晶圓測試是在半導(dǎo)體器件制造過程中執(zhí)行的一個步驟,。在此步驟中，在將晶圓送至芯片準(zhǔn)備之前執(zhí)行,，晶圓上存在的所有單個集成電路都通過對其應(yīng)用特殊測試模式來測試功能缺陷,。晶圓測試由稱為晶圓探針器的測試設(shè)備執(zhí)行。晶圓測試過程可以通過多種方式進(jìn)行引用：晶圓終端測試(WFT),、電子芯片分類(EDS)和電路探針(CP)可能是很常見的,。晶圓探針器是用于測試集成電路的機(jī)器（自動測試設(shè)備）。對于電氣測試,，一組稱為探針卡的微觀觸點(diǎn)或探針被固定在適當(dāng)?shù)奈恢?，同時真空安裝在晶圓卡盤上的晶圓被移動到電接觸狀態(tài)。上海勤確科技有限公司敢于承擔(dān),、克難攻堅,。安徽自動探針臺機(jī)構(gòu)

自動化探針臺搭配測試機(jī)能夠?qū)Τ鰪S晶圓片的電氣參數(shù)、光學(xué)參數(shù)進(jìn)行測試,，根據(jù)測試結(jié)果評定上一道工序的工藝質(zhì)量,，并指導(dǎo)下一道工序。從全球市場看,，半導(dǎo)體探針臺設(shè)備行業(yè)集中度較高,，目前主要由國外廠商主導(dǎo)，行業(yè)呈現(xiàn)較高壟斷的競爭格局,。鑒于自動化探針臺是光,、機(jī)、電高度一體化的產(chǎn)品,，國內(nèi)在這一方向研究幾乎為零,，市場主要被一些國外的大公司壟斷。2017年投產(chǎn)X系列半自動探針臺并成功推向市場,，成功填補(bǔ)國內(nèi)該研發(fā)生產(chǎn)領(lǐng)域的空白,。安徽自動探針臺機(jī)構(gòu)自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。

半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中的探測,，可略分為三大類：1.參數(shù)探測：提供制造期間的裝置特性測量,；2.晶圓探測：當(dāng)制造完成要進(jìn)行封裝前，在一系列的晶圓上(wafersort)測試裝置功能,；3.以探針臺為基礎(chǔ)的晶圓處理探測(FinalTest)：在出貨給顧客前,，對封裝完成的裝置做后的測試。晶圓在通過基本的特性測試后,，即進(jìn)入晶圓探測階段,，此時需要用復(fù)雜的機(jī)器、視覺及軟件來偵測晶圓上的每顆裸晶,，精確度約在±2.0μm之間,。將晶圓探針臺的輸入輸出探針墊片(I/Opads)放在接腳和探針卡正確對應(yīng)的晶圓后，探針臺會將晶圓向上挪動,，使其電氣和連接于測試儀上的探針卡接觸,，以進(jìn)行探測。當(dāng)測試完成,，則會自動將下一個待測晶圓替換到探針卡下面,，如此周而復(fù)始地循環(huán)著。上海勤確科技有限公司

定子在加工過程中生產(chǎn)廠家根據(jù)不同的設(shè)計要求如分辨力等,，用機(jī)加工的方法在一平面的鐵制鑄件上加工出若干個線槽,，線槽間的距離即稱為平面電機(jī)的齒距，而定子則按不同的細(xì)分控制方式,，按編制好的運(yùn)行程序借助于平面定子和動子之間的氣墊才能實(shí)現(xiàn)步進(jìn)運(yùn)動,。對定子的損傷將直接影響工作臺的步進(jìn)精度及設(shè)備使用壽命，損壞嚴(yán)重將造成設(shè)備無法使用而報廢,。由于平面電機(jī)的定子及動子是完全暴露在空氣中,，所以潮濕的環(huán)境及長時期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象，另外重物的碰撞及堅銳器物的劃傷都將對定子造成損傷,，而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,，對于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個方向打磨定子的表面，然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,。主要工作是檢測芯片設(shè)計的功能是否能夠達(dá)到芯片的技術(shù)指標(biāo),。

探針臺從操作上來區(qū)分有：手動，半自動,，全自動,。從功能上來區(qū)分有：高溫探針臺，低溫探針臺,，RF探針臺,，LCD平板探針臺，霍爾效應(yīng)探針臺,，表面電阻率探針臺,。縱觀國內(nèi)外的自動探針測試臺在功能及組成上大同小異,，即主要由x-y向工作臺,，可編程承片臺、探卡／探卡支架、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成，并配有與測試儀（TESTER）相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,，即：平面電機(jī)型x-y工作臺（又叫磁性氣浮工作臺）自動探針測試臺和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺型自動探針測試臺。由于x-y工作臺的結(jié)構(gòu)差別很大,，所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,，應(yīng)區(qū)別對待。探針臺如果發(fā)現(xiàn)缺陷,，產(chǎn)品小組將用測試數(shù)據(jù)來確保有缺陷的芯片不會被送到客戶手里,。安徽自動探針臺機(jī)構(gòu)

上海勤確科技有限公司本上海勤確科技有限公司經(jīng)營理念，將心比心,，誠信經(jīng)營,，質(zhì)量為先。安徽自動探針臺機(jī)構(gòu)

X系列探針臺：1,、基板采用鑄件為基準(zhǔn)進(jìn)行設(shè)計,，使運(yùn)動的穩(wěn)定性得到提升，底板的重量同樣在隔震性能上得到提高,。2,、運(yùn)動系統(tǒng)采用的是日系高剛性、高精密的導(dǎo)軌和絲桿,；反饋檢測系統(tǒng)采用的是0.1μm分辨率光柵尺配合進(jìn)口運(yùn)動控制卡與電機(jī)形成整個閉環(huán)的反饋檢測,，以保證實(shí)現(xiàn)高精度高溫度性的運(yùn)動系統(tǒng)。3,、整個四維運(yùn)動設(shè)計成低重心的緊湊結(jié)構(gòu),，保證其速率能到達(dá)70mm/s，并能提高運(yùn)動過程中的加速,。4,、關(guān)鍵零件用導(dǎo)電的表面處理，保證每個位置能進(jìn)行接地保護(hù),。安徽自動探針臺機(jī)構(gòu)