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江蘇高分辨率無掩膜光刻系統(tǒng)

來源: 發(fā)布時間:2022-09-07

作為全球頭一臺雙光子灰度光刻激光直寫系統(tǒng),,QuantumX可以打印出具有出色形狀精度和光學質量表面的高精度微納光學聚合物母版,,可適用于批量生產的流水線工業(yè)程序,例如注塑,,熱壓花和納米壓印等加工流程,,從而拓展微納加工工業(yè)領域的應用。2GL與這些批量生產流水線工業(yè)程序的結合得益于新技術的亞微米分辨率和靈活性的特點,,同時縮短創(chuàng)新微納光學器件(如衍射和折射光學器件)的整體制造時間,。Nanoscribe的QuantumX打印系統(tǒng)非常適合DOE的制作。該系統(tǒng)的無掩模光刻解決方案可以滿足衍射光學元件所需的橫向和縱向高分辨率要求,?;陔p光子灰度光刻技術(2GL®)的QuantumX打印系統(tǒng)可以實現一氣呵成的制作,即一步打印多級衍射光學元件,,并以經濟高效的方法將多達4,096層的設計加工成離散的或準連續(xù)的拓撲,。Nanoscribe的全球頭一次創(chuàng)建的雙光子灰度光刻無掩模光刻系統(tǒng)Quantum X,適用于制造微光學衍射以及折射元件,。江蘇高分辨率無掩膜光刻系統(tǒng)

江蘇高分辨率無掩膜光刻系統(tǒng),無掩膜光刻

Nanoscribe公司PhotonicProfessionalGT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“CommercialMicroManufacturingmagazine”(CMM),。文章中介紹了高精度3D打印,并重點講解了先進的打印材料是如何讓雙光子聚合技術應用錦上添花的,。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術融入強大了3D打印工作流程,,實現了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術用于3D微納結構的增材制造,,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結構制作,。Nanoscribe的雙光子灰度光刻激光直寫技術(2GL®)可用于工業(yè)領域2.5D微納米結構原型母版制作,。2GL通過創(chuàng)新的設計重新定義了典型復雜結構微納光學元件的微納加工制造,。該技術結合了灰度光刻的出色性能,以及雙光子聚合的亞微米級分辨率和靈活性,。浙江高精度無掩膜光刻技術了解更多無掩膜光刻的技術和產品信息,,請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司。

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科學家們基于Nanoscribe的雙光子聚合技術(2PP),,發(fā)明了GRIN光學微納制造工藝,。這種新的制造技術實現了簡單一步操作即可同時控制幾何形狀和折射率來打印自由曲面光學元件。憑借這種全新的制造工藝,科學家們完成了令人印象深刻的展示制作,,打印了世界上特別小的可聚焦可見光的龍勃透鏡(15μm直徑),。相似于人類眼睛晶狀體的梯度,這種球面晶狀體的折射率向中心逐漸增加,,使其具有獨特的聚光特性,。Nanoscribe的PhotonicProfessional打印系統(tǒng)可用于將不同折射率的龍勃透鏡和其他自由形狀的光學組件打印于微孔支架材料上(例如孔狀硅材及二氧化硅)。突出特點是不再像常規(guī)的雙光子聚合(2PP)那樣在基體表面進行直寫,,而是在孔型支架內,。通過調整直寫激光的曝光參數可以改變微孔支架內材料的聚合量,從而影響打印材料的有效折射率,。采用全新SCRIBE技術(通過激光束曝光控制的亞表面折射率)可以在保證亞微米級別的空間分辨率同時,,對折射率的調節(jié)范圍甚至超過0.3。

Nanoscribe首屆線上用戶大會于九月順利召開,,在微流控研究中,,通常在針對微流控器件和芯片的快速成型制作中會結合不同制造方法。亞琛工業(yè)大學(RWTHUniversityofAachen)和不來梅大學(UniversityofBremen)的研究小組提出將三維結構的芯片結構打印到預制微納通道中,。生命科學研究的驅動力是三維打印模擬人類細胞形狀和大小的支架,,以推動細胞培養(yǎng)和組織工程學。丹麥技術大學(DTU)和德國于利希研究中心的研究團隊展示了他們的成就,,并強調了光刻膠如IP-L780和Nanoscribe新型柔性打印材料IP-PDMS的重要性,。在微納光學和光子學研究中,布魯塞爾自由大學的研究人員提出了用于光纖到光纖和光纖到芯片連接的錐形光纖和低損耗波導等解決方案,。阿卜杜拉國王科技大學的研究團隊3D打印了一個超小型單纖光鑷,,以實現集成微納光學系統(tǒng)。連接處理是光子集成研究的挑戰(zhàn),。正如明斯特大學(WWU)研究人員所示,,Nanoscribe微納加工技術正在驅動研究用于集成納米多孔電路的混合接口方法。麻省理工學院(MIT)的科學家們正在使用Nanoscribe的2PP技術制造用于高密度集成光子學的光學自由形式耦合器,。了解雙光子無掩模光刻技術在微納醫(yī)學中的應用,,請致電Nanoscribe中國分公司-納糯三維。

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Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2使用雙光子聚合(2PP)來產生幾乎任何3D形狀:晶格,、木堆型結構,、自由設計的圖案、順滑的輪廓,、銳利的邊緣,、表面的和內置倒扣以及橋接結構。PhotonicProfessionalGT2結合了設計的靈活性和操控的簡潔性,,以及比較廣的材料-基板選擇,。因此,,它是一個理想的科學儀器和工業(yè)快速成型設備,適用于多用戶共享平臺和研究實驗室,。Nanoscribe的3D無掩模光刻機目前已經分布在30多個國家的前沿研究中,,超過1,000個開創(chuàng)性科學研究項目是這項技術強大的設計和制造能力的特別好證明。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術融入強大了3D打印工作流程,,實現了各種不同的打印方案,。雙光子聚合技術用于3D微納結構的增材制造,可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結構制作,。PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)可以實現精度上限的3D打印,,突破了微納米制造的限制。該打印系統(tǒng)的易用性和靈活性的特點配以比較廣的打印材料選擇使其成為理想的實驗研究儀器和多用戶設施,。Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司邀您一起探討雙光子無掩模光刻技術的運用,。重慶雙光子無掩膜光刻技術3D打印

無掩膜光刻機具有無掩模光刻技術的便利,很大程度提高了無掩膜影印和新產品研發(fā)的效率,。江蘇高分辨率無掩膜光刻系統(tǒng)

QuantumXshape技術特點概要:快速原型制作,,高精度,高設計自由度,,簡易明了的工程流程,;工業(yè)驗證的晶圓級批量生產;200個標準結構的通宵產量,;通用及專門使用的打印材料,;兼容自主及第三方打印材料QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng),用于快速原型制作和晶圓級批量生產,,以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產領域的潛力,。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術(2PP)的專業(yè)激光直寫系統(tǒng),可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度,。QuantumXshape可實現在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工,。這種效率的提升對于晶圓級批量生產尤其重要,這對于科研和工業(yè)生產領域應用有著重大意義,。江蘇高分辨率無掩膜光刻系統(tǒng)

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