探針臺(tái)主要應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)以及光電行業(yè)的測(cè)試,。探針臺(tái)從操作上來(lái)區(qū)分有:手動(dòng),,半自動(dòng),全自動(dòng),。從功能上來(lái)區(qū)分有:高溫探針臺(tái),,低溫探針臺(tái),RF探針臺(tái),,LCD平板探針臺(tái),,霍爾效應(yīng)探針臺(tái),表面電阻率探針臺(tái),??v觀國(guó)內(nèi)外的自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)在功能及組成上大同小異,即主要由x-y向工作臺(tái),,可編程承片臺(tái),、探卡/探卡支架、打點(diǎn)器,、探邊器,、操作手柄等組成,并配有與測(cè)試儀(TESTER)相連的通訊接口,。但如果按其x-y工作臺(tái)結(jié)構(gòu)的不同可為兩大類,,即:平面電機(jī)型x-y工作臺(tái)(又叫磁性氣浮工作臺(tái))自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)和以采用精密滾珠絲杠副和直線導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的x-y工作臺(tái)型自動(dòng)探針測(cè)試臺(tái)。由于x-y工作臺(tái)的結(jié)構(gòu)差別很大,,所以其使用維護(hù)保養(yǎng)不可一概而論,,應(yīng)區(qū)別對(duì)待。探針卡上有細(xì)小的金屬探針附著,,通過降低探針高度或升高芯片的高度使之和芯片上的焊盤接觸,。安徽探針臺(tái)公司
相對(duì)于平面電機(jī)工作臺(tái),絲杠導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)結(jié)構(gòu)組成較復(fù)雜,,工作臺(tái)由上層(x向)及下層(y向)兩部分組成,。工作臺(tái)由兩個(gè)步進(jìn)電機(jī)分別驅(qū)動(dòng)x、y向精密滾珠絲杠副帶動(dòng)工作臺(tái)運(yùn)動(dòng),,導(dǎo)向部分采用精密直線滾動(dòng)導(dǎo)軌,。由于運(yùn)動(dòng)部分全部采用滾動(dòng)功能部件,所以具有傳動(dòng)效率高,、摩擦力矩小,,使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)應(yīng)放置在溫度23±3℃,,濕度≤70%,,無(wú)有害氣體的環(huán)境中,,滾珠絲杠、直線導(dǎo)軌應(yīng)定期加精密儀表油,,但不可過多,,值得指出的是,這種結(jié)構(gòu)的工作臺(tái)在裝配過程中,,從直線導(dǎo)軌的直線性,,上下層工作臺(tái)之間的垂直度以及工作臺(tái)的重復(fù)性。江西自動(dòng)探針臺(tái)一般多少錢探針測(cè)試這一過程是非常精密的,,要有很高的專業(yè)水平和經(jīng)驗(yàn)才能完成,。
對(duì)于當(dāng)今的多芯片(multi-die packages)封裝,例如堆疊芯片級(jí)封裝(SCSP)或系統(tǒng)級(jí)封裝(SiP)–開發(fā)用于識(shí)別已知測(cè)試芯片(KTD)和已知良好芯片(KGD)的非接觸式(RF)探針對(duì)提高整體系統(tǒng)產(chǎn)量至關(guān)重要,。晶圓探針臺(tái)還可以在晶圓劃片線上執(zhí)行任何測(cè)試電路,。一些公司從這些劃線測(cè)試結(jié)構(gòu)中獲得大部分有關(guān)器件性能的信息。當(dāng)特定芯片的所有測(cè)試圖案都通過時(shí),,它的位置會(huì)被記住,,以便以后在IC封裝過程中使用。有時(shí),,芯片有內(nèi)部備用資源可用于修復(fù)(即閃存IC),;如果它沒有通過某些測(cè)試模式,則可以使用這些備用資源,。
