“精確度”是探測儀器基本的指針，涵蓋定位、溫度及生產(chǎn)率等三個層面,。首先,，必須能穩(wěn)定、精確地探測到小型墊片,，載臺系統(tǒng)亦須精確,、能直接驅(qū)動晶圓托盤，并在晶圓移動的過程中準(zhǔn)確地將晶圓和晶圓對位,；其次,，必須具備動態(tài)監(jiān)控機(jī)制，確保所挾帶的空氣以監(jiān)控溫度,、掌握可靠度和穩(wěn)定性,；后，必須對高產(chǎn)出的進(jìn)階移動做動態(tài)控制才能擁有佳的終結(jié)果,。整體而言,，針腳和墊片之間的相應(yīng)精確度應(yīng)在±1.5μm之間。隨著新工藝的微縮,，為了強化更小晶粒定位的精確性,，需要動態(tài)的Z軸輔助校正工作，以避免無謂的產(chǎn)出損失,。探針臺配合測量儀器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測,。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

盡管半導(dǎo)體測試探針國產(chǎn)化迫在眉睫,，但從技術(shù)的角度來看，要想替代進(jìn)口產(chǎn)品卻并不容易,。業(yè)內(nèi)人士指出,，國內(nèi)半導(dǎo)體測試探針還只能用于要求不高的測試需求，比如可靠性測試國產(chǎn)探針可以替代很多,，但功能性測試和性能測試還有待突破,。彈簧測試探針主要的技術(shù)是精微加工和組裝能力，涉及精微加工設(shè)備,、經(jīng)驗,、工藝能力缺一不可。值得注意的是，由于半導(dǎo)體測試探針市場一直被國外廠商占據(jù),，同時也實施了技術(shù)封鎖,，國內(nèi)并沒有相應(yīng)的技術(shù)人才，包括生產(chǎn)人員和設(shè)計人員都缺乏,。國內(nèi)大部分測試探針廠商基本不具備全自動化生產(chǎn)制造能力,。遼寧自動探針臺生產(chǎn)上海勤確科技有限公司敢于承擔(dān)、克難攻堅,。

精細(xì)探測技術(shù)帶來新優(yōu)勢：先進(jìn)應(yīng)力控制技術(shù)亦是必須的,。為減少或消除造成良率下降之墊片損傷，在銅質(zhì)墊片加上鋁帽將能減少對易碎低K/高K介電的負(fù)面效應(yīng),。以先進(jìn)工藝驅(qū)動在有效區(qū)域上墊片的測試,，以低沖擊的探針卡，避免接觸所產(chǎn)生阻抗問題,。另一個可能損害到晶圓的來源是探針力道過猛或不平均,，因此能動態(tài)控制探針強度也是很重要的；若能掌握可移轉(zhuǎn)的參數(shù)及精細(xì)的移動控制,，即可提升晶圓翻面時的探測精確度,，使精細(xì)的Z軸定位接觸控制得到協(xié)調(diào)，以提高精確度,，并縮短索引的時間,。

半導(dǎo)體設(shè)備的技術(shù)壁壘高。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,，半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,，復(fù)雜程度與日俱增，生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運用光學(xué),、物理,、化學(xué)等科學(xué)技術(shù)，具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點,。半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中，從半導(dǎo)體單晶片到制成成品,，須經(jīng)歷數(shù)十甚至上百道工序,。為了確保產(chǎn)品性能合格、穩(wěn)定可靠,，并有高的成品率,，根據(jù)各種產(chǎn)品的生產(chǎn)情況，對所有工藝步驟都要有嚴(yán)格的具體要求,。因而,，在生產(chǎn)過程中必須建立相應(yīng)的系統(tǒng)和精確的監(jiān)控措施，首先要從半導(dǎo)體工藝檢測著手。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,，一代工藝,，一代產(chǎn)品”的說法。

探針臺的作用是什么,？探針臺可以將電探針,、光學(xué)探針或射頻探針放置在硅晶片上，從而可以與測試儀器/半導(dǎo)體測試系統(tǒng)配合來測試芯片/半導(dǎo)體器件,。這些測試可以很簡單,，例如連續(xù)性或隔離檢查，也可以很復(fù)雜,，包括微電路的完整功能測試?？梢栽趯⒕A鋸成單個管芯之前或之后進(jìn)行測試,。在晶圓級別的測試允許制造商在生產(chǎn)過程中多次測試芯片器件，這可以提供有關(guān)哪些工藝步驟將缺陷引入終端產(chǎn)品的信息,。它還使制造商能夠在封裝之前測試管芯,，這在封裝成本相對于器件成本高的應(yīng)用中很重要。探針臺還可以用于研發(fā),、產(chǎn)品開發(fā)和故障分析應(yīng)用,。探針尖磨損和污染都會對測試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。廣東探針臺

探針臺用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測試環(huán)節(jié),，負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

射頻測試探針必須具有與測試點相匹配的阻抗,。通常要做的是在設(shè)計中各個預(yù)先計劃好的測試點焊接射頻同軸電纜（尾纖）,。這有助于確保足夠的阻抗匹配，并且測試點可以選在對整體設(shè)計性能產(chǎn)生較小影響的區(qū)域,。其他方法包括將用的射頻探針焊接到自定義焊盤或者引線設(shè)計上,，從而減少侵入性探測。高性能測試設(shè)備供應(yīng)商可以提供高達(dá)毫米波頻率的用探針,。但這些探針的末端通常都很昂貴,，且無法持續(xù)訪問組成元件的電路。因此,，它們在大容量的測試應(yīng)用或者故障排除應(yīng)用中受到限制,，更適合于原型設(shè)計和研發(fā)。遼寧自動探針臺生產(chǎn)

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