手動探針臺的使用方式:1.將樣品載入真空卡盤,,開啟真空閥門控制開關(guān),,使樣品安全且牢固地吸附在卡盤上。2.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺,,在顯微鏡低倍物鏡聚焦下看清楚樣品,。3.使用卡盤X軸/Y軸控制旋鈕移動卡盤平臺將樣品待測試點(diǎn)移動至顯微鏡下。4.顯微鏡切換為高倍率物鏡,,在大倍率下找到待測點(diǎn),,再微調(diào)顯微鏡聚焦和樣品x-y,將影像調(diào)節(jié)清晰,帶測點(diǎn)在顯微鏡視場中心。5.確保針尖和被測點(diǎn)接觸良好后,,則可以通過連接的測試設(shè)備開始測試,。常見故障的排除當(dāng)您使用本儀器時,可能會碰到一些問題,,下表列舉了常見的故障及解決方法。手動探針臺技術(shù)參數(shù),。上海勤確科技有限公司敢于承擔(dān),、克難攻堅。天津芯片探針臺供應(yīng)商
以往如果需要測試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流,、電壓,、阻抗等)或工作狀態(tài),測試人員一般會采用表筆去點(diǎn)測,。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,,對于精密微小(納米級)的微電子器件,表筆點(diǎn)到被測位置就顯得無能為力了,。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,,利用高精度微探針將被測原件的內(nèi)部訊號引導(dǎo)出來,便于其電性測試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對此測試,、分析,。探針臺執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,控制固定在針座上的探針桿做三向移動,,移動范圍12mm,,移動精度可以達(dá)到0.7微米。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測點(diǎn)上(說明探針是耗材,,一般客戶自己準(zhǔn)備),,探針探測到的信號可以通過探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測試機(jī)上,從而得到電性能的參數(shù),。對于重復(fù)測試同種器件,,多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試。福建自動探針臺供應(yīng)商誠信是企業(yè)生存和發(fā)展的根本,。
探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,極大降低器件的制造成本,。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測,、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。半導(dǎo)體測試可以按生產(chǎn)流程可以分為三類:驗證測試,、晶圓測試測試,、封裝檢測。晶圓檢測環(huán)節(jié)需要使用測試儀和探針臺,測試儀/機(jī)用于檢測芯片功能和性能,,探針臺實(shí)現(xiàn)被測芯片與測試機(jī)的連接,,通過探針臺和測試機(jī)的配合使用對晶圓上的裸芯片進(jìn)行功能和電參數(shù)測試或射頻測試,可以對芯片的良品,、不良品的進(jìn)行篩選,。
探針測試臺x-y工作臺的分類:縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺,,可編程承片臺,、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成,并配有與測試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(又叫磁性氣浮工作臺)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,,應(yīng)區(qū)別對待。對于重復(fù)測試同種器件,,多個點(diǎn)位的推薦使用探針臺安裝探卡進(jìn)行測試,。
探針臺大家不陌生了,是我們半導(dǎo)體實(shí)驗室電性能測試的常用設(shè)備,,也是各大實(shí)驗室的熟客,。優(yōu)點(diǎn)太多了,成本低,,用途廣,,操作方便,對環(huán)境要求也不高,,即使沒有超凈間,,普通的壞境也可以配置,測試結(jié)果穩(wěn)定,,客觀,。深受工程師們的青睞。手動探針臺用途:探針臺主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè),、集成電路以及封裝的測試。普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。手動探針臺的主要用途是為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測試提供一個測試平臺,,探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流,、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,,抽查測試等用途,。上海勤確科技有限公司降低客戶風(fēng)險才是能夠良好合作的開始。黑龍江全自動探針臺機(jī)構(gòu)
上海勤確科技有限公司以客戶永遠(yuǎn)滿意為標(biāo)準(zhǔn)的一貫方針,。天津芯片探針臺供應(yīng)商
探針臺可吸附多種規(guī)格芯片,并提供多個可調(diào)測試針以及探針座,,配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。適用于對芯片進(jìn)行科研分析,,抽查測試等用途。探針臺是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu),,測試人員把需要量測的器件放到探針臺載物臺(chuck)上,,在顯微鏡配合下,X-Y移動器件,,找到需要探測的位置,。接下來測試人員通過旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕,控制前部探針(射頻或直流探針),,精確扎到被測點(diǎn),,從而使其訊號線與外部測試機(jī)導(dǎo)通,通過測試機(jī)測試人員可以得到所需要的電性能參數(shù),。天津芯片探針臺供應(yīng)商