探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),,全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有:高溫探針臺(tái),低溫探針臺(tái),,RF探針臺(tái),,LCD平板探針臺(tái),霍爾效應(yīng)探針臺(tái),,表面電阻率探針臺(tái),。縱觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,,即主要由x-y向工作臺(tái),,可編程承片臺(tái)、探卡/探卡支架,、打點(diǎn)器,、探邊器、操作手柄等組成,,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,應(yīng)區(qū)別對(duì)待,。上海勤確科技有限公司秉承專業(yè),、科技、快捷,、準(zhǔn)確,、誠(chéng)信的服務(wù)精神。山東射頻探針臺(tái)供應(yīng)商
探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有:高溫探針臺(tái),,低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),,LCD平板探針臺(tái),,霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái),??v觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),,可編程承片臺(tái),、探卡/探卡支架,、打點(diǎn)器、探邊器,、操作手柄等組成,,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái),。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,,應(yīng)區(qū)別對(duì)待,。福建探針臺(tái)一般多少錢探針尖磨損和污染也會(huì)對(duì)測(cè)試結(jié)果造成極大的負(fù)面影響。
探針臺(tái)是用于檢測(cè)每片晶圓上各個(gè)芯片電信號(hào),,保證半導(dǎo)體產(chǎn)品品質(zhì)的重要檢測(cè)設(shè)備,。因?yàn)槲覀冃枰榔骷嬲男阅埽皇欠庋b以后的,,雖然可以去嵌,,但還是會(huì)引入一些誤差和不確定性。因?yàn)槲覀冃枰_定哪些芯片是好的芯片來(lái)降低封裝的成本并提高產(chǎn)量,。因?yàn)橛袝r(shí)我們需要進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試,,在片進(jìn)行自動(dòng)化測(cè)試成本效益高而且更快。一個(gè)典型的在片測(cè)試系統(tǒng),,主要包括:矢量網(wǎng)絡(luò)分析儀,,線纜,探針,,探針定位器,,探針臺(tái),校準(zhǔn)設(shè)備及軟件,,電源偏置等,。
探針臺(tái)的分類:探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分,也可以按照操作方式來(lái)劃分成:手動(dòng)探針臺(tái),、半自動(dòng)探針臺(tái),、全自動(dòng)探針臺(tái)。手動(dòng)探針臺(tái):手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,,這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤(pán),、壓盤(pán)、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的,。因此一般是在沒(méi)有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn),易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件,。上海勤確科技有限公司以“真誠(chéng)服務(wù),用戶滿意”為服務(wù)宗旨,。
手動(dòng)探針臺(tái)規(guī)格描述(以實(shí)驗(yàn)室常見(jiàn)的儀準(zhǔn)ADVANCED八寸,六寸探針臺(tái)為例):探針臺(tái)載物臺(tái)平整度:5μm探針臺(tái)右側(cè)標(biāo)配顯微鏡升降機(jī)構(gòu),,可抬高顯微鏡,,便于更換鏡頭和換待測(cè)物探針臺(tái)左側(cè)標(biāo)配升降器,可快速升降臺(tái)面8mm,并具備鎖定功能探針臺(tái)右下方標(biāo)配精調(diào)旋轉(zhuǎn)輪,,可微調(diào)控制臺(tái)面升降范圍25mm(客戶有特殊需求,,可以增大范圍),精度1μm6英寸或者8英寸載物盤(pán)可選,,卡盤(pán)平整度:5μm,,采用真空吸附方式,中心孔徑250μm-1mm定制卡盤(pán)可0-360度旋轉(zhuǎn),,旋轉(zhuǎn)角度可微調(diào),,微調(diào)精度為0.1度,標(biāo)配角度鎖定旋鈕大螺母可控制載物盤(pán)X-Y方向的移動(dòng),,移動(dòng)范圍為150mm or 200mm,,移動(dòng)精度為1μm載物臺(tái)具備快速導(dǎo)入導(dǎo)出功能。如果發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,,就需要復(fù)雜的診斷過(guò)程和人工分析,,才能找到問(wèn)題的原因。江蘇手動(dòng)探針臺(tái)要多少錢
探針臺(tái)存放在氮?dú)夤裰?,防止探針的加快氧化,。山東射頻探針臺(tái)供應(yīng)商
以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能(如電流、電壓,、阻抗等)或工作狀態(tài),,測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展,,對(duì)于精密微小(納米級(jí))的微電子器件,,表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生,,利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái),,便于其電性測(cè)試設(shè)備(不屬于本機(jī)器)對(duì)此測(cè)試、分析,。探針臺(tái)執(zhí)行機(jī)構(gòu)由探針座和探針桿兩部分組成.在探針座有X-Y-Z三向調(diào)節(jié)旋鈕,,控制固定在針座上的探針桿做三向移動(dòng),移動(dòng)范圍12mm,移動(dòng)精度可以達(dá)到0.7微米,。這樣可以把探針很好的點(diǎn)到待測(cè)點(diǎn)上(說(shuō)明探針是耗材,,一般客戶自己準(zhǔn)備),探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上,,從而得到電性能的參數(shù),。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件,多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試,。山東射頻探針臺(tái)供應(yīng)商