晶圓級(jí)半自動(dòng)面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái)詳細(xì)參數(shù):垂直或面內(nèi)磁場(chǎng)探針臺(tái),,通用性設(shè)計(jì);容納12寸晶圓,,且向下兼容8寸,、6寸、碎片,;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試),;提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試,;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥330mT;直流探針(4組)或微波探針(4組),;XY電控行程±150mm,調(diào)節(jié)精度2μm,;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,,小至調(diào)節(jié)精度5’。晶圓級(jí)半自動(dòng)二維磁場(chǎng)探針臺(tái):詳細(xì)參數(shù)可對(duì)晶圓施加垂直或面內(nèi)磁場(chǎng),,兼容性設(shè)計(jì),;容納12寸晶圓,且向下兼容8寸,、6寸,、碎片;兼容4組探針(RF或DC測(cè)試);提供Z軸探針平臺(tái)快速升降功能,,實(shí)現(xiàn)高效測(cè)試,;磁場(chǎng)強(qiáng)度≥0.7T;直流探針(4組)或微波探針(4組),;XY電控行程±150mm,,調(diào)節(jié)精度2μm;T軸手動(dòng)調(diào)節(jié)±5°,,小到調(diào)節(jié)精度5’,。如果是合格的芯片,打點(diǎn)器不動(dòng)作,。山東射頻探針臺(tái)加工廠家
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè),、光電行業(yè)、集成電路以及封裝的測(cè)試,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng)從功能上來(lái)區(qū)分有:溫控探針臺(tái),,真空探針臺(tái)(低溫探針臺(tái)),,RF探針臺(tái),LCD平板探針臺(tái),,霍爾效應(yīng)探針臺(tái),,表面電阻率探針臺(tái)。普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,,即主要由x-y向工作臺(tái),可編程承片臺(tái),、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,。福建芯片測(cè)試探針臺(tái)廠家探針臺(tái)由于動(dòng)子和定子間無(wú)相對(duì)摩擦故無(wú)磨損,使用壽命長(zhǎng),。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路,、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜,、高速器件的精密電氣測(cè)量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),,負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過(guò)復(fù)雜的工序,,可分為前道工序與后道工序,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù),、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備,。經(jīng)過(guò)檢測(cè),探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來(lái),,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,,降低器件的制造成本。上海勤確科技有限公司
電纜安裝探針既可以手動(dòng)使用,,也可以與多軸探針定位器一起使用,。與典型的探針臺(tái)不同,這些探針足夠大,,操作員可以手動(dòng)使用,,非常可靠,。探針定位器的位置精度和可重復(fù)性更高,,而且本身可以放置,便于進(jìn)行測(cè)試,。與探針臺(tái)不同,,同軸電纜安裝探針和定位器可以在工程師或技術(shù)人員的典型測(cè)試臺(tái)上用作網(wǎng)絡(luò)分析儀、信號(hào)發(fā)生器,、頻譜分析儀,、示波器和其他用于射頻/微波、毫米波和高速數(shù)字應(yīng)用的配件,。電纜安裝射頻探針的占位面積小,、無(wú)損壞,并且具有非侵入式設(shè)計(jì),,可在高密度應(yīng)用中進(jìn)行測(cè)試,,例如天線陣列、超材料、分形天線,、微帶傳輸線,、緊湊組件以及具有微小表面安裝包裝組件的印刷電路板。平面電機(jī)由定子和動(dòng)子組成,,它和傳統(tǒng)的步進(jìn)電機(jī)相比其特殊性就是將定子展開(kāi),。
探針(探針卡):待測(cè)芯片需要測(cè)試探針的連接,才能與測(cè)試儀器建立連接,。常見(jiàn)的有普通DC測(cè)試探針,、同軸DC測(cè)試探針、有源探針和微波探針等,。探針頭插入單個(gè)探針臂并安裝在操縱器上,。探針尖銳端尺寸和材料取決于被探測(cè)特征的尺寸和所需的測(cè)量類型。探針尖直接接觸被測(cè)件,,探針臂應(yīng)與探針尖匹配,。探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測(cè)量?jī)x器,。電纜組件用于轉(zhuǎn)接,、延展探針夾具上的電纜組件。操縱器(定位器):探針臺(tái)使用操縱器將探針?lè)胖迷诒粶y(cè)物上,,它可以很容易地定位探針并快速固定它們,。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢谩R坏┕潭?,操縱器可以在X,、Y和Z方向上精確定位探針尖銳端,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng),。上海勤確科技有限公司做好每一次服務(wù)是我們對(duì)于客戶的承諾,,用心服務(wù)好客戶。天津直流探針臺(tái)服務(wù)
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晶圓探針測(cè)試臺(tái)是半導(dǎo)體工藝線上的中間測(cè)試設(shè)備,與測(cè)試儀連接后,,能自動(dòng)完成對(duì)集成電路及各種晶體管芯電參數(shù)和功能的測(cè)試,。隨著對(duì)高性能、多功能,、高速度、低功耗,、小型化,、低價(jià)格的電子產(chǎn)品的需求日益增長(zhǎng),這就要求在一個(gè)芯片中集成更多的功能并進(jìn)一步縮小尺寸,從而大片徑和高效率測(cè)試將是今后晶圓探針測(cè)試臺(tái)發(fā)展的主要方向,。因此,,傳統(tǒng)的手動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和半自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)已經(jīng)不能滿足要求,取而代之的是高速度,,高精度,,高自動(dòng)化,高可靠性的全自動(dòng)晶圓探針測(cè)試臺(tái),。山東射頻探針臺(tái)加工廠家