提供了一種晶圓傳輸裝置,，其包括上述任一所述的機械手臂。

在本實用新型的技術(shù)方案中,，機械手臂傳送晶圓時,，晶圓放置在托板的表面，并與絨毛墊接觸,，借助晶圓與絨毛墊的絨毛之間的范德華力,，晶圓被穩(wěn)穩(wěn)地附著在機械手臂上，不易發(fā)生平移,，這樣不僅可以避免發(fā)生機械手臂碰傷,，還可以提高晶圓的傳送速度以提高生產(chǎn)效率。

通過以下參照附圖對本實用新型的示例性實施例的詳細描述,，本實用新型的其它特征,、方面及其優(yōu)點將會變得清楚,。 如剛性差則會引起手臂在垂直平面內(nèi)的彎曲變形和水平面內(nèi)側(cè)向扭轉(zhuǎn)變形.直銷晶圓運送機械吸臂價格

年來全球硅晶圓供給不足，導(dǎo)致8英寸,、12英寸硅晶圓訂單能見度分別已達2019上半年和年底,。目前國內(nèi)多個硅晶圓項目已經(jīng)開始籌備，期望有朝一日能夠打破進口依賴,，并有足夠的能力滿足市場需求,。硅在自然界中以硅酸鹽或二氧化硅的形式***存在于巖石、砂礫中,，硅晶圓的制造可以歸納為三個基本步驟：硅提煉及提純、單晶硅生長,、晶圓成型,。一，晶柱制造步驟硅提純:將沙石原料放入一個溫度約為2000℃,，并且有碳源存在的電弧熔爐中,，在高溫下，碳和沙石中的二氧化硅進行化學(xué)反應(yīng)（碳氧結(jié)合,，得硅）,，提純得純度約為98%的純硅，又稱冶金級硅,，這對微電子器件來說依然不夠純,，因為半導(dǎo)體材料的電學(xué)特性對雜質(zhì)的濃度相當?shù)拿舾校蚨鴮σ苯鸺壒枳鬟M一步提純：將粉碎的冶金級硅與氣態(tài)的氯化氫進行氯化反應(yīng),，生成液態(tài)的硅烷,，然后通過蒸餾和化學(xué)還原工藝，得到了高純度的多晶硅,，其純度達99%,，成為電子級硅。東莞正規(guī)晶圓運送機械吸臂維修工業(yè)機械臂的工作原理,。

隨著智能工業(yè)的快速發(fā)展,，我們越來越多的行業(yè)都使用了工業(yè)機器人代替人工作業(yè)，那么我們來說說工業(yè)機器人如六軸機器人是怎樣的? 六軸工業(yè)機器人是一種用于自然科學(xué)相關(guān)工程與技術(shù)領(lǐng)域的工藝試驗儀器,，六軸機器人的六個軸,，每個軸都是一個電機配備減速機來傳動，各個軸的運動方式和方向都不同,，每個軸其實是模擬人手的各個關(guān)節(jié)的動作,。

一軸：一軸是連接底座的部位，主要是承載上面軸的重量與底座的左右旋轉(zhuǎn),，一個左右旋轉(zhuǎn)的動作就是使用電機與減速機傳動的結(jié)果,，每個軸都是代替一個方向的運動方式,。

二軸：控制機器人主臂的前后擺動、整個主臂上下運動的功能,。

三軸：三軸同樣是控制機器人前后擺動功能,，只是比第二軸的擺臂范圍小。

四軸：四軸是控制機器人上面的圓形管的部分可自由旋轉(zhuǎn)的部位,，活動范圍相當于人的小臂,，不過不是360°旋轉(zhuǎn)里面有電線跟人小臂的范圍相同。

五軸：第五軸控制微調(diào)的上下翻轉(zhuǎn)動作,，通常是當產(chǎn)品抓取后可以使產(chǎn)品翻轉(zhuǎn)的動作,。

六軸：第六軸就是末端法蘭哪個部分旋轉(zhuǎn)功能?？梢?60°旋轉(zhuǎn),。

工業(yè)機械臂定義為“其操作機是自動控制的，可重復(fù)編程,、多用途,，并可以對3個以上軸進行編程。它可以是固定式或者移動式,。在工業(yè)自動化應(yīng)用中使用”,。操作機又定義為“是一種機器，其機構(gòu)通常由一系列相互鉸接或相對滑動的構(gòu)件所組成,。它通常有幾個自由度,，用以抓取或移動物體（工具或工件）?！彼詫I(yè)機械臂可能理解為：擬人手臂,、手腕和手功能 的機械電子裝置；它可把任一物件或工具按空間位姿（位置和姿態(tài)）的時變要求進行移動,，從而完成某一工業(yè)生產(chǎn)的作業(yè)要求,。 對于半導(dǎo)體制造應(yīng)用來說，常用的機械手臂是用來搬送晶片.

整個蛙腿型晶圓搬運機械手共由3個電機實現(xiàn)運動控制,。2臺直驅(qū)電機負責連接晶圓托盤連桿的同步控制,，1臺直流電機負責整個機械手的上升與下降控制。雖然軸數(shù)較少,，但對控制的精度,、平穩(wěn)性和可靠性要求極高。整個控制架構(gòu)基于CANopen或者EtherCAT,。 針對客戶的需求,，Copley給出了性價比比較好的解決方案-- Accelnet Plus Module驅(qū)動器。Dual axis module同時驅(qū)動2臺直驅(qū)電機，Single axis module驅(qū)動1臺升降直流電機,。雙軸模塊式驅(qū)動器使系統(tǒng)成本比較好化高精度時間戳保證PVT控制的比較好性能多通道**I/O高精度位置觸發(fā)且多點位置數(shù)據(jù)存儲客制化編碼器接口協(xié)議-Gurley Virtual Absolute多點增益切換小體積可直接安裝于機械手底座內(nèi)部專業(yè)的技術(shù)支持車床行業(yè)機械臂又名車床自動上下料機械手,、上下料機械手。韶關(guān)晶圓運送機械吸臂廠家報價

隨著宇航業(yè)及機器人業(yè)的飛速發(fā)展,，越來越多地采用由若干個柔性構(gòu)件組成的多柔體系統(tǒng),。直銷晶圓運送機械吸臂價格

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體制造技術(shù)，尤其是一種用于晶圓搬運的機械手,。

背景技術(shù)：

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,，經(jīng)常需要將晶圓在各個工位之間進行傳送，在傳送的過程中,，傳送精度越高,，設(shè)備工藝一致性就越好，速度越快,，單臺設(shè)備的產(chǎn)能就越大,。隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展，設(shè)備處理的工藝越來越復(fù)雜,，對設(shè)備自動化程度,、柔性化程度要求也越來越高,，這就需要一種定位精度高,，速度快的多自由度的機械手。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明針對現(xiàn)有技術(shù)中的不足,，提供了一種晶圓搬運機械手,，本發(fā)明的機械手在傳送過程中晶片中心始終保證直線運動，且角度不會發(fā)生改變,。從而提高機械手整體剛度和承重能力,，同時提高了重復(fù)定位精度。本發(fā)明結(jié)構(gòu)合理性能穩(wěn)定,，維護方便,，多功能集一身，可滿足多種工藝設(shè)備要求,，適用于各種半導(dǎo)體設(shè)備,。

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