探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào)，保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備,。下面我們來(lái)了解下利用探針臺(tái)進(jìn)行在片測(cè)試的一些相關(guān)問(wèn)題，首先為什么需要進(jìn)行在片測(cè)試,？因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅?，而不是封裝以后的，雖然可以去嵌,，但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性,。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,，在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快,。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng)，主要包括：矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,，線纜,，探針，探針定位器,，探針臺(tái),，校準(zhǔn)設(shè)備及軟件，電源偏置等,。半導(dǎo)體行業(yè)向來(lái)有“一代設(shè)備,，一代工藝，一代產(chǎn)品”的說(shuō)法,。黑龍江磁場(chǎng)探針臺(tái)價(jià)格

下面我們來(lái)簡(jiǎn)單講講選擇探針臺(tái)設(shè)備時(shí)需要注意事項(xiàng)：一,、機(jī)械加工精度；二,、電學(xué)量測(cè)精度三,、環(huán)境要求，如：真空環(huán)境,、高溫,、低溫環(huán)境、磁場(chǎng)環(huán)境及其它,。四,、光學(xué)成像；五、自動(dòng)化控制精度,。總體而言,，具有清晰并高景深的微觀成像,，再通過(guò)準(zhǔn)確的探針裝置對(duì)探針進(jìn)行多方向移動(dòng)，對(duì)準(zhǔn)量測(cè)點(diǎn),，進(jìn)行信號(hào)加載,，通過(guò)高精度線纜將所需測(cè)試數(shù)據(jù)傳輸至量測(cè)儀表，以達(dá)到所需得到的分析數(shù)據(jù),，所以,，如果想得到高質(zhì)量的分析數(shù)據(jù)，從成像到點(diǎn)針,，再到數(shù)據(jù)傳輸每項(xiàng)步驟都會(huì)起到重要的作用,，另外振動(dòng)對(duì)精度也有一定的影響。黑龍江磁場(chǎng)探針臺(tái)價(jià)格探針尖磨損和污染都會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響,。

晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù)：垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),，通用性設(shè)計(jì)；容納12寸晶圓,，且向下兼容8寸,、6寸、碎片,；兼容4組探針（RF或DC測(cè)試）,；提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能，實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試,；磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針（4組）或微波探針（4組）,；XY電控行程±150mm，調(diào)節(jié)精度2μm,；T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,，小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái)：詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),，兼容性設(shè)計(jì),；容納12寸晶圓，且向下兼容8寸,、6寸,、碎片；兼容4組探針（RF或DC測(cè)試）,；提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,，實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試；磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T,；直流探針（4組）或微波探針（4組）,；XY電控行程±150mm,，調(diào)節(jié)精度2μm；T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,，小到調(diào)節(jié)精度5’,。

探針臺(tái)如何工作：探針臺(tái)可以固定晶圓或芯片，并精確定位待測(cè)物,。手動(dòng)探針臺(tái)的使用者將探針臂和探針安裝到操縱器中,，并使用顯微鏡將探針尖銳端放置到待測(cè)物上的正確位置。一旦所有探針尖銳端都被設(shè)置在正確的位置,，就可以對(duì)待測(cè)物進(jìn)行測(cè)試,。對(duì)于帶有多個(gè)芯片的晶圓，使用者可以抬起壓盤(pán),，壓盤(pán)將探針頭與芯片分開(kāi),，然后將工作臺(tái)移到下一個(gè)芯片上，使用顯微鏡找到精確的位置,，壓板降低后下一個(gè)芯片可以進(jìn)行測(cè)試,。半自動(dòng)和全自動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)使用機(jī)械化工作臺(tái)和機(jī)器視覺(jué)來(lái)自動(dòng)化這個(gè)移動(dòng)過(guò)程，提高了探針臺(tái)生產(chǎn)率,。定子是基礎(chǔ)平臺(tái),，動(dòng)子和定子間有一層氣墊，動(dòng)子浮于氣墊上,。

探針臺(tái)的分類：探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分,，也可以按照操作方式來(lái)劃分成：手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái),、全自動(dòng)探針臺(tái),。手動(dòng)探針臺(tái)：手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的，這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤(pán),、壓盤(pán),、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn),，易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境，并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件,。上海勤確科技有限公司擁有一批年輕、專業(yè)的員工,。黑龍江磁場(chǎng)探針臺(tái)價(jià)格

探針臺(tái)的維護(hù)與保養(yǎng)就顯得尤為重要,。黑龍江磁場(chǎng)探針臺(tái)價(jià)格

探針臺(tái)市場(chǎng)逐年增長(zhǎng)：半導(dǎo)體測(cè)試對(duì)于良率和品質(zhì)控制至關(guān)重要，是必不可少的環(huán)節(jié)，主要涉及兩種測(cè)試（CP測(cè)試,、FT測(cè)試等）,、三種設(shè)備（探針臺(tái)、測(cè)試機(jī),、分選機(jī)等）,。根據(jù)半導(dǎo)體產(chǎn)線投資配置規(guī)律，測(cè)試設(shè)備在半導(dǎo)體設(shè)備投資的占比約為8%,，次于晶圓制造裝備,，其中測(cè)試機(jī),、分選機(jī),、探針臺(tái)的占比分別為63.10%、17.40%,、15.20%,。中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)飛速增長(zhǎng)。在全球貿(mào)易摩擦背景下,，半導(dǎo)體行業(yè)國(guó)產(chǎn)化率提高成為必然趨勢(shì),，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的投資規(guī)模持續(xù)擴(kuò)大。黑龍江磁場(chǎng)探針臺(tái)價(jià)格