探針臺(tái)是檢測(cè)芯片的重要設(shè)備,,在芯片的設(shè)計(jì)驗(yàn)證階段,主要工作是檢測(cè)芯片設(shè)計(jì)的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),,在檢測(cè)過程中會(huì)對(duì)芯片樣品逐一檢查,,只有通過設(shè)計(jì)驗(yàn)證的產(chǎn)品型號(hào)才會(huì)量產(chǎn),。晶圓測(cè)試一般在晶圓廠、封測(cè)廠或?qū)iT的測(cè)試代工廠進(jìn)行,,主要用到的設(shè)備為測(cè)試機(jī)和探針臺(tái),。半導(dǎo)體行業(yè)向來有“一代設(shè)備,一代工藝,,一代產(chǎn)品”的說法,。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,,設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上。隨著全球半導(dǎo)體行業(yè)市場(chǎng)規(guī)模不斷擴(kuò)大,,半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)也呈增長(zhǎng)趨勢(shì),。根據(jù)SEMI統(tǒng)計(jì),全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額從2013年的318億美元增長(zhǎng)至2018年的645億美元,,年復(fù)合增長(zhǎng)率約為15.2%,,但受到半導(dǎo)體行業(yè)景氣度下滑及宏觀經(jīng)濟(jì)環(huán)境影響,2019年,、2020年一季度增長(zhǎng)有所下降,,但預(yù)計(jì)疫病過后,將恢復(fù)增長(zhǎng),。自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),。甘肅芯片測(cè)試探針臺(tái)加工廠家
相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成,。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌,。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,,所以具有傳動(dòng)效率高、摩擦力矩小,,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn),。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,濕度≤70%,,無有害氣體的環(huán)境中,,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,,但不可過多,,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,,從直線導(dǎo)軌的直線性,,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性。山西半自動(dòng)探針臺(tái)供應(yīng)商探針臺(tái)并通過測(cè)試數(shù)據(jù)反饋,,讓設(shè)計(jì)芯片的工程師能及時(shí)發(fā)現(xiàn)并糾正制作過程中的問題,。
磁場(chǎng)探針臺(tái)主要用于半導(dǎo)體材料、微納米器件,、磁性材料,、自旋電子器件及相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域的電、磁學(xué)特性測(cè)試,,能夠提供磁場(chǎng)或變溫環(huán)境,,并進(jìn)行高精度的直流/射頻測(cè)量。我們生產(chǎn)各類磁場(chǎng)探針臺(tái),,穩(wěn)定性強(qiáng),、功能多樣、可升級(jí)擴(kuò)展,,適用于各大高校,、研究所及半導(dǎo)體行業(yè)的實(shí)驗(yàn)研究和生產(chǎn)。詳細(xì)參數(shù):二維磁場(chǎng)探針臺(tái),,包含兩組磁鐵,,可同時(shí)提供垂直與面內(nèi)磁場(chǎng);面內(nèi)磁鐵極頭間距可根據(jù)樣品尺寸調(diào)整以獲得大的磁場(chǎng),,兼容性強(qiáng),;大兼容7組探針(4組RF,3組DC同時(shí)測(cè)試使用),;Y軸提供大行程位移裝置,,在不移動(dòng)探針情況下快速抽拉更換樣品;配備樣品臺(tái)傾斜微調(diào)旋鈕,確保樣品平面平行于面內(nèi)磁場(chǎng)方向,;至多支持7組探針同時(shí)放置:直流探針(3組)+微波探針(4組),;XY軸位移行程±12.5mm,T軸旋轉(zhuǎn)±5°,;面內(nèi)磁場(chǎng)單獨(dú)施加時(shí),,磁場(chǎng)垂直分量?jī)?yōu)于0.025%。
為什么要射頻探測(cè),?由于器件小形化及高頻譜的應(yīng)用,,電路尺寸不斷縮小,類似微帶線及PCB版本Pad的測(cè)試沒有物理接口,,使得儀表本身無法與待測(cè)物進(jìn)行直接連接,,如果人為的焊接射頻接口難免會(huì)引入不確定的誤差,所以射頻探針的使用完美的解決了這個(gè)問題,。射頻探頭和校準(zhǔn)基板允許工程師進(jìn)行精確,、重復(fù)的測(cè)量與校準(zhǔn)。且任何受過一定訓(xùn)練的工程師都可以進(jìn)行探針臺(tái)的架設(shè)與儀表的校準(zhǔn),,以分鐘為單位進(jìn)行測(cè)量,。同樣一個(gè)Pad測(cè)試點(diǎn),如果通過探針測(cè)量與通過焊接SMA接口引出測(cè)量線的方法進(jìn)行測(cè)試對(duì)比會(huì)發(fā)現(xiàn),,探針的精度是高于焊接Cable的精度,。探針臺(tái)廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量的研發(fā),。
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路,、分立器件、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,,其普遍應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測(cè)量,,旨在確保質(zhì)量及可靠性,,并縮減研發(fā)時(shí)間和器件制造工藝的成本,。探針臺(tái)用于晶圓加工之后,、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),負(fù)責(zé)晶圓的輸送與定位,,使晶圓上的晶粒依次與探針接觸并逐個(gè)測(cè)試,。在半導(dǎo)體器件與集成電路制造工藝中,從單晶硅棒的制取到終器件制造的完成需經(jīng)過復(fù)雜的工序,,可分為前道工序與后道工序,,探針臺(tái)是檢測(cè)半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)、光參數(shù)的關(guān)鍵設(shè)備。經(jīng)過檢測(cè),,探針臺(tái)將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,降低器件的制造成本,。半導(dǎo)體設(shè)備價(jià)值普遍較高,,一條先進(jìn)半導(dǎo)體生產(chǎn)線投資中,設(shè)備價(jià)值約占總投資規(guī)模的75%以上,。廣東智能探針臺(tái)機(jī)構(gòu)
上海勤確科技有限公司敢于承擔(dān),、克難攻堅(jiān)。甘肅芯片測(cè)試探針臺(tái)加工廠家
據(jù)SEMI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì),,2020年及2021年,,全球半導(dǎo)體測(cè)試設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模或?qū)⒎謩e達(dá)到52.2億美元及56.1億美元,。隨著國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,,多個(gè)晶圓廠及實(shí)驗(yàn)室的建立,國(guó)內(nèi)探針臺(tái)市場(chǎng)規(guī)模2019年約為10.25億元,,2022年將增長(zhǎng)到15.69億元,。隨著半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展,半導(dǎo)體產(chǎn)品的加工面積成倍縮小,,復(fù)雜程度與日俱增,,生產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的制造設(shè)備需要綜合運(yùn)用機(jī)械、光學(xué),、物理,、化學(xué)等學(xué)科技術(shù),具有技術(shù)壁壘高,、制造難度大及研發(fā)投入高等特點(diǎn),。探針臺(tái)屬于重要的半導(dǎo)體測(cè)試裝備,在整個(gè)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的多個(gè)環(huán)節(jié)起著重要作用,,是晶圓廠和元器件封測(cè)企業(yè)的重要設(shè)備之一。隨著自動(dòng)化技術(shù)的飛速發(fā)展,,市場(chǎng)對(duì)自動(dòng)化探針臺(tái)需求旺盛,。甘肅芯片測(cè)試探針臺(tái)加工廠家