探針臺(tái)的分類:探針臺(tái)可以按照使用類型與功能來(lái)劃分,,也可以按照操作方式來(lái)劃分成:手動(dòng)探針臺(tái)、半自動(dòng)探針臺(tái),、全自動(dòng)探針臺(tái),。手動(dòng)探針臺(tái):手動(dòng)探針臺(tái)系統(tǒng)顧名思義是手動(dòng)控制的,這意味著晶圓載物臺(tái)和卡盤,、壓盤,、顯微鏡以及定位器/操縱器都是由使用者手動(dòng)移動(dòng)的。因此一般是在沒有很多待測(cè)器件需要測(cè)量或數(shù)據(jù)需要收集的情況下使用手動(dòng)探針臺(tái),。該類探針臺(tái)的優(yōu)點(diǎn)之一是只需要很少的培訓(xùn),,易于配置環(huán)境和轉(zhuǎn)換測(cè)試環(huán)境,并且不需要涉及額外培訓(xùn)和設(shè)置時(shí)間的電子設(shè)備,、PC或軟件,。探針臺(tái)用于晶圓加工之后、封裝工藝之前的CP測(cè)試環(huán)節(jié),。
高精度探針臺(tái):目前世界出貨量的型號(hào)吸收了很新的工藝科技例如OTS,,QPU和TTG相關(guān)技術(shù),這種全新的高精度系統(tǒng)為下一代小型化的設(shè)計(jì)及多種測(cè)試條件提供保證。特性1:OTS-近的位置對(duì)正系統(tǒng)(光學(xué)目標(biāo)對(duì)準(zhǔn))OTS通過對(duì)照相機(jī)相對(duì)位置的測(cè)量來(lái)保證其位置的精度,。這是非常引人注目的技術(shù),,來(lái)源于精密的度量技術(shù)。OTS實(shí)現(xiàn)了以自己為參照的光學(xué)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng),。特性2:QPU-高剛性的硅片承載臺(tái)(四方型系統(tǒng))為了有效的達(dá)到接觸位置的精度,,硅片承載臺(tái)各部分的剛性一致是非常重要的,UF3000使用新的4軸機(jī)械轉(zhuǎn)換裝置(QPU),,達(dá)到高剛性,,高穩(wěn)定度的接觸,。探針臺(tái)配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓,、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè),。湖北直流探針臺(tái)公司
探針臺(tái)是半導(dǎo)體(包括集成電路,、分立器件、光電器件,、傳感器)行業(yè)重要的檢測(cè)裝備之一,。安徽探針臺(tái)公司
平面電機(jī)的定子及動(dòng)子是完全暴露在空氣中,所以潮濕的環(huán)境及長(zhǎng)時(shí)期保養(yǎng)不當(dāng)將很容易使定子發(fā)生銹蝕現(xiàn)象,,另外重物的碰撞及堅(jiān)銳器物的劃傷都將對(duì)定子造成損傷,,而影響平面電機(jī)的步進(jìn)精度及使用壽命,對(duì)于已生銹的定子可以用天然油石輕輕地向一個(gè)方向打磨定子的表面,,然后用脫脂棉球蘸煤油清洗,,整個(gè)過程操作要十分地細(xì)心,不可使定子表面出現(xiàn)凹凸不平的現(xiàn)象,。另外也可用沒有腐蝕性,,不損壞定子的除銹劑除銹。對(duì)于正常情況下的定子則要定期作除塵清理工作,,清理時(shí)應(yīng)先通入大氣以便動(dòng)子移動(dòng),,方法是用脫脂棉蘸少許大于95%的無(wú)水乙醇,輕擦定子表面,,然后用專門工具撬起動(dòng)子,,方法同前,輕擦動(dòng)子表面,,動(dòng)子的表面有若干個(gè)氣孔,,它是定子和動(dòng)子間壓縮空氣的出孔,觀察這此氣孔的放氣是否均勻,,否則用工具小心旋開小孔中內(nèi)嵌氣孔螺母檢查是否有雜質(zhì)堵塞氣孔,,處理完畢后應(yīng)恢復(fù)內(nèi)嵌氣孔螺母原始狀態(tài)。安徽探針臺(tái)公司