原料準備
? 主要成分:樹脂(成膜劑,,如酚醛樹脂,、聚酰亞胺等)、感光劑(光引發(fā)劑或光敏化合物,,如重氮萘醌,、光刻膠單體)、溶劑(溶解成分,,如丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)),、添加劑(調(diào)節(jié)粘度、感光度,、穩(wěn)定性等,,如表面活性劑、穩(wěn)定劑),。
? 原料提純:對樹脂,、感光劑等進行高純度精制(純度通常要求99.9%以上),避免雜質(zhì)影響光刻精度,。
配料與混合
? 按配方比例精確稱量各組分,,在潔凈環(huán)境,如萬中通過攪拌機均勻混合,,形成膠狀溶液。
? 控制溫度(通常20-30℃)和攪拌速度,,避免氣泡產(chǎn)生或成分分解,。
過濾與純化
? 使用納米級濾膜(孔徑0.05-0.2μm)過濾,去除顆粒雜質(zhì)(如金屬離子,、灰塵),,確保膠液潔凈度,避免光刻時產(chǎn)生缺陷,。
性能檢測
? 物理指標:粘度,、固含量、表面張力,、分子量分布等,,影響涂布均勻性,。
? 化學指標:感光度、分辨率,、對比度,、耐蝕刻性,通過曝光實驗和顯影測試驗證,。
? 可靠性:存儲穩(wěn)定性(常溫/低溫保存下的性能變化),、耐溫性(烘烤過程中的抗降解能力)。
包裝與儲存
? 在惰性氣體(如氮氣)環(huán)境下分裝至避光容器(如棕色玻璃瓶或鋁罐),,防止感光劑氧化或光分解,。
? 儲存條件:低溫(5-10℃)、避光,、干燥,,部分產(chǎn)品需零下環(huán)境(如EUV光刻膠)。
松山湖光刻膠廠家吉田,,2000 萬級產(chǎn)能,,48 小時極速交付!合肥LCD光刻膠供應商
技術優(yōu)勢:23年研發(fā)沉淀與細分領域突破
全流程自主化能力
吉田在光刻膠研發(fā)中實現(xiàn)了從樹脂合成,、光引發(fā)劑制備到配方優(yōu)化的全流程自主化,。例如,其納米壓印光刻膠通過自主開發(fā)的樹脂體系,,實現(xiàn)了3μm的分辨率,,適用于MEMS傳感器、光學器件等領域,。
技術壁壘:公司擁有23年光刻膠研發(fā)經(jīng)驗,,掌握光刻膠主要原材料(如樹脂、光酸)的合成技術,,部分原材料純度達PPT級,。
細分領域技術先進
? 納米壓印光刻膠:在納米級圖案化領域(如量子點顯示、生物芯片)實現(xiàn)技術突破,,分辨率達3μm,,填補國內(nèi)空缺。
? LCD光刻膠:針對顯示面板行業(yè)需求,,開發(fā)出高感光度,、高對比度的光刻膠,適配AMOLED,、Micro LED等新型顯示技術,。
研發(fā)投入與合作
公司2018年獲高新技術性企業(yè)認證,與新材料領域同伴們合作開發(fā)半導體光刻膠,,計劃2025年啟動半導體用KrF光刻膠研發(fā),。
沈陽LED光刻膠吉田公司以無鹵無鉛配方與低 VOC 工藝打造光刻膠,。
技術挑戰(zhàn)
光刻膠作為半導體、顯示面板等高級制造的材料,,其技術挑戰(zhàn)主要集中在材料性能優(yōu)化,、制程精度匹配、復雜環(huán)境適應性以及產(chǎn)業(yè)自主化突破等方面
? 高分辨率:隨著半導體制程向3nm,、2nm推進,,需開發(fā)更高精度的EUV光刻膠,解決光斑擴散,、線寬控制等問題,。
? 靈敏度與穩(wěn)定性:平衡感光速度和圖案抗蝕能力,適應極紫外光(13.5nm)的低能量曝光,。
? 國產(chǎn)化替代:目前光刻膠(如EUV,、ArF浸沒式)長期被日本、美國企業(yè)壟斷,,國內(nèi)正加速研發(fā)突破,。
光刻膠的性能直接影響芯片制造的良率和精度,是支撐微電子產(chǎn)業(yè)的“卡脖子”材料之一,。
作為中國半導體材料領域的企業(yè),,吉田半導體材料有限公司始終以自研自產(chǎn)為戰(zhàn)略,通過 23 年技術沉淀與持續(xù)創(chuàng)新,,成功突破多項 “卡脖子” 技術,,構建起從原材料到成品的全鏈條國產(chǎn)化能力。其自主研發(fā)的光刻膠產(chǎn)品已覆蓋芯片制造,、顯示面板,、精密電子等領域,為國內(nèi)半導體產(chǎn)業(yè)鏈自主化提供關鍵支撐,。
吉田半導體依托自主研發(fā)中心與產(chǎn)學研合作,,在光刻膠領域?qū)崿F(xiàn)多項技術突破:
