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湖南工業(yè)級灰度光刻技術(shù)

來源: 發(fā)布時間:2025-03-25

Nanoscribe的無掩模光刻系統(tǒng)在三維微納制造領(lǐng)域是一個不折不扣的多面手,,由于其出色的通用性,、與材料的普適性和便于操作的軟件工具,在科學(xué)和工業(yè)項目中備受青睞,。這種可快速打印的微結(jié)構(gòu)在科研,、手板定制,、模具制造和小批量生產(chǎn)中具有廣闊的應(yīng)用前景。也就是說,,在納米級,、微米級以及中尺度結(jié)構(gòu)上,可以直接生產(chǎn)用于工業(yè)批量生產(chǎn)的聚合物母版,。借助Nanoscribe雙光子聚合技術(shù)特殊的高設(shè)計自由度和高精度特點,,您可以制作具有微米級高精度機械元件和微機電系統(tǒng),。歡迎探索Nanoscribe針對快速原型設(shè)計和制造真正高精度的微納零件的3D微納加工解決方案該技術(shù)還可以與雙光子聚合技術(shù)結(jié)合,,實現(xiàn)高速打印高設(shè)計自由度和超高精度的特點,進一步擴展了其應(yīng)用范圍。湖南工業(yè)級灰度光刻技術(shù)

湖南工業(yè)級灰度光刻技術(shù),灰度光刻

作為基于雙光子聚合技術(shù)(2PP)的微納加工領(lǐng)域市場帶領(lǐng)者,,Nanoscribe在全球30多個國家擁有各科領(lǐng)域的客戶群體,。基于2PP微納加工技術(shù)方面的專業(yè)知識,,Nanoscribe為頂端科學(xué)研究和工業(yè)創(chuàng)新提供強大的技術(shù)支持,,并推動生物打印、微流體,、微納光學(xué),、微機械、生物醫(yī)學(xué)工程和集成光子學(xué)技術(shù)等不同領(lǐng)域的發(fā)展,?!拔覀兎浅F诖尤隒ELLINK集團,共同探索雙光子聚合技術(shù)在未來所帶來的更大機遇”NanoscribeCEOMartinHermatschweiler說道,。Nanoscribe作為一家納米,,微米和中尺度高精度結(jié)構(gòu)增材制造專業(yè)人才,一直致力于開發(fā)和生產(chǎn)和無掩模光刻系統(tǒng),,以及自研發(fā)的打印材料和特定應(yīng)用不同解決方案,。在全球頂端大學(xué)和創(chuàng)新科技企業(yè)的中,有超過2,500多名用戶在使用我們突破性的3D微納加工技術(shù)和定制應(yīng)用解決方案,。天津工業(yè)級灰度光刻三維光刻Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技(上海)有限公司為您了解成熟的灰度光刻技術(shù),。

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Nanoscribe成立于2007年,總部位于德國卡爾斯魯厄,,擁有卡爾斯魯厄理工學(xué)院(KIT)的技術(shù)背景和卡爾蔡司公司的支持,。經(jīng)過十幾年的不斷研究和成長,Nanoscribe已成為微納米生產(chǎn)的先驅(qū)和3D打印市場的帶領(lǐng)者,,推動著諸如力學(xué)超材料,,微納機器人,再生醫(yī)學(xué)工程,,微光學(xué)等創(chuàng)新領(lǐng)域的研究和發(fā)展,,并提供優(yōu)化制程方案,。全新的QuantumX無掩模光刻系統(tǒng)能夠數(shù)字化制造高精度2維和。作為世界上頭一個雙光子灰度光刻系統(tǒng),,在充分滿足設(shè)計自由的同時,,一步制造具有光學(xué)質(zhì)量表面以及高形狀精度要求的微光學(xué)元件,達到所見即所得,。PhotonicProfessionalGT2是全球精度排名頭一位的3D微納打印機,。該設(shè)備將雙光子聚合的極高精度技術(shù)特點與跨尺度的微觀3D打印完美結(jié)合,適合用于納米,、微米,、中尺度以及厘米級別的快速成型。

在計算成像領(lǐng)域中有一個重要的分支,,即光場成像,。而光場成像中的中心光學(xué)元件,即為微透鏡陣列,。其材質(zhì)為透明玻璃,,表面刻有很多微小的透鏡,組成陣列結(jié)構(gòu),,用來成像,。目前比較成熟的制作石英微透鏡的工藝是光刻膠制作圖形配合刻蝕的方法,但該方法存在著各種各樣的問題,。常用的光刻膠制作圖形配合刻蝕的方法在透鏡的設(shè)計時需通過掩膜板圖形確定,,無法自由調(diào)節(jié),且成本高,,周期長,。這項技術(shù)的關(guān)鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到準(zhǔn)同步,這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小,,并在不影響速度的情況下,,使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術(shù)將灰度光刻的性能與雙光子聚合的jing確性和靈活性*結(jié)合,,使其同時具備高速打印,,完全設(shè)計自由度和超高精度的特點。從而滿足了復(fù)雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求,。相比于傳統(tǒng)的二進制光刻技術(shù),,灰度光刻技術(shù)可以更高效地利用光刻膠,降低成本,。

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德國Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印系統(tǒng),,該系統(tǒng)是first基于雙光子灰度光刻技術(shù)(2GL®)的精密加工微納米打印系統(tǒng),可應(yīng)用于折射和衍射微光學(xué)。Nanoscribe高速灰度光刻微納加工打印的面世**著Nanoscribe已進軍現(xiàn)代微加工工業(yè)領(lǐng)域,。具有全自動化系統(tǒng)的QuantumX無論從外形或者使用體驗上都更符合現(xiàn)代工業(yè)需求,。下面講講在衍射微光學(xué)中的應(yīng)用:多級衍射光學(xué)元件雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學(xué)元件(DOE),并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級,?;叶裙饪碳夹g(shù)可實現(xiàn)掩膜版的自適應(yīng)優(yōu)化。江蘇高精度灰度光刻系統(tǒng)

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微納3D打印其實和與灰度光刻有點相似,但是原理不同,,我們常見的微納3D打印技術(shù)是雙光子聚合和微納金屬3D打印技術(shù),,利用該技術(shù)我們理論上可以獲得任意想要的結(jié)構(gòu),不光是微透鏡陣列結(jié)構(gòu)(如下圖5所示),,該方法的優(yōu)勢是可以完全按照設(shè)計獲得想要的結(jié)構(gòu),,對于雙光子聚合的微結(jié)構(gòu),,我們需要通過LIGA工藝獲得金屬模具,,但是對于微納金屬3D打印獲得的微納米結(jié)構(gòu)可以直接進行后續(xù)的復(fù)制工作,并通過納米壓印技術(shù)進行復(fù)制,?;叶裙饪痰木褪抢没叶裙饪萄谀ぐ妫ㄑ谀そ佑|式光刻)或者計算機控制激光束或者電子束劑量從而達到在某些區(qū)域完全曝透,而某些區(qū)域光刻膠部分曝光,,從而在襯底上留下3D輪廓形態(tài)的光刻膠結(jié)構(gòu)(如下圖4所示,,八邊金字塔結(jié)構(gòu))湖南工業(yè)級灰度光刻技術(shù)