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YK-300 正性光刻膠:分辨率達 0.35μm,線寬粗糙度(LWR)≤3nm,,適用于 45nm 及以上制程,,良率達 98% 以上,成本較進口產(chǎn)品降低 40%,,已通過中芯國際量產(chǎn)驗證。
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SU-3 負性光刻膠:支持 3μm 厚膜加工,,抗深蝕刻速率 > 500nm/min,,成功應用于高通 5G 基帶芯片封裝,良率提升至 98.5%,。
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JT-2000 納米壓印光刻膠:突破 250℃耐高溫極限,,圖形保真度 > 95%,,性能對標德國 MicroResist 系列,已應用于國產(chǎn) EUV 光刻機前道工藝,。
負性光刻膠生產(chǎn)廠家,。
定義與特性
正性光刻膠是一種在曝光后,曝光區(qū)域會溶解于顯影液的光敏材料,,形成與掩膜版(Mask)圖案一致的圖形,。與負性光刻膠(未曝光區(qū)域溶解)相比,其優(yōu)勢是分辨率高,、圖案邊緣清晰,,是半導體制造(尤其是制程)的主流選擇。
化學組成與工作原理
主要成分
? 樹脂(成膜劑):
? 傳統(tǒng)正性膠:采用**酚醛樹脂(Novolak)與重氮萘醌(DNQ,,光敏劑)**的復合體系(PAC體系),,占比約80%-90%。
? 化學增幅型(用于DUV/EUV):含環(huán)化烯烴樹脂或含氟聚合物,,搭配光酸發(fā)生器(PAG),,通過酸催化反應提高感光度和分辨率。
? 溶劑:溶解樹脂和感光劑,,常用丙二醇甲醚醋酸酯(PGMEA)或乳酸乙酯,。
? 添加劑:表面活性劑(改善涂布均勻性)、穩(wěn)定劑(防止暗反應),、堿溶解度調(diào)節(jié)劑等,。
工作原理
? 曝光前:光敏劑(如DNQ)與樹脂結(jié)合,形成不溶于堿性顯影液的復合物,。
? 曝光時:
? 傳統(tǒng)PAC體系:DNQ在紫外光(G線436nm,、I線365nm)照射下發(fā)生光分解,生成羧酸,,使曝光區(qū)域樹脂在堿性顯影液中溶解性增強,。
? 化學增幅型:PAG在DUV/EUV光下產(chǎn)生活性酸,催化樹脂發(fā)生脫保護反應,,大幅提高顯影速率(靈敏度提升10倍以上),。
? 顯影后:曝光區(qū)域溶解去除,未曝光區(qū)域保留,,形成正性圖案,。
吉田半導體全系列產(chǎn)品覆蓋,滿足多元化需求,。貴州LED光刻膠多少錢
發(fā)展戰(zhàn)略與行業(yè)地位,。合肥LCD光刻膠供應商
制版光刻膠應用場景:印刷電路板(FPC)、觸摸屏(TP)的掩膜版制作,,以及光學元件(如衍射光柵)的微納加工,。特點:高分辨率與耐化學性,,確保模板的長期使用壽命。
水性光刻膠(JT-1200)應用場景:環(huán)保要求高的電子元件(如醫(yī)療設備,、汽車電子)的制造,,以及柔性電路的生產(chǎn)。特點:以水為溶劑,,低 VOC 排放,,符合 RoHS 和 REACH 環(huán)保標準。
水油兩用光刻膠(JT-2001/SR-3308)適用于混合工藝場景(如部分環(huán)節(jié)需水性顯影,,部分需溶劑顯影),,提升生產(chǎn)靈活性。
合肥LCD光刻膠供應商
廣東吉田半導體材料有限公司在同行業(yè)領域中,,一直處在一個不斷銳意進取,,不斷制造創(chuàng)新的市場高度,多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價值理念的產(chǎn)品標準,,在廣東省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的商業(yè)口碑,,成績讓我們喜悅,但不會讓我們止步,,殘酷的市場磨煉了我們堅強不屈的意志,,和諧溫馨的工作環(huán)境,富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新,,勇于進取的無限潛力,,吉田半導體供應攜手大家一起走向共同輝煌的未來,回首過去,,我們不會因為取得了一點點成績而沾沾自喜,,相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍,我們更要明確自己的不足,,做好迎接新挑戰(zhàn)的準備,,要不畏困難,激流勇進,,以一個更嶄新的精神面貌迎接大家,,共同走向輝煌回來!